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- [实用新型]一种石英舟插片机辅助纠偏装置-CN202022112151.X有效
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季徐华;欧阳虎
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无锡森顿智能科技有限公司
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2020-09-23
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2021-03-30
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H01L21/677
- 一种石英舟插片机辅助纠偏装置，解决了现有的石英舟插片机在插片时，如果发生偏移，可能会导致硅片损坏，无法保证硅片的插接精度，不利于使用的问题，其包括机架、侧板、插板、插槽、纠偏机构、机械手、硅片、机械臂、PLC控制器和缓冲机构，所述机架的两端均设置有侧板，机架的顶部通过缓冲机构放置有插板，插板的顶部均匀开设有若干个插槽，侧板顶部的内侧嵌入安装有纠偏机构，侧板顶端的内侧设置有机械手，机械手的底端卡接有若干个硅片，机械手的顶端与机械臂连接，侧板顶部的外侧安装有PLC控制器，本实用新型结构新颖，构思巧妙，可在硅片进行插片时进行纠偏，保证硅片的插接精度，有利于使用。
- 一种石英舟插片机辅助纠偏装置
- [实用新型]一种多道翻转刻蚀收料设备-CN202022116416.3有效
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季徐华;刘金宗
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无锡森顿智能科技有限公司
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2020-09-23
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2021-03-23
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H01L21/67
- 一种多道翻转刻蚀收料设备，解决了现有的硅片刻蚀时，硅片与等离子气体接触效果差，不利于硅片的刻蚀的问题，其包括刻蚀箱、放置槽、铰链和密封门，所述刻蚀箱一端的中部设置有进气口，刻蚀箱另一端的中部设置有排气口，刻蚀箱底端的中部安装有伺服电机，刻蚀箱的内部内腔，内腔靠近一端位置处设置有方形盒，方形盒的一侧均匀设置有若干个排气管，伺服电机的顶端安装有转轴，转轴上套接有套筒，套筒的底端设置有固定盘，套筒的顶端通过固定螺栓安装有可拆卸盘，转轴的底端设置有限位盘，转轴的边缘处均匀设置有若干个限位块，本实用新型结构新颖，构思巧妙，使得等离子气体与硅片表面充分接触刻蚀，刻蚀效果好。
- 一种多道翻转刻蚀设备
- [实用新型]一种硅片分选机用检测装置-CN202020486480.8有效
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季徐华;杨海波
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无锡森顿智能科技有限公司
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2020-04-03
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2021-01-12
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B07C5/02
- 本实用新型涉及一种硅片分选机用检测装置，包括工作平台，其中部按线性排列依次安装前段动力输送带、中段动力输送带和后段动力输送带，其中，前段和中段首尾衔接，中段和后段之间存在间隔；横架于前段动力输送带上方安装暗箱一，位于中段和后段间隔内的工作平台上安装转盘机构，转盘机构侧边的工作平台上安装开口朝上的暗箱二；硅片由暗箱一内的相机进行正面检测后，被转盘机构上的吸盘吸起并转动至暗箱二上方进行背面检测，根据暗箱一和暗箱二检测的结果，若吸盘正面或背面外观不良则随转盘移动至废料盒处落下，否则移动至后段动力输送带处流向下一道工序；本实用新型实现了硅片正反面双面的自动化连续检测，节拍速度快，工作效率高。
- 一种硅片分选检测装置
- [实用新型]一种硅片检测分选机用上料装置-CN202020487559.2有效
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季徐华;杨海波
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无锡森顿智能科技有限公司
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2020-04-03
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2021-01-12
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B07C5/02
- 本实用新型涉及一种硅片检测分选机用上料装置，包括工作平台，其中部安装有动力输送带，垂直横架于动力输送带上方设置有移载机构，位于动力输送带两侧的工作平台上对称安装有装载台，装载台位于移载机构下方；位于装载台下方的工作平台底面固装有顶升机构，顶升机构向上贯穿工作平台；施力于装载台的抽板将其移出，将叠装有硅片的料架放至装载台上，并将抽板退回使其被磁铁磁吸，顶升机构工作将料架中的硅片顶起，移载机构中的吸盘在移动直线模组驱动下移动至料架上方并将硅片吸起，再将硅片移载至动力输送带上传送至下一工序，完成上料；本实用新型实现了硅片的双穴上料，且两侧双穴联动交替，大大提高了上料速度，提升了工作效率。
- 一种硅片检测分选用上装置
- [实用新型]硅片检测分选机-CN202020487638.3有效
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季徐华;杨海波
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无锡森顿智能科技有限公司
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2020-04-03
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2021-01-08
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B07C5/00
- 本实用新型涉及硅片检测分选机，包括机架，其上安装工作平台，工作平台上从左至右依次设置上料工位、检测工位和分类工位，工作平台中部安装依次贯穿上料工位、检测工位和分类工位的动力输送带；检测工位包括暗箱一和暗箱二，暗箱一与暗箱二内分别安装相机，一个相机镜头朝下且其位于动力输送带上方，另一个相机镜头朝上且其高度低于动力输送带的高度；移载机构将硅片从料架逐片移至动力输送带上，由暗箱一中的相机进行正面检测，在转盘机构辅助下由暗箱二中的相机进行反面检测，外观合格的硅片随动力输送带流至分类工位分选至不同色系料盒中；本实用新型实现了硅片的双面外观检测并按色系分类，工作效率高，极大地助力于硅片的分选。
- 硅片检测分选
- [实用新型]自动插片机-CN202020484110.0有效
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季徐华;杨海波
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无锡森顿智能科技有限公司
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2020-04-03
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2020-11-03
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H01L21/677
- 本实用新型涉及一种自动插片机，工作台，于工作台上安装至少一石英舟移载装置、至少一顶出装置、至少一夹紧装置、至少一多轴伺服装置、至少一吸取装置及至少一花篮移载装置，所述至少一石英舟移载装置用于石英舟的直线运动，所述至少一花篮移载装置用于花篮的直线运动，所述至少一夹紧装置安装在所述多轴伺服装置上用于夹紧硅片，所述至少一吸取装置安装在所述多轴伺服装置的至少一运动端，以用于吸取硅片。与现有技术相比，本实用新型解决了传统人工搬运的方式，具有自动化程度高的有点，省时省力，不仅降低了工人的劳动强度，还提高了企业硅片输送的效率。
- 自动插片机
- [实用新型]刻蚀上下料装置-CN202020487557.3有效
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季徐华;杨海波
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无锡森顿智能科技有限公司
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2020-04-03
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2020-10-27
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H01L21/677
- 本实用新型涉及刻蚀上下料装置，其整体呈U型对称布局，包括机架，机架两侧壁处对称设置花篮上料位，机架中部安装转向皮带机构，位于转向皮带机构两侧的机架上依次对称安装中间皮带机构、伸缩皮带机构，单个伸缩皮带机构与花篮上料位之间分别安装升降机构，中间皮带机构两侧安装缓存机构；将装有硅片的花篮放至上料输送带，上料电机工作将其带动并靠近升降机构，升降输送带在升降模组一带动下移动并与上料输送带衔接，花篮传动至升降输送带上，长皮带在无杆气缸动作下伸缩从花篮中获取硅片并经中间皮带机构输送至转向皮带机构，完成硅片的上料；本实用新型结构紧凑合理巧妙，实现了花篮中硅片的自动上料，传送稳定，节拍时间短，工作效率高。
- 刻蚀上下装置
- [实用新型]丝网上下料装置-CN202020489115.2有效
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季徐华;杨海波
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无锡森顿智能科技有限公司
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2020-04-03
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2020-10-20
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H01L21/677
- 本实用新型涉及丝网上下料装置，包括机架，其内部侧边安装花篮上料位，花篮上料位端头外部的机架内安装升降机构，花篮上料位侧边的机架中部安装工作平台；工作平台上依次安装有取片机构、拍片导正机构和输送机构，取片机构两侧的工作平台上安装有缓存机构，升降机构与花篮上料位和取片机构衔接；将装有硅片的花篮放置于花篮输送带上，由上料电机驱动使得花篮靠近升降机构，升降模组一带动升降板移动，使得底板与花篮输送带衔接，花篮移动至底板上的传动皮带二上，取片机构从升降机构内的花篮中逐片取出硅片并传送至拍片导正机构，最终经输送机构传送至后道丝网机内；本实用新型实现了花篮中硅片的逐片自动化上料，工作稳定，效率高。
- 丝网上下装置
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