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[发明专利]硅基板的分析方法-CN201980024689.2有效
发明人：吴佳红;川端克彦;池内满政;李晟在 -专利权人：铠侠股份有限公司;埃耶士株式会社
申请日： 2019-04-08 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： G01N27/626 文献下载
摘要：本发明提供一种硅基板的分析方法，可以ICP‑MS高精度地分析形成有膜厚较厚的氮化膜的硅基板中的微量金属等杂质。本发明的分析方法使用硅基板用分析装置，该硅基板用分析装置具备：分析扫描端口、分析液采取机构及进行感应偶合等离子体分析的分析机构；前述分析扫描端口具有：载入端口、基板搬送机器人、对准器、干燥室、气相分解腔室、分析台及基板分析用喷嘴，其中，将形成有氮化膜的硅基板通过基板分析用喷嘴以氢氟酸与过氧化氢水的混合液的回收液扫掠硅基板表面并回收，之后将回收液吐出至硅基板表面并加热干燥，吐出强酸溶液或强碱溶液并加热干燥，以分析液扫掠硅基板表面并回收，且将分析液以ICP‑MS进行分析。
硅基板分析方法

[发明专利]在富执行环境中安全地执行安全应用的计算系统-CN201711092602.4有效
发明人：洪性珉;全宇衡;金荣奭;李晟在;赵银玉 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2017-11-08 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： G06F9/455 文献下载
摘要：一种在富执行环境中安全地执行安全应用的计算系统，其包括处理器，所述处理器运行多个虚拟机，在所述多个虚拟机中分别执行多个操作系统。所述处理器执行管理程序，所述管理程序将所述多个虚拟机分组成正常虚拟机群组及特权虚拟机群组且控制由所述正常虚拟机群组及所述特权虚拟机群组请求进行的硬件存取。所述处理器在所述正常虚拟机群组中执行正常应用，且在所述特权虚拟机群组中执行安全应用。
执行环境安全地安全应用计算系统

[发明专利]利用无人机器人的接入底板施工方法-CN202180046474.8在审
发明人：李相宪;宋钟仪;郑恩泳;李启英;许允宰;李胜赫;金根燮;全慧门;梁成永;李晟在 -专利权人：三星物产株式会社
申请日： 2021-06-21 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： E04F15/024 文献下载
摘要：本发明提供一种利用无人机器人的接入底板的施工方法，其包括：第一步骤(S100)，对安装框架(10)以及设置于安装框架(10)周围的外围平板(60)进行施工；第二步骤(S200)，将上述无人机器人移动至上述外围平板(60)；第三步骤(S300)，上述无人机器人沿着上述外围平板(60)将底板(30)结合于上述安装框架(10)。根据本发明，操作者无需进行危险的底板安装工作，自动化机器人可以安装垫板和底板，具有防止现场安全事故发生的效果。并且通过利用机器人来安装垫板和底板，就可以迅速完成底板安装位置的选定及平整工作，从而节约工程费用，缩短工程时间，具有这样的技术效果。
利用无人机器人接入底板施工方法

[发明专利]接入踏板无人施工系统以及利用此接入踏板的施工方法-CN202180040991.4在审
发明人：全慧门;许允宰;李相宪;梁成永;金根燮;郑恩泳;宋钟仪;李启英;李胜赫;李晟在 -专利权人：三星物产株式会社
申请日： 2021-06-15 - 公布日： 2023-02-14 - 主分类号： E04F15/024 文献下载
摘要：本发明提供一种接入底板的无人施工系统，其包括：安装框架(10)、安装在上述安装框架(10)上的垫板(20)，以及与上述垫板(20)结合的底板(30)，其特征在于，包括：施工机器人，与控制服务器(1)以有线通信或无线通信的形式相连，而上述施工机器人，包括：垫板安装机器人(100)，在上述安装框架(10)上安装上述垫板(20)；安装机器人(200)，在上述垫板(20)上安装上述底板(30)；以及螺栓机器人(340)，利用结合部件(40)将上述垫板(30)和上述底板(30)结合。根据本发明，操作者无需进行危险的底板安装工作，自动化机器人可以安装垫板和底板，具有防止现场安全事故发生的效果。并且通过利用机器人来安装垫板和底板，就可以迅速完成底板安装位置的选定及平整工作，从而节约工程费用，缩短工程时间，具有这样的技术效果。
接入踏板无人施工系统以及利用方法

[发明专利]基板分析用管嘴及基板分析方法-CN201780004607.9有效
发明人：川端克彦;李晟在 -专利权人：埃耶士株式会社
申请日： 2017-07-18 - 公布日： 2022-01-04 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供一种基板分析用管嘴及基板分析方法，即便是亲水性较高的基板，仍可确实地防止分析液从管嘴漏出(脱落)，且能够以较高的回收率来回收扫描后的分析液。本发明涉及一种基板分析用管嘴，其从前端将分析液送出至基板上，且在以所送出的分析液来扫描基板表面之后抽吸分析液，该基板分析用管嘴由三重管所构成，该三重管由送出及抽吸分析液的配管、以包围要扫描的分析液的方式设置于配管的外周的第一外管、以及设置于第一外管的外周侧的第二外管所构成；该基板分析用管嘴具有：第一排气装置，其将配管与第一外管之间作为排气路径；以及第二排气装置，其将第一外管与第二外管之间作为排气路径。
分析用管嘴方法

[发明专利]基板分析方法及基板分析装置-CN201980086331.2在审
发明人：川端克彦;李晟在;林匠马 -专利权人：埃耶士株式会社
申请日： 2019-11-06 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种可更简易且迅速地分析基板端部的分析技术。本发明的基板分析方法，是利用基板分析用的喷嘴的基板分析方法，该基板分析用的喷嘴从前端送出分析液，并且以所送出的分析液扫描基板表面之后利用抽吸分析液，该基板分析方法在与喷嘴的前端相对向的位置，配置用以承接被送出的分析液的液承接板，且将从前端送出的分析液保持在喷嘴的前端与液承接板之间，且在喷嘴的前端与液承接板之间，以可插入基板端部的方式对基板进行位置调整，并且使基板端部接触于保持在喷嘴的前端与液承接板之间的分析液，且在基板端部接触于分析液的状态下，使喷嘴及液承接板沿着基板的周缘同时地移动，以分析基板端部。
分析方法装置

[发明专利]片上系统、移动终端和用于操作片上系统的方法-CN201610474274.3有效
发明人：金载烈;林吉珍;宋陈煜;李晟在;具泫奇;咸东贤 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2016-06-24 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： G06F11/267 文献下载
摘要：提供了一种片上系统、移动终端和用于操作片上系统的方法。用于对片上系统(SoC)的处理器执行死锁控制的SoC包括：处理器，包括多个中央处理器(CPU)核；第一总线，连接到处理器；图形处理单元(GPU)，连接到第一总线；存储器控制器，连接到第一总线；第二总线，连接到处理器；隔离单元，包括被配置为根据隔离信号保持输入至处理器的信号值的逻辑电路；以及死锁控制器，连接到第一总线和第二总线，死锁控制器被配置为通过对隔离单元施加隔离信号将死锁状态下的处理器与第一总线隔离，并且经由第二总线提取死锁状态下的被隔离的处理器的状态信息。
系统移动终端用于操作方法

[发明专利]片上系统和安全调试方法-CN201610982029.3有效
发明人：林敏洙;李晟在 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2016-11-08 - 公布日： 2020-12-29 - 主分类号： G06F11/22 文献下载
摘要：提供一种片上系统和安全调试方法。所述片上系统包括：多处理器，包括多个处理器；调试控制器，包括调试端口和被配置为存储安全联合测试行动组系统的认证结果的保留逻辑；电力管理单元，被配置为管理供应给多处理器和调试控制器的电力。电力管理单元响应于调试请求信号将调试端口和保留逻辑改变到活动电力域。
系统安全调试方法

[发明专利]基板分析用的喷嘴-CN201680050378.X有效
发明人：川端克彦;李晟在;一之濑达也 -专利权人：埃耶士株式会社
申请日： 2016-10-25 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： G01N1/28 文献下载
摘要：本发明提供一种基板分析用的喷嘴，是针对具有亲水性较大的特性的基板，即使利用分析液来扫描，分析液也不会漏出，而可确实地进行分析的基板分析用的喷嘴。本发明的基板分析用的喷嘴由双层管所构成，且具备将喷嘴主体与外管之间作为排气路径的排气装置，该双层管由吐出及抽吸分析液的喷嘴主体、及以包围要扫描的分析液的方式配设在喷嘴主体的外围的外管所构成，该基板分析用的喷嘴在外管前端的外周侧且为喷嘴的扫描方向的相反侧，配置朝喷嘴主体的前端将惰性气体喷附至与基板表面大致平行的方向的气体喷附管。
喷嘴基板喷嘴主体分析液外管分析双层管喷附扫描惰性气体基板表面排气路径排气装置扫描方向亲水性相反侧抽吸漏出吐出外周平行外围包围配置

[发明专利]基板的蚀刻装置及基板的分析方法-CN201480009095.1有效
发明人：川端克彦;林匠马;池内满政;李晟在;国香仁 -专利权人：埃耶士株式会社
申请日： 2014-01-21 - 公布日： 2018-03-09 - 主分类号： H01L21/302 文献下载
摘要：本发明提供一种适用于基板上的多晶硅、或构成基板的块状硅的蚀刻的蚀刻装置。本发明关于一种具备使蚀刻气体从基板的周缘流动至大致中心的气体流动调整手段的蚀刻装置，关于一种可对于基板整面以均匀的厚度蚀刻多晶硅或块状硅的技术。此外，气体流动调整手段设置成可上下动作，且可通过其调整而控制蚀刻速度。
蚀刻装置分析方法

[发明专利]衬底分析用喷嘴-CN201310230781.9有效
发明人：川端克彦;李晟在;国香仁;铃木淳司 -专利权人：埃耶士株式会社
申请日： 2013-06-09 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： G01N1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种使用在用于分析微量金属等分析对象物的衬底分析器件的衬底分析用喷嘴，且提供一种可确实地回收分析液的衬底分析用喷嘴的构造。本发明的衬底分析用喷嘴是由双重管喷嘴所构成，在以送出至喷嘴本体前端的分析液扫掠衬底表面后，从喷嘴本体前端抽吸分析液并将分析对象物予以回收，该双重管喷嘴包含用于使分析液送出至包含分析对象物的衬底上及抽吸该分析液的喷嘴本体、及配置在喷嘴本体外周的外管；喷嘴本体具有用于将分析液保持在前端的外缘朝前端方向突出的凹状端面、及用于送出及抽吸分析液的细管，细管配置在喷嘴本体的凹状端面中央，且使细管的前端表面比细管剖面的表面积更大。
衬底分析喷嘴

[发明专利]电子白板及其控制方法-CN201610638466.3在审
发明人：李大鹏;李晟在 -专利权人：三星电子株式会社
申请日： 2016-08-05 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： G06F3/0488 文献下载
摘要：公开了一种电子白板及其控制方法。一种电子白板，包括：显示器；第一传感器，被配置为感测第一对象在显示器上的移动；第二传感器，被配置为感测从触摸显示器的对象发射的电磁波；控制器，被配置为根据电磁波是否被第二传感器感测到而执行与由第一传感器和第二传感器中的任意一个传感器感测到的触摸相应的功能。
电子白板及其控制方法

[实用新型]基板分析装置-CN201620401872.3有效
发明人：川端克彦;一之濑达也;李晟在 -专利权人：埃耶士株式会社
申请日： 2016-05-05 - 公布日： 2016-12-07 - 主分类号： G01N27/62 文献下载
摘要：本实用新型的课题是提供一种基板分析装置，其自动地进行：从将移行有基板所含的杂质的分析液予以回收，到ICP‑MS等的分析为止。本实用新型的基板分析装置具备有：载入端口，设置有收纳基板的收纳盒；基板搬送机器人，可取出、搬送、设置收纳在载入端口的基板；对准器，调整基板的位置；干燥室，将基板加热干燥；气相分解室，用以通过蚀刻气体而蚀刻基板；分析扫描端口，具有载置基板的分析台、以及基板分析用喷嘴，并通过该基板分析用喷嘴，将载置在分析台的基板表面以分析液扫掠，并将使分析对象物移行的分析液回收；分析液采取手段，具备经投入所回收的分析液的分析容器；分析手段，将由喷雾器所供给的分析液进行元素分析。
分析装置

[发明专利]衬底分析装置及衬底分析方法-CN201010602119.8有效
发明人：川端克彦;李晟在;一之濑达也;国香仁 -专利权人：埃耶士株式会社
申请日： 2010-12-17 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种衬底分析装置及一种衬底分析方法，其为可通过同一装置进行蚀刻步骤与回收步骤两步骤的小型且简易的分析装置，不论形成于衬底的膜的种类为何皆可进行分析且也适用于衬底上的局部分析。本发明的衬底分析装置，具备由将分析液予以送出及抽吸的喷嘴本体、及配置在喷嘴本体外周的外管所构成的双重管喷嘴，回收手段为双重管喷嘴的喷嘴本体，蚀刻手段为供给至喷嘴本体与外管之间的蚀刻气体。而且，还具备将喷嘴本体与外管之间作为排气路径的排气手段，外管以围绕进行刮引的分析液的方式配置，且在前端具有外气导入孔。依据本发明，可通过同一装置进行蚀刻步骤与回收步骤两步骤，也可进行简易的分析、或针对衬底的特定部位的局部分析。
衬底分析装置方法

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