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[发明专利]精密传输预对准装置和预对准方法-CN202211716129.3在审
发明人：罗先刚;闫剑;刘明刚;李成文利;王长涛 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-03-31 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：本公开提供一种精密传输预对准装置和预对准方法，该装置包括：温度处理单元(2)，包括均流板(2.1)、帕尔贴元件(2.3)和散热风扇(2.4)，用于通过加热或者制冷将气浴气体调控至目标温度；气浴恒温箱(1)，包括气体过滤器(1.1)、气浴栅栏(1.2)和温度传感器(1.3)，用于将气浴气体均匀传递至内部腔室(1.6)及测量温度；气浴恒温箱(1)与温度处理单元(2)分别通过供风管(1.4)和回风管(1.5)连接，以使气浴气体进行流通；预对准系统(3)，设于气浴恒温箱(1)的内部腔室(1.6)中。本公开的预对准装置结构体积小、温度分布均匀，能同时实现晶圆预对准、面形翘曲检测以及表面异物检测。
精密传输对准装置方法

[发明专利]基于单相机的模板标记检测方法及模板位置矫正方法-CN202211651503.6在审
发明人：罗先刚;李成文利;刘明刚;闫剑;王长涛 -专利权人：中国科学院光电技术研究所
申请日： 2022-12-21 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： G06V10/10 文献下载
摘要：本公开提供了一种基于单相机的模板标记检测方法及模板位置矫正方法，包括：S1，采用单相机对模板上的标记进行图像采集，预处理后得到二值化图像；S2，对二值化图像进行边缘锯齿角点检测，得到边缘锯齿角点集合；S3，对二值化图像依次进行边缘检测、直线检测，得到粗检测边缘线段集合；S4，遍历粗检测边缘线段集合，判断并保留其中共线的线段，得到粗检测共线线段集合；S5，遍历边缘锯齿角点集合，与粗检测共线线段集合中的线段进行点、线共线判断，得到精检测点线集合；S6，对精检测点线集合进行直线拟合，再利用反正切函数计算得到各条直线的倾斜角度，完成对标记的检测。进一步地，对模板的位置进行矫正。
基于相机模板标记检测方法位置矫正

[发明专利]融合多视图模糊推理赋值的障碍物检测方法-CN201910406794.4有效
发明人：邹应全;李成文利;黄凯 -专利权人：四川省客车制造有限责任公司;成都测艺科技有限公司;成都蓝构工业产品设计有限公司
申请日： 2019-05-16 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： G01S13/931 文献下载
摘要：本公开涉及一种融合多视图模糊推理赋值的障碍物检测方法，包括：获取三维激光雷达数据并将三维激光雷达数据转换为体素地图数据；基于体素地图数据获取无人驾驶车辆的前视图数据和俯视图数据；基于前视图数据和第一预设模糊推理规则，得到第一概率参数；基于俯视图数据和第二预设模糊推理规则，得到第二概率参数；基于DST建立障碍物目标体素识别框架，将第一概率参数和第二概率参数输入障碍物目标体素识别框架，得到判定体素地图数据中的体素是否为障碍物的判定结果；基于判定结果对体素地图数据中的体素进行聚类，得到用于表征目标为障碍物的体素构成的长方体和对应于该长方体的特征信息。
融合视图模糊推理赋值障碍物检测方法