专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]单晶长晶装置及长晶方法-CN201210482584.1无效
  • 朴钟仁;李钟赞;金玹洙;洪荣坤 - BIAM株式会社
  • 2012-11-23 - 2014-04-09 - C30B11/00
  • 本发明的目的在于提供一种单晶长晶装置及长晶方法,对坩埚内部温度梯度更加准确、主动地控制,通过强化真空腔的结构、防止其长期使用时发生变形,最大限度地降低单晶成长时的长度方向上的残留应力、防止出现裂缝或破裂,增大单晶成长直径。为了达到上述目的,本发明的单晶长晶装置包括可上下移动地设置在腔体10内部的坩埚30,设置在坩埚30侧部的侧部加热器22,设置在坩埚30下部的下部加热器24,贯穿腔体10和下部加热器24到达坩埚30、可上下移动地设置的冷却棒40,驱动冷却棒40的驱动单元50,对侧部加热器22和下部加热器24各自加热条件、冷却棒40的上下运动条件分别进行控制的配电设备。
  • 单晶长晶装置方法

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