专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]预抽真空装置-CN202123154262.8有效
  • 朴常材 - 乐金显示光电科技(中国)有限公司
  • 2021-12-14 - 2022-06-03 - C23C14/34
  • 本实用新型公开一种预抽真空装置,包括壳体、输送台和至少一个液冷板,输送台和液冷板均设置在壳体内,输送台用于输送玻璃基板,液冷板设置在输送台的上方,且液冷板与输送台的上表面垂直设置。本实用新型的预抽真空装置在壳体内设有液冷板,受热的惰性气体会向上升并与液冷板之间进行热交换,使得预抽真空装置中的惰性气体保持在较低的温度,从而有效缩短玻璃基板的冷却时间,提高生产效率。由于气体受热后上升的特性,将液冷板与输送台的上表面垂直设置,相较于将液冷板与输送台的上表面平行的设置方式,能让液冷板对更大高度范围的惰性气体起到冷却作用,因而具有更好的冷却效果。
  • 真空装置

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