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- [实用新型]一种检测设备-CN202220831781.9有效
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刘健鹏;张鹏斌;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2022-04-11
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2023-01-20
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G01M11/02
- 本实用新型公开了一种检测设备，该检测设备包括明场照明部件和信息采集组件，所述明场照明部件用于对待测物进行照射，所述信息采集组件用于对所述待测物的反射光进行采集和处理；本实用新型中的信息采集组件用于对待测物的反射光进行采集和处理。信息采集组件通常包括成像镜头和相机，本实用新型中的成像镜头为物方远心结构的成像镜头。这样各成像镜头所对应的主光线平行，避免了晶圆背面多层反射率随角度变化的问题，均匀性更好，提高检测精度。同时将明场照明部件处于工作状态时，成像镜头的成像光路垂直于待测物且与照明部件出光口的主光路平行，可以大幅提高明场照明部件的照明效率，获得较高对比度的明场图像，提高检测结果的准确性。
- 一种检测设备
- [实用新型]一种检测设备-CN202221316201.9有效
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洪艮超;张鹏斌;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2022-05-27
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2023-01-17
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G01N21/956
- 本实用新型公开了一种检测设备，该检测设备包括：承载件，所述承载件被配置为承载物料，所述物料具有待测面；检测光源所述检测光源与所述承载件间隔设置，当所述承载件上承载有物料时，所述检测光源被配置为向所述物料的待测面的一侧发射检测光，并形成反射光；成像装置，所述成像装置与所述承载件间隔设置，所述成像装置设置在所述反射光的光路上，所述成像装置被配置为获取从所述待测面上反射的反射光并形成检测图像，其中，所述成像装置获得的反射光全部由所述检测光源发射的检测光形成，从而提高了缺陷检测能力。
- 一种检测设备
- [实用新型]一种承载装置-CN202222517062.2有效
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路纪亚;张鹏斌;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2022-09-22
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2023-01-17
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B65G35/00
- 一种承载装置，包括承载组件和牵引带组件；其中，承载组件用于承载目标载体，和用于引导目标载体运动至承载组件的预设位置；牵引带组件的一端固定于承载组件、另一端与目标载体连接，牵引带组件用于承载与目标载体连接的物理线缆，以带动物理线缆随目标载体同步运动。利用承载组件所起到的承载及引导作用，使得目标载体能够出入工艺设备内部，增强载体的可维护性以及维护的便利性；在目标载体出入移动的过程中，可利用牵引带组件牵引物理线缆随目标载体同步运动，从而确保物理线缆不会因拉扯而脱离目标载体或者发生断裂，使物理线缆与目标载体始终保持良好的电连接关系，从而为目标载体在维护的过程中依然能够正常工作创造有利条件。
- 一种承载装置
- [发明专利]检测设备和检测方法-CN202110668205.7在审
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陈鲁;胡诗铭;刘健鹏;张鹏斌;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2021-06-16
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2022-12-16
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G01N21/88
- 本申请实施方式提供一种的检测设备和检测方法。检测设备包括光发射器、第一分光组件、第二分光组件和传感器。光发射器用于发射参考光和检测光；第一分光组件用于将参考光分为第一状态的第一参考光和第二状态的第二参考光，第一状态和第二状态不同；第二分光组件用于将检测光分为第一状态的第一检测光和第二状态的第二检测光，第一检测光和第二检测光入射待测件的角度不同；传感器用于接收第一参考光和第二参考光，并接收被待测件反射的第一检测光和第二检测光，以生成检测图像。通过传感器生成的检测图像，可准确地区分不同角度的检测光的图像，进而更为完整地获取待测件的信息，检测效果较好。
- 检测设备方法
- [实用新型]检测装置-CN202221363356.8有效
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刘健鹏;顾玥;张鹏斌;陈鲁
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2022-06-01
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2022-12-16
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G01N21/88
- 一种检测装置，包括：照明模块，用于产生照射至待测物的入射光，入射光经待测物形成信号光；成像模块，包括沿光路传输方向依次设置的成像组件和图像采集组件，成像组件包括光路调制元件，光路调制元件用于在高度方向上增大信号光的发散角度，高度方向垂直于入射光路调制元件的信号光的主光线、且平行于信号光的主光线与待测物表面法线所在平面，图像采集组件用于接收经过成像组件的信号光，并根据信号光获得待测物的成像信息，成像信息包括待测点在图像采集组件中形成的成像点的位置，成像点的位置与待测点的高度相对应。本实用新型有利于获得高精度的检测结果。
- 检测装置
- [发明专利]检测系统及检测方法-CN202110615497.8在审
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陈鲁;董坤玲;范铎;杨楠;金建高;张鹏斌;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2021-06-02
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2022-12-06
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G01N21/88
- 本申请公开了一种检测系统。检测系统用于检测工件，检测系统包括安装装置、第一检测装置及第二检测装置，第一检测装置安装于安装装置，第一检测装置对工件的待检测面进行成像以得到二维图像，并用于检测待检测面上的二维缺陷；第二检测装置安装于安装装置，第二检测装置对待检测面上的三维特征进行成像以得到三维图像，并用于检测待检测面上的三维缺陷。本申请还公开了一种检测方法。同时设置第一检测装置及第二检测装置，可以较完整地对待检测面上各种类型的缺陷都进行检测，检测的效果较好，另外，在同一个检测系统中，就可以实现对二维缺陷和三维缺陷的检测，不需要将工件转移至其他的检测设备中再次进行缺陷检测，提高了检测的效率。
- 检测系统方法
- [实用新型]一种整平工装和检测设备-CN202221783819.6有效
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范铎;王少斌;张鹏斌;陈鲁;张嵩
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深圳中科飞测科技股份有限公司
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2022-07-11
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2022-12-06
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H01L21/67
- 一种整平工装和检测设备，整平工装被配置为对待测物进行平整处理。整平工装的一端面为首端面，另一端面为尾端面。首端面上开设至少一个气路接入孔，尾端面上开设多个吹气孔。整平工装内部设有多圈缓冲气道，多圈缓冲气道沿径向间隔分布。缓冲气道的一侧和气路接入孔连通，另一侧和吹气孔连通。气路接入孔被配置为连通于气源，吹气孔被配置为将气体导向待测物的表面。采用整平工装在对待测物进行平整处理的过程中，不需要和待测物接触，既不会破坏待测物，又能以更加柔和的方式对待测物进行平整处理。该过程中，能较大程度的改善待测物发生翘曲变形的情况，提高待测物的表面平整度。
- 一种工装检测设备
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