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[发明专利]一种MEMS谐振器件的封装结构及封装结构制造方法-CN202310891299.3在审
发明人：林日乐;王广元;曹凯聪;张婷婷;肖凌 -专利权人：重庆天箭惯性科技股份有限公司
申请日： 2023-07-19 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H03H3/007 文献下载
摘要：本发明提供一种MEMS谐振器件的封装结构及封装结构制造方法，本方法包括：获取第一硅片层作为衬底层；获取第二硅片层作为MEMS谐振器件，将MEMS谐振器件的第一表面与衬底层的上表面键合；获取第三硅片层作为盖板层，将盖板层的第一表面与MEMS谐振器件的第二表面键合；获取第四硅片层，对第四硅片层进行沉积操作，得到引线层，将引线层的第一表面与盖板层的第二表面连接，得到MEMS谐振器件的封装结构。本发明提供了一种MEMS谐振器件的封装结构及封装结构制造方法，包括盖板层、MEMS谐振器件以及衬底层都为相同的硅基材料，整个结构热适配性优，避免谐振器件的热失配，提高了性能稳定性，能适用于不同种类型如晶圆级、器件级的MEMS器件的封装，工艺适配性、灵活性高。
一种 mems 谐振器件封装结构制造方法

[发明专利]一种枫叶状MEMS环形振动陀螺谐振子结构-CN202310714213.X在审
发明人：张婷婷;林日乐;曹凯聪;王广元;肖凌 -专利权人：重庆天箭惯性科技股份有限公司
申请日： 2023-06-15 - 公布日： 2023-08-22 - 主分类号： G01C19/5684 文献下载
摘要：本发明提供一种枫叶状MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括：基底、环形谐振子、以及电极；环形谐振子和基底键合，包括：具有空腔的圆环状谐振质量、设于圆环状谐振质量的内腔中心的中心锚点、以及连接中心锚点和圆环状谐振质量之间的若干枫叶状弹性支撑梁结构；电极和基底键合，包括：驱动电极、检测电极、第一控制电极、第二控制电极、以及接地电极。本发明能避免应力集中，降低残余应力的影响；同时支撑结构简单，自然对称，工艺实现容易，受加工误差的影响小，可以保证工艺一致性，能有效提升工艺容差；悬臂梁内弧形的设计能提升结构刚度，提高谐振子结构的抗冲击性能；内弧形的设计能加大电极的有效面积，提高激励效率，提升谐振子结构的灵敏度。
一种枫叶 mems 环形振动陀螺谐振子结构

[发明专利]一种用于车载电池监控的高灵敏度磁电传感器-CN202210471879.2在审
发明人：高峰;孙俊杰;孙志檬;卜献宝;初菲;赵恺;曹凯聪;胡振朋 -专利权人：明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司;明石创新产业技术研究院有限公司
申请日： 2022-04-29 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： G01K7/36 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于车载电池监控的高灵敏度磁电传感器，包括底板，所述底板上设置有固定机构，所述底板上固定连接有壳体，所述壳体上设置有散热机构，所述壳体上开设有出气口，所述壳体上粘接有防尘网，所述防尘网和出气口位置对应，所述底板上设置有感应机构，所述壳体上焊接有四个支脚，四个所述支脚均匀分布在壳体上，所述支脚上固定安装有电路板。本发明涉及一种用于车载电池监控的高灵敏度磁电传感器，具有装置灵敏度高、减小装置装置震动和装置便于固定的特点。
一种用于车载电池监控灵敏度磁电传感器

[发明专利]一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体及其制备工艺-CN202111560497.9在审
发明人：高峰;卜献宝;赵恺;曹凯聪;胡振朋 -专利权人：明石创新（烟台）微纳传感技术研究院有限公司;明石创新产业技术研究院有限公司
申请日： 2021-12-20 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体，包括压力感测芯体和金属焊盘、互联引线、压阻条、敏感薄膜、钝化层、绝缘层、背腔、支撑基底支撑，压力感测芯体上除了用于后续引线键合的金属焊盘区域外，其余均被表面钝化层覆盖，金属焊盘与互联引线将四个压阻条以开环的惠斯通形式连接起来，压阻条包括横向压阻条与纵向压阻条，被布置在敏感薄膜的应力集中区域，敏感薄膜悬空于背腔之上且通过支撑基底支撑。本发明涉及一种基于MEMS的双梁式微压感测芯体及其制备工艺，所述的凸起梁和中心块结构避免了在微压领域灵敏度和线性度不可兼顾不足，而且所述的制备工艺可以提高晶圆的利用率。
一种基于 mems 式微压感测芯体及其制备工艺

[发明专利]一种光学位移检测传感器组件-CN201910490502.X有效
发明人：周吴;于慧君;詹海翔;曹凯聪;赵虎 -专利权人：电子科技大学
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2020-09-01 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种光学位移检测传感器组件，其包括光学检测传感器和反光镜，光学检测传感器包括激光发生器，激光发生器外依次分布有内圆周和外圆周；内圆周和外圆周上分别设置有若干内圈光敏二极管和外圈光敏二极管；反光镜包括直反光面，直反光面的四周均设置有倾斜的斜反光面，斜反光面与直反光面形成下凹结构。本方案用于对平面的位移情况进行检测，检测时将反光镜安装在待检测的平面上，将光学检测传感器正对的安装在反光镜对侧，激光发生器向反光镜发射光源，光源通过反射镜向内圈光敏二极管和外圈光敏二极管反射光来判定待检测平面的移动方向，并通过输出电压差计算位移量。
一种光学位移检测传感器组件