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[发明专利]MEMS致动器和开关-CN200680014389.9无效
发明人：陆钧;斯蒂文·梅纳尔 -专利权人：辛普勒网络公司
申请日： 2006-03-18 - 公布日： 2008-04-23 - 主分类号： B81B7/02 文献下载
摘要：本发明公开了使用可动式传导构件和多个载流固定接触端子的改进型MEMS结构，其有利地允许比电流通过可动式传导构件流动的现有技术装置具有更高的载流能力。使用本发明的结构可实现超过1.0安培的载流能力而无需附加限流装置，从而降低总体系统制造成本。
mems 致动器开关

[发明专利]MEMS致动器-CN200480014159.3有效
发明人： 斯蒂文·梅纳尔;诺曼德·拉松德;让－克洛德·维尔纳夫 -专利权人：辛普勒网络公司
申请日： 2004-04-15 - 公布日： 2006-06-28 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：MEMS悬臂致动器(10)设计成安装于基板(12)上。致动器(10)包括具有两个空间隔开的部分(22)的伸长的热臂构件(20)，各部分(22)的一端设置有连接到基板(12)的相应的固定焊盘(24)。部分(22)在与固定焊盘(24)相对的公共端(26)处连接在一起。致动器(10)还包括相邻于并基本平行于热臂构件(20)的伸长的冷臂构件(30)，冷臂构件(30)在一端具有连接到基板(12)的固定焊盘(32)，并具有与其固定焊盘(32)相对的自由端(34)。电介质系链(40)连接在该热臂构件(20)的部分(22)的公共端(26)和冷臂构件(30)的自由端(34)的上方。该致动器(10)能够提高MEMS开关(100)的性能、可靠性和制造能力。
mems 致动器