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[发明专利]一种MEMS膜片以及MEMS传感器-CN202310579923.6在审
发明人：阿努普·帕特尔;斯科特·莱尔·嘉吉;尤安·詹姆斯·博伊德 -专利权人：瑞声科技（新加坡）有限公司
申请日： 2023-05-22 - 公布日： 2023-07-28 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种MEMS膜片以及MEMS传感器，MEMS膜片包括：主膜片，主膜片包括主体感测部以及固定部，若干固定部环形间隔的连接于主体感测部的外缘上；附加材料层，附加材料层设于固定部上，或，附加材料层设于主体感测部的边缘以及固定部上；其中,附加材料层的内应力大于主体感测部的内应力。与现有技术相比，本发明通过在主膜片上设置有附加材料层，附加材料层机械地加固在压力脉冲中经历高应力的膜区域，且附加材料层的内应力大于主体感测部的内应力，从而可以保障主膜片的柔顺性。
一种 mems 膜片以及传感器

[发明专利]悬臂式麦克风-CN202211717075.2在审
发明人：凯夫兰·雅尼克·皮埃尔;斯科特·莱尔·嘉吉 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-12-29 - 公布日： 2023-06-13 - 主分类号： H04R1/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种悬臂式麦克风，包括：基板；悬臂，包括转子框架、盖设于转子框架的盖板以及多个转子梳指；悬臂设有固定于基板的第一边缘和与第一边缘相对设置的第二边缘，多个转子梳指固定在盖板靠近第二边缘的一端的边缘；转子梳指与转子框架之间相互间隔设置；定子，固定于基板，定子包括多个定子梳指，且多个定子梳指与多个转子梳指相互交错并间隔；其中，转子框架的材料包括多晶硅、氮化硅、氧化硅或碳化硅中的至少一种。对于本发明的悬臂式麦克风，可以实现悬臂的高机械灵敏度和梳状结构的高静电灵敏度，从而提高悬臂式麦克风的性能或信噪比。
悬臂麦克风

[发明专利]一种MEMS元件以及电声转换装置-CN202210471277.7在审
发明人：凯夫兰·雅尼克·皮埃尔;博迪尤安·詹姆斯;科林·罗伯特·詹金斯;科林·魏宏中;斯科特·莱尔·嘉吉 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： H04R7/14 文献下载
摘要：本申请公开了一种MEMS元件以及电声转换装置，MEMS元件包括：基底，一空腔穿过基底；振膜，与基底连接，并覆盖空腔，振膜包括相对设置的第一膜片和第二膜片，第一膜片位于第二膜片的背离空腔的一侧，第一膜片包括凸出于第一膜片上的第一凸起；第二膜片包括凸出于第二膜片上的第二凸起，第二凸起朝向背离第一膜片的一侧延伸，第二凸起与第一凸起相对设置。通过于第一膜片上设有第一凸起，第二膜片上设有第二凸起，第一凸起和第二凸起组合形成波纹形的振膜，能减小所形成的振膜的内应力，随着内外压差的增大，振膜膜片的刚度减小，有效提高MEMS元件的机械灵敏度。
一种 mems 元件以及电声转换装置

[实用新型]麦克风-CN202123394170.7有效
发明人： 斯科特·莱尔·嘉吉;尤安·詹姆斯·博伊德 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-12-29 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： H04R1/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种麦克风，其包括背板和设置在背板一侧的振膜，所述背板包括主体。所述背板的主体的一侧设有不与所述振膜接触的减薄区，并且在所述主体上形成至少一个孔。主体设有减薄区，从而提高了背板的柔性。当背板被弯曲时，增加的柔性可以减少背板上的应力负荷，从而减少背板损坏的可能性。此外，主体上设有孔，从而进一步增加了背板的柔性，并减少了背板上的应力负荷，降低了背板损坏的可能性。
麦克风

[发明专利]微机电系统-CN202111629634.X在审
发明人：阿努普·帕特尔;尤安·詹姆斯·博伊德;斯科特·莱尔·嘉吉 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供一种微机电系统，其包括：外壳，限定有空腔和与所述空腔连通的开口；振膜，安装在所述开口处；至少一个悬臂，位于所述空腔内，所述悬臂包括第一端、第二端和位于所述第一端和所述第二端之间的支点；柱塞，位于所述振膜和所述悬臂之间且用以将所述振膜的位移传递到所述悬臂的所述第一端；以及传感元件，连接到所述悬臂的所述第二端；其中，所述第一端与所述支点之间的距离小于所述第二端和支点之间的距离。本发明的微机电系统具有信噪比高、封装体积小、灵敏度高等优点。本发明的振膜的刚度比相关技术的振膜的数量级高，避免了在1标准大气压(atm)下的机械崩溃和大的直流变形。
微机系统

[发明专利]微机电系统-CN202111669517.6在审
发明人： 斯科特·莱尔·嘉吉 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-04-05 - 主分类号： H04R19/00 文献下载
摘要：一种微机电系统，其包括背板和振膜。所述背板包括多个间隔设置且之间具有空隙的定子元件，所述定子元件包括第一导电元件；所述振膜包括分别对应多个所述空隙的多个褶皱，每个褶皱包括形成在远离所述背板的表面上的凹槽，所述褶皱包括第二导电元件。所述振膜响应所施加的压力而相对于所述背板移动，从而使所述褶皱移入或移出对应的所述空隙，从而改变所述第一导电元件和所述第二导电元件之间形成的电容。所述褶皱由远离所述背板的表面形成的凹槽限定，这有利于控制所述振膜的柔顺性并降低所述振膜的刚度。所述褶皱可以形成较低的长宽比，这使得它可以使用标准的正面工艺形成。
微机系统

[发明专利]梳齿式麦克风-CN202111630649.8在审
发明人： 斯科特·莱尔·嘉吉 -专利权人：瑞声声学科技（深圳）有限公司
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2022-03-08 - 主分类号： H04R19/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种梳齿式麦克风，其包括：振膜，包括主体部和设置在所述主体部上的多个动梳齿；以及背板，包括一个或多个背板主体和设置在所述一个或多个背板主体上的多个定梳齿。其中，所述振膜与所述背板间隔设置，所述振膜和所述背板沿所述振膜可移动的方向排列，所述多个动梳齿和所述多个定梳齿在与所述振膜可移动的方向垂直的方向上交替排列；所述主体部由绝缘材料制成，所述多个动梳齿中的每个都由导电材料制成或涂有导电材料。本发明可以提高梳齿式麦克风的灵敏度和电容效率。
梳齿麦克风