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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]层膜裁切装置及其方法、晶圆贴膜方法及其贴膜机-CN201910831876.3有效
发明人：陈明宗;曾永村;杨佳裕;赖家伟 -专利权人：志圣科技（广州）有限公司
申请日： 2019-09-04 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种层膜裁切方法。提供一层膜，包括堆叠设置的一第一膜层以及一第二膜层。以一第一刀具裁切第一膜层，而得到贴附于第二膜层上的一图案化第一膜层部分以及一废料第一膜层部分。自第二膜层移除废料第一膜层部分。以一第二刀具沿着一裁切路径裁切第二膜层，而使被裁切的第二膜层贴附有图案化第一膜层部分。裁切路径围绕图案化第一膜层部分并且与图案化第一膜层部分的边缘彼此间隔。本发明还公开了层膜裁切装置、晶圆贴膜方法以及晶圆贴膜机。
层膜裁切装置及其方法晶圆贴膜贴膜机

[发明专利]晶圆加工机台及其加工方法-CN201811257070.X在审
发明人：陈明宗;曾永村;杨佳裕;洪建民 -专利权人：志圣科技(广州)有限公司
申请日： 2018-10-26 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种晶圆加工机台及其加工方法，包括一腔体、一上压装置、一承载装置及一对位装置，腔体可为一真空状态，上压装置、承载装置及对位装置分设于腔体内，于腔体内设有一晶圆及一玻璃基板并于所述腔体内完成烘烤、消除翘曲及冷却的工艺，达到一具有三合一功能的晶圆加工机台。
机台承载装置晶圆加工上压装置体内玻璃基板对位装置加工机台真空状态三合一烘烤晶圆腔体翘曲种晶分设加工冷却

[发明专利]切膜装置及其切膜方法-CN201710673936.4在审
发明人： 曾永村;陈明宗;杨佳裕 -专利权人：志圣科技（广州）有限公司
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2019-02-26 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种切膜装置，用以裁切适于贴附于一晶圆的一薄膜，其中晶圆具有一外缘以及位于外缘的一凹槽。切膜装置包含一承载座、一运动模块、一凹槽切刀以及一外缘切刀。运动模块设置于承载座。凹槽切刀设置于运动模块，使得运动模块可带动凹槽切刀相对承载座移动而接近或远离薄膜。凹槽切刀可切割薄膜而于薄膜形成一破孔。外缘切刀设置于运动模块，使得运动模块可带动外缘切刀相对凹槽切刀移动而接近或远离薄膜。运动模块还可带动外缘切刀相对承载座旋转以裁切薄膜。本发明还公开了一种切膜方法。
切刀运动模块承载座薄膜切膜装置裁切晶圆切膜薄膜形成切割薄膜移动破孔贴附

[实用新型]预贴机的夹持传动机构-CN201020175533.0有效
发明人：杨佳裕;曾永村 -专利权人：志圣工业股份有限公司
申请日： 2010-04-30 - 公布日： 2010-12-29 - 主分类号： H05K3/22 文献下载
摘要：一种预贴机的夹持传动机构，预贴机本体设有一薄膜传动装置，薄膜传动装置预设处至少有一切刀座及一贴膜座，贴膜座前端另设有一板体运输用输送装置，贴膜座后端则设一夹持机构，夹持机构恰与通过贴膜座而贴附有薄膜的板体前缘呈夹持关系，夹持机构包括结合有皮带的固定座，及设置在固定座前端的上下夹体，上下夹体分别设置有上、下夹片，另上夹片为单一预设长片状结构体，及仅两侧边设有片状结构体的下夹片，是以可组拆方式与上下夹体活动结合，且上、下夹片内缘面设有软质垫体；借设置在中央的夹持机构以夹持通过贴膜座而贴附有薄膜的板体前缘，以利薄膜的完整贴附于板体表面而不致浪费板体，同时亦克服板体与薄膜贴合过程产生的气泡不良率。
预贴机夹持传动机构

[发明专利]制程设备剥膜机构-CN200710122935.7无效
发明人：杨佳裕;曾永村 -专利权人：志圣工业股份有限公司
申请日： 2007-07-05 - 公布日： 2009-01-07 - 主分类号： B32B38/10 文献下载
摘要：一种制程设备剥膜机构，包括一动力部与一剥膜部，其中：该动力部包括第一驱动件与第二驱动件，该第一驱动件及第二驱动件与剥膜部连接，且该第一驱动件向该剥膜部提供第一轴向的驱动力，而该第二驱动件则向剥膜部提供第二轴向的驱动力；该剥膜部具有一剥膜头，该剥膜头受第一驱动件与第二驱动件的带动，得到第一轴向与第二轴向的驱动力，借由第一轴向与第二轴向的驱动力搭配，以驱使剥膜头滚压剥膜。本发明借由滚压剥膜的方式，有效的运用剥膜力量，而可增加剥膜的成功率，且亦不会损坏工件。
设备机构

[发明专利]预贴机的夹持传动机构-CN200610152558.7无效
发明人：杨佳裕;曾永村 -专利权人：志圣工业股份有限公司
申请日： 2006-09-29 - 公布日： 2008-04-02 - 主分类号： H05K3/22 文献下载
摘要：一种预贴机的夹持机构，该预贴机本体设有一薄膜传动装置，该薄膜传动装置预设处至少设有一切刀座及一贴膜座，贴膜座前端另设有一板体运输用输送装置，贴膜座后端则设一夹持机构，该夹持机构恰与通过贴膜座而贴附有薄膜的板体前缘呈夹持状态；其中夹持机构包括结合有皮带的固定座，及设置在固定座前端的上下夹体，上下夹体分别设置有上、下夹片。本发明具有部件破损易更换、好保养的优点。
预贴机夹持传动机构

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