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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]静电卡盘装置-CN201880071842.2有效
  • 早原龙二 - 住友大阪水泥股份有限公司
  • 2018-11-06 - 2023-07-07 - H01L21/683
  • 本发明的静电卡盘具备：静电卡盘部，一个主表面为载置板状试样的载置面且具备静电吸附用电极；温度调节用底座部，相对于静电卡盘部配置于与载置面相反的一侧且对静电卡盘部进行冷却；及加热元件，以层状配置于静电卡盘部与温度调节用底座部之间或静电卡盘部的内部，静电卡盘部及温度调节用底座部具有沿厚度方向连通的多个贯穿孔，加热元件具有形成为带状的第1部位及与第1部位连续并形成为带状且闭环状的第2部位，贯穿孔配置于俯视时第2部位的内周侧，第2部位的宽度被包含于第1部位的宽度的0.25倍至0.75倍的范围内。
  • 静电卡盘装置
  • [发明专利]静电卡盘装置-CN201880083446.1在审
  • 金原勇贵;早原龙二;石村和典;河野仁 - 住友大阪水泥股份有限公司
  • 2018-12-11 - 2020-08-07 - H01L21/683
  • 本发明提供一种静电卡盘装置，其具备：静电卡盘部，具有载置板状试样的载置面作为一主面，且具备静电吸附用电极；基底部，相对于静电卡盘部，配置于与载置面相反的一侧，且冷却静电卡盘部；加热器，层状地配置于静电卡盘部与基底部之间、或静电卡盘部的内部；及粘接层，将静电卡盘部与基底部粘接使其一体化，在静电卡盘部中设有第1贯穿孔，在基底部中设有与第1贯穿孔连通的第2贯穿孔，在粘接层中设有与第1贯穿孔及第2贯穿孔连通的第3贯穿孔，在第2贯穿孔中固定有筒状的绝缘子，绝缘子的静电卡盘部侧的顶端隔开空间而与静电卡盘部分离。
  • 静电卡盘装置
  • [发明专利]静电卡盘装置-CN201180007703.1有效
  • 小坂井守;石村和典;佐藤隆;早原龙二;渡边刚志;森谷义明;古内圭 - 住友大阪水泥股份有限公司
  • 2011-01-28 - 2012-10-17 - H01L21/683
  • 本发明提供一种静电卡盘装置，其特征在于，具有：静电卡盘部，将一个主面作为放置板状试料的放置面，并且内置有静电吸附用内部电极；和温度调整用基底部，将静电卡盘部调整为所需的温度，在上述静电卡盘部的与上述放置面相反侧的主面上，经由粘接材料粘接加热部件，上述温度调整用基底部的上述静电卡盘部侧的面的整体或一部分由片状或薄膜状的绝缘材料被覆，粘接有加热部件的上述静电卡盘部、和由片状或薄膜状的绝缘材料被覆的上述温度调整用基底部，经由使液状粘接剂硬化而成的绝缘性的有机类粘接剂层而被粘接一体化。
  • 静电卡盘装置
  •  1 
  • 共 4 条
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