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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]基板载具-CN201420296035.X有效
发明人：颜晖展;朱筱惠 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2014-06-05 - 公布日： 2014-10-08 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型的基板载具呈盒状并包括一底板、由底板向上延伸的一环侧壁及由环侧壁相对底板共同围绕出的一容置空间，且环侧壁设有至少一区段部分，其上下延伸有一弹性构件。借助弹性构件的结构设计，可避免在分页工艺中抓取基板载具内所容置的基板时造成基板因撞击载具的环侧壁而导致破片的问题，并相对可提高工艺良率。本实用新型有关于一种配合前述基板载具使用的基板输送装置。
基板载具

[实用新型]光罩盒的减震结构-CN201120038203.1有效
发明人：江枝茂;朱筱惠 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2011-02-14 - 公布日： 2011-09-21 - 主分类号： B65D81/05 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光罩盒的减震结构，应用于一光罩盒上，由一弹性臂一端连接在该光罩盒的框体上，该弹性臂的另一端自该框体向该光罩盒内延伸设置，且与至少一挡片连接，使一光罩装设在该光罩盒中时，在输送过程中不会因碰撞产生粉尘，而影响该光罩的光罩蚀刻电路的精准度，如此，通过该减震结构达到具有弹性力佳及减震效果佳的目的。
光罩盒减震结构

[实用新型]晶圆盒连动定位装置-CN201120038236.6有效
发明人：江枝茂;朱筱惠 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2011-02-14 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型一种晶圆盒连动定位装置，其包括有：一晶圆盒、一定位垫及一固定座；其中，所述晶圆盒具有一外盖及一底座；所述定位垫一面枢设至少一定位轴，各定位轴上设至少一定位块，各定位块为多边形片体；所述固定座设一组支撑杆，各支撑杆一端设于所述晶圆盒的底座上，所述定位垫的定位轴二端并枢接于二支撑杆上；如此，通过定位块的数个定位边缘的定位作用，使所述定位垫在上、下移动时，可上、下定位于适当位置上，不会过度的上、下移动，而能避免其卡在外盖上及避免卡在晶圆边缘上。
晶圆盒连动定位装置

[实用新型]卡匣挡板连动结构-CN201120038211.6无效
发明人：江枝茂;颜晖展;朱筱惠 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2011-02-14 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： B65D85/48 文献下载
摘要：本实用新型公开一种卡匣挡板连动结构，其包括：一置片卡匣、一握把、一连动元件及一侧挡板；其中，所述置片卡匣二侧面板设数个固定肋条；所述握把枢设于所述置片卡匣顶部，其一侧下方设一推动元件；所述连动元件枢设于所述置片卡匣上的所述推动元件一侧处，使所述握把的推动元件可推动所述连动元件产生转动；所述侧挡板枢设于所述置片卡匣的一开口侧边邻近所述连动元件一侧处；如此，通过提起、收回所述握把，使所述握把的推动元件推动所述连动元件产生转动，进而使所述连动元件的转动运动推动所述侧挡板产生开启、盖合，方便卡匣内基板的取放。
挡板结构

[实用新型]光罩盒的定位结构-CN201120038225.8有效
发明人：江枝茂;朱筱惠 -专利权人：中勤实业股份有限公司
申请日： 2011-02-14 - 公布日： 2011-08-03 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种光罩盒的定位结构，其包括有：一底座及一上盖；其中该底座上设一供安装晶圆片的安装座；该上盖内壁选定位置上设至少一定位元件，该多定位元件设一弹性本体，该弹性本体末端设一弹性的接触尖端，用以接触及压住该安装座上的一晶圆片表面；如此，可通过该多定位元件的接触尖端与该晶圆片表面的点接触，减少与该晶圆片接触的磨耗，避免产生磨耗的粉尘，而不影响该晶圆片的光照蚀刻电路的精准度。
光罩盒定位结构

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