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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种自动取片机-CN202210471056.X有效
发明人： 曾贵州;周铁军;唐勇;卿德武;陈章水 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种自动取片机，其可使晶棒切割后形成的晶片一一分离，且分离效率高，其技术方案：包括一固定结构，用于固定外设晶托；还包括一切割组件、一第一驱动组件，所述第一驱动组件用于使切割组件与固定结构产生相对移动以使切割组件切割外设基板，属于晶片制备技术领域。
一种自动取片机

[实用新型]一种转接口调节装置及一种真空泵装置-CN202222038823.6有效
发明人：唐勇;郑金龙;曾贵州;周铁军;杨小丽 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-08-03 - 公布日： 2023-04-25 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种转接口调节装置及一种真空泵装置，包括：转接口支座，所述转接口支座用于支撑并紧固转接口，所述转接口通过柔性管与真空泵连通；支撑架，所述支撑架包括支撑底板，所述支撑底板用于支撑所述转接口支座，所述支撑底板上设置有滑槽，所述转接口支座配合于所述滑槽内；第一驱动组件，所述第一驱动组件用于驱动所述转接口支座沿着所述滑槽移动；第二驱动组件，所述第二驱动组件用于驱动所述支撑架上下移动。通过转接口调节装置可确保转接口与石英管同轴，那么就能够确保卡头与石英管同轴，如此便不需要对卡头施加外力，那么也就能够规避石英管的焊道中出现内应力，从而在很大程度大避免了石英管裂管。
一种转接调节装置真空泵

[实用新型]一种晶片清洗装置-CN202221741861.1有效
发明人：田玉莲;郭炳熙;孙美玉;王国超;王金灵;曾贵州;周铁军 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-07-05 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B08B3/10 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片清洗装置，包括伸缩杆，与伸缩杆相连的驱动机构，和与驱动机构电连接的控制机构；伸缩杆用于悬挂置于清洗药液中的晶片，控制机构用于控制驱动机构带动伸缩杆沿其长度方向进行往复运动，使得晶片在清洗药液中往复运动，以实现对晶片的清洗。和现有技术相比，本实用新型实施例所公开的晶片清洗装置由于通过控制机构对驱动机构进行控制以实现晶片的清洗，因此，在清洗过程中的一致性较好，不仅提高了清洗效率，还有效提升了清洗效果。
一种晶片清洗装置

[实用新型]一种自动焊管装置-CN202221852324.4有效
发明人：唐勇;曾贵州 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-07-18 - 公布日： 2023-02-21 - 主分类号： B23K5/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种自动焊管装置，设置于固定有石英管的卡头上，包括中空的枪头连接杆，和与枪头连接杆相连通的环形枪头，枪头连接杆内能够通入氢气和氧气，氢气和氧气能够从枪头连接杆进入环形枪头内，环形枪头能够套设于石英管上，且能够对准石英管的待焊接位置，枪头连接杆能够带动环形枪头沿石英管的周向分别按顺时针和逆时针方向旋转180度，以对石英管的待焊接位置进行均匀焊接。和现有技术相比，本实用新型实施例所公开的自动焊管装置，火焰温度和焊接速度的差异均很小，减小了应力，有效降低了焊接后的石英管出现裂管的几率，从而减少了时间和材料的浪费。
一种自动装置

[实用新型]一种线切割机槽轮夹取装置-CN202222295073.0有效
发明人：吴瑶;王金灵;曾贵州;周铁军 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-08-29 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B66C1/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种线切割机槽轮夹取装置，包括：支撑装置，包括夹取装置横轴和第一端设置于夹取装置横轴上的连杆，连杆的数量至少为两个；夹具，连杆的第二端设置有夹具，夹具包括第一抱箍和第二抱箍，第一抱箍的第一端与连杆铰接，第一抱箍的第二端具有尖齿部，第二抱箍的第一端与连杆铰接，第二抱箍的第二端具有供尖齿部插入的斜齿槽，以使得第一抱箍和第二抱箍围成用于夹取线切割机槽轮的空间，斜齿槽由槽底至开口侧的延伸方向向远离第一抱箍的方向倾斜。本实用新型提供的线切割机槽轮夹取装置，夹具操作简单，方便快捷，降低了操作人员的劳动强度，有效减少人工搬运过程的危险性，消除了线切割机槽轮更换过程中的安全隐患。
一种切割机槽轮夹取装置

[实用新型]一种砷化镓晶棒粘接辅助夹具-CN202221194503.3有效
发明人：吴瑶;曾贵州;王金灵;周铁军 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-05-17 - 公布日： 2023-01-03 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶棒加工技术领域，公开了一种砷化镓晶棒粘接辅助夹具，其包括工作台以及设于工作台上的夹具本体，夹具本体通过弹性件与工作台固定连接，夹具本体与工作台之间形成用于放置砷化镓晶棒与基座的工作区，夹具本体的内壁呈圆弧形设置并与砷化镓晶棒的形状相匹配，夹具本体上设有支撑件，支撑件成对设置，两个支撑件分别设于夹具本体的两侧，支撑件与夹具本体活动连接并可沿自身轴线上下移动。与现有技术相比，该砷化镓晶棒粘接辅助夹具的结构简单可靠、易于操作、粘接误差小、粘接效率高。
一种砷化镓晶棒粘接辅助夹具

[实用新型]一种用于晶片的削膜装置-CN202123198223.8有效
发明人：况正东;郑金龙;周铁军;曾贵州;廖彬;杨士超 -专利权人：广东先导先进材料股份有限公司
申请日： 2021-12-17 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B26D1/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体材料制造技术领域，公开了一种用于晶片的削膜装置，包括能够自转的定位机构和设置于所述定位机构一侧的削膜机构，所述定位机构用于定位晶片，当所述定位机构自转时，所述削膜机构能够对所述定位机构上的所述晶片的边缘进行削膜。本实用新型通过提供一种用于晶片的削膜装置，替代手工削膜作业，提高晶片边缘削膜均匀程度，降低人工劳动强度，减少晶片在削膜作业中的碎片、破损问题，提高良品率，降低产品的经济成本。
一种用于晶片装置

[实用新型]一种晶棒承载装置-CN202221040897.7有效
发明人： 曾贵州;周铁军;唐勇;卿德武;陈章水 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶棒承载装置，取代人工承托晶棒，降低劳动强度，保证晶片生产的正常进行，其技术方案：包括承载板，所述承载板上设有一放置槽，所述放置槽内放置有一承载座，所述承载座上设有一承载槽，所述承载槽与外设晶棒的形状适配；所述承载板通过一第一驱动组件驱动可靠近或远离外设切割装置，属于晶棒加工领域。
一种承载装置

[实用新型]一种清洗夹具-CN202221342470.2有效
发明人：王金灵;刘火阳;曾贵州 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： B08B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种清洗夹具，包括夹具本体、第一夹持部和第二夹持部，第一夹持部固定于夹具本体上，第二夹持部滑动设置于夹具本体上，且第二夹持部能够朝向靠近或远离第一夹持部的方向滑动，使得第一夹持部和第二夹持部能够对不同规格尺寸的晶片进行夹持，以实现对晶片的清洗。和现有技术相比，由于第二夹持部可在夹具本体上滑动，第一夹持部和第二夹持部之间的距离可进行调节，因此，上述清洗夹具能够对不同规格尺寸的晶片进行夹持，以实现对晶片的清洗，从而有效提升了清洗夹具的适用性，进一步提高了清洗效率。
一种清洗夹具

[发明专利]一种砷化镓晶片背面不良的去除方法-CN202210766182.8在审
发明人：田玉莲;孙美玉;王国超;周铁军;曾贵州;王金灵 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-07-01 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种砷化镓晶片背面不良的去除方法，包括以下步骤：1)将背面不良的砷化镓晶片进行厚度分盘，每盘差异≤3μm，正面贴膜；2)对晶片的背面轻压研磨；3)采用含碱性金属清洗剂的水溶液浸泡，背面掉量8～10μm，水洗；4)采用氨水、双氧水和去离子水的混合溶液进行漂洗后，水洗，干燥，得到处理后砷化镓晶片。该方法能够有效去除各生加工工序中造成的砷化镓晶片背面不良问题，如背面表面脏污、背划伤、背面水纹、背面药印等背面不良，达到客户要求，满足外延生长的要求。且背面不良的去除率较高。
一种砷化镓晶片背面不良去除方法

[发明专利]一种砷化镓晶片的清洗方法及其清洗辅助装置-CN202210672659.6在审
发明人：吴瑶;曾贵州;王金灵;周铁军 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体加工技术领域，公开了一种砷化镓晶片的清洗方法及其清洗辅助装置，包括第一次冲洗晶片；第一次浸泡晶片；第二次冲洗晶片；第二次浸泡晶片；第三次冲洗晶片；将第二次浸泡完的晶片用纯水冲洗晶片表面，冲洗完毕后放置在水箱中，完成清洗过程。本发明对晶片清洗效率更高，且清洗更加干净，整个清理过程简洁快速。
一种砷化镓晶片清洗方法及其辅助装置

[实用新型]一种过氨水装置和半导体器件的生产系统-CN202221060686.X有效
发明人：吴倩;刘火阳;周铁军;曾贵州;王金灵 -专利权人：广东先导微电子科技有限公司
申请日： 2022-05-05 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B08B3/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种过氨水装置和半导体器件的生产系统。该过氨水装置包括本体，本体包括安装支架和与安装支架连接的连接架，安装支架用于安装卡塞，卡塞用于盛装晶片，连接架的顶部设置有连接结构；转动手柄，转动手柄包括手柄壳体和设置于手柄壳体的电机，电机的输出轴露出手柄壳体，且电机的输出轴与连接结构连接；液压传感器，设置于安装支架上；以及控制器，控制器能够与液压传感器和电机进行信号传输。本实用新型所提供的过氨水装置在操作时只需要握住转动手柄即可，不需要对过氨水装置进行摇晃，减少了人工压力，提高了清洗效率，适合对大批量晶片进行清洗。
一种氨水装置半导体器件生产系统

[实用新型]一种贴膜设备-CN202123340197.8有效
发明人：郑金龙;况正东;周铁军;廖彬;杨小丽;曾贵州;张建锋 -专利权人：广东先导先进材料股份有限公司
申请日： 2021-12-27 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体材料制造技术领域，公开了一种贴膜设备，其包括贴膜机构和切膜机构，贴膜机构包括传送带和压膜板，切膜机构包括切膜刀、切割板和外壳，切膜刀包括第一刀片和第二刀片，第一刀片和第二刀片相互交叉形成多个十字形切割结构，切割板设于切膜刀的顶部并与其固定连接，外壳则设于切割板的外侧并包绕切割板，外壳的内侧壁上设有若干个限位片。与现有技术相比，该贴膜设备能够一次性完成多片晶片的贴膜与切膜操作，结构设计巧妙、施工效率高、贴膜与切膜效果均十分出色，不会因操作人员的熟练度出现限制，避免了原有的施工工艺对晶片和操作人员造成的损伤，降低了操作风险，使用体验好。
一种设备

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