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- [发明专利]接触式探针-CN03821790.2有效
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史蒂芬·爱德华·卢默斯;戴维·罗伯茨·姆克莫特瑞
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瑞尼斯豪公司
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2003-09-05
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2005-10-12
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G01B7/012
- 本发明公开一种接触式探针(10，50)，包括：容纳第一定位件(23，58)的探针壳体(12，52)具有第二定位件(24，57)的触针架(16，54)，该第二定位件和上述第一定位件相配合，以将触针架定位在上述探针壳体内；使上述第一和第二定位件相接触的偏压件(36，68，86)，其中，设置有元件(35，50，76，90)，用以衰减在上述探针壳体和触针架之间的运动。上述元件可以通过抵抗上述偏压件的偏压作用或者吸收上述探针壳体和触针架之间相对运动产生的能量而减缓上述定位件之间的相对运动。上述元件可相对于探针头部和触针架之一以可滑动方式或可旋转方式安装。
- 接触探针
- [发明专利]扫描方法-CN03820430.4无效
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戴维·罗伯茨·姆克莫特瑞
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瑞尼斯豪公司
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2003-08-29
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2005-10-05
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G01B21/20
- 公开了一种扫描物体的方法，其包括以下步骤：提供扫描设备，其具有探测器和样品支架，由此样品支架相对于探测器是可转动的；提供用于表示扫描起始和/或结束的第一特征；和识别该第一特征，由此在该第一特征得到识别时，扫描设备准备开始或者结束扫描。扫描设备可以具有固定停顿处，其包括第一特征，可替换地，在扫描设备或者物体上提供该第一特征。可以提供例如位于扫描设备或者物体上的第二特征，其中第一特征表示扫描起始，而第二特征表示扫描结束。还公开了一种用于扫描物体的装置。
- 扫描方法
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