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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]圆筒形溅镀靶及其制造方法-CN200980137565.1有效
  • 伊藤谦一;玉野公章;户床茂久;渋田见哲夫 - 东曹株式会社
  • 2009-09-18 - 2011-08-24 - C23C14/34
  • 提供一种圆筒形溅镀靶，即使在利用由多个圆筒形靶材构成的长条状圆筒形溅镀靶来溅镀成膜时，成膜步骤的制造成品率也很高。其是利用接合材料将堆叠的多个圆筒形靶材接合在圆筒形基体材料的外周面而形成的，其中，相邻的圆筒形靶材间具有间隔并且配置有分割部，且位于分割部的相邻圆筒形靶材外周面的段差为0.5mm以下。此种靶材是通过以下方式制造而获得的：在以圆筒形基体材料作为基准来配置圆筒形靶材时，将圆筒形靶材的外周面作为基准来固定圆筒形靶材。
  • 圆筒形溅镀靶及其制造方法
  • [发明专利]圆筒形溅射靶-CN200880022992.0有效
  • 户床茂久;伊藤谦一;涩田见哲夫 - 东曹株式会社
  • 2008-07-01 - 2010-03-31 - C23C14/34
  • 本发明提供一种圆筒形溅射靶。其能够显著减少溅射过程中的裂纹。由ITO或AZO构成的圆筒形靶材的相对密度为90％以上，外周面的磨削方向与平行于圆筒轴线的直线所构成的角度为45°＜θ≤90°或tanθ＞πR/L，将上述角度中的0°以上且在90°以下的角度视为θ，R是圆筒形靶材的外径、L是圆筒形靶材的长度，且上述圆筒形靶材的外周面的表面粗糙度Ra为3μm以下。
  • 圆筒溅射
  •  1 
  • 共 3 条
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