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- [实用新型]基于隧道效应的加速度传感器-CN97209470.9无效
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张鸿海;曾志;张华书;朱松;张建利;范细秋;刘进;江福祥
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华中理工大学
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1997-03-18
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1998-12-23
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G01P15/08
- 本实用新型公开了一种基于隧道效应的加速度传感器,基座固定在外壳上,双压电晶体片的一端固定在基座上,另一端悬空,针尖固定在该悬空端,振动薄膜固定在基座上,且振动薄膜上表面与针尖之间,振动薄膜下表面与基座上表面之间均留有间隙。该传感器精度高,具有极高的分辨力,结构简单,体积小,便于制造,且成本低,可广泛应用于地震监测与预报、宇航导航、机器人控制、工业监测与控制、大型建筑物的监测等领域。
- 基于隧道效应加速度传感器
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