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- [发明专利]一种翻板输气阀-CN202310710552.0在审
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付瑞文;袁林锋;马森;戴峰泽;吴磊
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帝京半导体科技（苏州）有限公司;江苏大学
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2023-06-15
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2023-08-22
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F16K1/20
- 本发明涉及一种阀体结构，具体指一种利用气缸带动连杆机构驱动翻板翻转来实现开口的闭合和打开。本发明的翻板输气阀，由主体模块、动力模块、翻转模块和自紧模块组成，主要包括：腔室，其两侧具有开口，用来输送反应气体；端盖，其表面设有三个开孔，使得气缸位移杆与腔室内连杆组连接；翻板，用来进行开合输气；气缸组，提供翻转动力，采用角度块连接气缸与端盖，可调整气缸与端盖上表面间的角度。本发明将结构模块化，方便检修，且翻板安装于腔室内侧，降低了结构件的损耗并提升了传动的稳定性，还具有限位自紧装置及角度调整装置，提高了真空度和开合速度，可应用于半导体气体反应腔中的控制阀门。
- 一种翻板输气阀
- [发明专利]一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法-CN201910044747.X有效
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戴峰泽;周文广;周建忠
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江苏大学
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2019-01-17
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2023-05-05
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H01L21/02
- 本发明提供了一种激光清洗硅片或透镜表面颗粒的方法，首先，将对激光具有吸附作用的黏胶涂覆在工件的待清洗表面，通过黏胶将颗粒污物包围，经过干燥后颗粒污物将被固化在黏胶内；然后，利用脉冲激光束辐照黏胶层表面，脉冲激光束作用在黏胶层上，产生冲击波，在激光的瞬时热力作用下，黏胶层和固化在黏胶内的颗粒污物开裂，形成粒度为100～300μm的碎片，并从工件的表面飞离，使颗粒污物从工件的待清洗表面分离；工件经过高压气体吹洗之后，放入丙酮溶液进行超声清洗清除粘着在工件表面的残渣。能够有效清洗工件表面的颗粒，保护工件表面免受激光的直接烧蚀，从而避免硅片表面受到激光热效应的损伤。
- 一种激光清洗硅片透镜表面颗粒方法
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