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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [实用新型]一种进气管路及半导体生产设备-CN202222426479.8有效
  • 施党超;周超;李宝男;刘长明;于琨 - 安徽晶科能源有限公司
  • 2022-09-13 - 2022-12-30 - H01L21/67
  • 本申请实施例涉及生产设备技术领域，特别涉及一种进气管路及半导体生产设备，所述进气管路包括：第一主管道，具有用于与进气装置连通的第一进气端，以及第一出气端；两个分管道，两个所述分管道的一端均与所述第一出气端连接、另一端均用于与所述半导体生产设备的反应腔室连通；两个第一阀门，分别设置在两个所述分管道上；两个第二阀门，分别设置在两个所述分管道上，其中，所述第一阀门的稳定性优于所述第二阀门的稳定性。本申请实施例还提供一种半导体生产设备。本申请实施例提供的进气管路及半导体生产设备，在半导体生产设备出现异常情况后，提高能够修复异常情况的几率，从而降低此次半导体生产设备所生产的产物无法使用的几率。
  • 一种管路半导体生产设备
  •  1 
  • 共 1 条
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