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- [发明专利]一种舟耳中心距离检测计量设备-CN202310942605.1有效
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李景双
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辽宁拓邦鸿基半导体材料有限公司
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2023-07-31
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2023-10-20
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G01B5/00
- 本发明涉及石英舟检测技术领域,且公开了一种舟耳中心距离检测计量设备,解决了人工检测石英舟舟耳竖直方向上的位置,以及人工检测舟耳上的通孔尺寸和位置的工作效率低,而且测量精准度不高的问题,其包括检测台,检测台的底部固定连接有底座,检测台的顶部设有第一夹板和第二夹板,第二夹板和检测台固定连接,检测台上设有用于驱动第一夹板移动的石英舟夹持单元,检测台的底部转动连接有两个连接轴和两个第二单向丝杆;根据检测柱的底端是否插入石英舟舟耳上的通孔内,即可判断出石英舟舟耳竖直方向是否居中设置,且石英舟舟耳上开设的通孔尺寸和位置是否处于预设范围内,不需要人工手动检测石英舟舟耳,提高了检测效率和精准度。
- 一种中心距离检测计量设备
- [发明专利]一种石英制品用清洗装置及其清洗方法-CN202310947035.5有效
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李景双
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辽宁拓邦鸿基半导体材料有限公司
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2023-07-31
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2023-10-10
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B08B9/34
- 本发明公开了一种石英制品用清洗装置及其清洗方法,涉及石英制品的清洗技术领域,包括收集箱,所述电机的输出端连接有换向件,所述电机通过换向件连接有石英坩埚本体,所述隔板的顶部设置有多向清理机构,所述伸缩气缸的输出端设置有与多向清理机构相连的推件器。本发明通过设置换向件、多向清理机构,在对石英坩埚本体进行清洗前,先将石英坩埚本体放置于两个托辊之间,通过电机的运作带动石英坩埚本体进行转动,同时清洗液通过连液管、支撑管进入U型架的内侧,最后由喷头喷出,如此便可使清洗液均匀地喷洒在石英坩埚本体的两端及外侧,便可对石英坩埚本体进行全方位无死角的清洗,以此来提高设备对石英坩埚本体的清洗效果。
- 一种石英制品清洗装置及其方法
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