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[发明专利]球面测试板及其制作方法以及干涉仪传递函数的标定方法-CN202310862185.6有效
发明人：王孝坤;蔡梦雪;张学军;胡海翔;李凌众;张志宇 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： B23B1/00 文献下载
摘要：本发明涉及干涉仪传递函数测量技术领域，尤其涉及球面测试板及其制作方法以及干涉仪传递函数的标定方法，球面测试板的制作方法包括如下步骤：S1、基于待检镜的面形参数确定球面测试板的面形参数；其中，待检镜为高陡度球面镜或高陡度非球面镜，球面测试板的面形参数包括口径和曲率半径；S2、确定球面测试板的表面结构为环形台阶，基于干涉仪的参数及后续采样分析要求计算环形台阶的间距；S3、基于球面测试板的面形参数及环形台阶的间距，采用超精密车削方式进行加工，形成带有环形台阶的球面测试板。本发明根据待检镜的面形设计球面测试板的面形，在对高陡度球面/非球面镜检测时，球面测试板能够对干涉仪的仪器传递函数进行标定。
球面测试及其制作方法以及干涉仪传递函数标定方法

[发明专利]基于仪器传递函数的光学元件拼接检测方法-CN202310862186.0有效
发明人：王孝坤;蔡梦雪;胡海翔;张志宇;李凌众;张学军 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-07-14 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： G02B27/00 文献下载
摘要：本发明涉及光学元件拼接检测技术领域，尤其涉及一种基于仪器传递函数的光学元件拼接检测方法，包括如下步骤：S1、基于待检镜的面形参数设计并制作球面测试板；S2、对球面测试板与待检镜进行子孔径规划；S3、对球面测试板的面形进行检测，并对检测的面形进行数据处理；S4、对干涉仪的仪器传递函数的标定；S5、对待检镜进行子孔径拼接检测，并基于仪器传递函数的标定结果，对子孔径拼接的重叠区域的权重进行调整。本发明采用球面测试板对干涉仪的仪器传递函数进行标定，并根据标定结果对子孔径拼接的重叠区域的权重进行调整，实现面形的精确检测。
基于仪器传递函数光学元件拼接检测方法

[发明专利]基于机械臂的大口径光学元件表面缺陷检测方法及装置-CN202310649207.0有效
发明人：王孝坤;刘忠凯;张学军;李龙响;罗霄;李凌众 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-06-02 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： G01M11/02 文献下载
摘要：本发明涉及光学检测领域，具体提供了基于机械臂的大口径光学元件表面缺陷检测方法及装置，采用粗扫模式和精扫模式结合的方式，对待检测大口径光学元件表面缺陷进行暗场成像和明场成像，并对采集到的图像进行拼接，对定位误差以及复杂背景噪声进行消除，实现表面缺陷的轮廓提取及定位，结合显微成像技术可以实现对多种材料、多种面型的大口径光学元件表面缺陷在位检测，具有检测效率高、判定缺陷等级准确的优点。
基于机械口径光学元件表面缺陷检测方法装置

[发明专利]自由曲面光学镜片检测方法-CN202310404566.X有效
发明人：王孝坤;刘忠凯;胡海翔;张学军;田明森;李凌众;刘斌;李文涵 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2023-04-17 - 公布日： 2023-07-07 - 主分类号： G01B11/25 文献下载
摘要：本发明提供一种自由曲面光学镜片检测方法，涉及光学镜片检测技术领域，包括：将正弦条纹生成于屏幕，采集经该镜片表面透射的变形条纹；通过相移法产生相移，并且使用相位解包裹程序获得其连续真实相位，获得该镜片的波前斜率；基于波前相位以及条纹亮度变化，计算得到镜片缺陷的深度及大小；基于该镜片的波前斜率反演镜片面形，得到该镜片表面每一点的曲率信息；基于该镜片的曲率信息，计算其参数，对有偏光效果的镜片旋转角度，反演偏光镜片的偏振信息。本发明能够实现对自由曲面光学镜片的高精度、多参数的快速检测，具有参数范围广、可检测镜片表面缺陷、偏振特性以及配制完成后存在形变的眼镜面形及参数等优势。
自由曲面光学镜片检测方法

[发明专利]检测光学自由曲面反射镜面形的方法及装置-CN202111034144.5有效
发明人：王孝坤;王晶;罗霄;李凌众;苏航;张学军 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2021-09-03 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种检测光学自由曲面反射镜面形的方法，包括步骤：S1、对待测自由曲面反射镜的子孔径区域中心的空间位置进行子孔径规划；S2、通过夏克哈特曼波扫描方法获得所述待测自由曲面反射镜的全口径自由曲面检测的光斑位置；S3、以理想自由曲面面型作为参考面型，根据反射定理获得光斑与微透镜阵列的对应关系，再通过逆向光线追迹方法，获得所述待测自由曲面反射镜的矢高，实现对所述待测自由曲面反射镜的面形检测。本发明的方法可通过计算得到光斑与微透镜阵列的对应关系，增大了检测动态范围，避免了利用斜率重构波前的计算误差，提高了面形检测的精度。
检测光学自由曲面反射镜面形方法装置

[发明专利]一种大口径反射镜加工装置及其加工方法-CN202211295400.0在审
发明人：戚二辉;李凌众;刘振宇;胡海翔;罗霄 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-10-21 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种大口径反射镜加工装置及其加工方法，该大口径反射镜加工装置包括连接法兰和设置于所述连接法兰的多个柔性磨盘单元，各所述柔性磨盘单元包括连接于所述连接法兰的恒压供给装置、连接于所述恒压供给装置的高自由度被动变形装置以及连接于所述高自由度被动变形装置的磨盘，本发明通过恒压供给装置与高自由度被动变形装置，提高了小口径磨盘与镜面的吻合度，避免了大口径刚性磨盘由于不吻合现象产生的碎带面形误差，本发明将若干个小口径磨盘进行组合，成倍的增大了磨盘的体积去除率，为光学元件的高效高质量制造提供了一定的保障。
一种口径反射加工装置及其方法

[发明专利]大口径凸非球面反射镜面形检测装置及其检测方法-CN202211019490.0在审
发明人：王孝坤;苏航;李凌众;罗霄;张学军;吴琼 -专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
申请日： 2022-08-24 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： G01B11/24 文献下载
摘要：本发明提供一种大口径凸非球面反射镜面形检测装置及其检测方法，包括：激光干涉仪和球面标准镜；激光干涉仪用于发出平面波入射至球面标准镜后变为球面波，球面波入射至待检镜，经待检镜反射后与参考波面形成干涉条纹，从而得到待检镜中心子孔径的面形信息；检测装置还包括CGH；CGH放置在激光干涉仪的出光口前方，用于将平面波转为符合待检镜面形的波前，分别对待检镜和CGH的位姿进行调节，使得待检镜外圈子孔径测量的干涉条纹为零条纹，从而得到待检镜外圈子孔径的面形信息，通过拼接算法将所有子孔径面形进行拼接，进而获得待检镜的全口径面形信息。本发明能有效减少子孔径的数目，减小拼接难度，从而减小拼接过程中产生的误差。
口径球面反射镜面形检测装置及其方法

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