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[发明专利]基于X射线曝光技术制作透光纳米压印模板的方法-CN200810100954.4有效
发明人：刘兴华;徐德钰;朱效立;谢常青;刘明 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2008-02-27 - 公布日： 2009-09-02 - 主分类号： G03F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于X射线曝光技术制作透光纳米压印模板的方法，透明纳米压印模板是由电子束光刻制成纳米X射线曝光模版，该方法通过X射线曝光，将纳米图形转移到不导电的石英作为衬底的光刻胶上，显影后通过蒸发金属、剥离工艺，得到石英衬底上的金属纳米图形，将金属作为阻挡层使用反应离子刻蚀石英，得到石英上的纳米图形，去除金属完成透光纳米压印模板的制作。本发明解决了无法在不导电的衬底上电子束光刻得到高分辨率图形的问题。同时，本发明实现了透光纳米压印模板，为纳米压印提供了方便的对准手段，使紫外固化纳米压印成为可能。
基于射线曝光技术制作透光纳米压印模板方法

[实用新型]抽水马桶水箱节水器-CN90226181.9无效
发明人： 徐德钰;宋加生 -专利权人： 徐德钰;宋加生
申请日： 1990-12-14 - 公布日： 1992-04-22 - 主分类号： E03D1/14 文献下载
摘要：一种抽水马桶水箱节水器，由导向罩、限位杆和固定圈组成。导向罩为一轴线基本垂直水平面且下半部被截呈开口状的圆柱形壳体，壳体内径大于水箱皮球直径，使得水箱皮球只能在壳体内随水位高低作垂直上下运动。壳体顶部轴线部位制有限位杆，与导向罩连为一体的固定圈用于节水器的固定。本实用新型装上水箱后，可使水箱皮球准确复位至出水口，克服了现有技术中皮球偏离出水口，造成泄漏的缺陷。此外，水箱冲水时间实现了手动控制，节约了水箱用水。
抽水马桶水箱节水