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- [发明专利]硅基微机械微波/射频开关芯片的制备方法-CN03151007.8无效
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茅惠兵;赖宗声;朱自强;忻佩胜;胡梅丽
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华东师范大学
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2003-09-17
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2004-09-01
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H01L21/00
- 一种硅基微机械微波/射频开关的制备方法,包括硅片准备和第一次氧化;光刻并腐蚀二氧化硅层、制备初步的二氧化硅桥墩16;硅片第二次氧化;再次光刻并腐蚀二氧化硅层,形成二氧化硅桥墩16;制备铬-金双金属层18;光刻并腐蚀铬-金双金属层18,形成传输线10、1、8、7;制备聚酰亚胺牺牲层19;光刻并腐蚀聚酰亚胺牺牲层19;亚胺化;正胶光刻接触层20的图形;蒸发铬-金双金属层21;形成接触层2;制备氮化硅悬臂梁薄膜22;制备并腐蚀氮化硅的铝保护层23;形成悬臂梁3;制备上电极金属层24;形成上电极12、4;形成悬臂梁3的空间结构十八个工艺步骤。有工艺成熟,成本低等优点。硅基微机械微波/射频开关是现代无线通讯系统中的关键器件。
- 微机微波射频开关芯片制备方法
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