专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]金刚石碳锥沉积方法-CN200410020451.8无效
  • 张贵锋;沃克·布克 - 大连理工大学
  • 2004-04-22 - 2005-01-12 - C23C16/27
  • 金刚石碳锥沉积方法属于化学气相沉积微晶技术领域。其特征在于,采用平面型电感偶合射频等离子体化学气相沉积法,以氩气等惰性气体为载气,使用氢气和甲烷或己炔等碳氢反应气体,射频功率500~1500W;反应室气压5~500Pa;反应气体中氢碳原子比50~400;偏压功率0~300W;沉积时间10~240min。锥阵列的尺寸,密度和分布可通过样品表面预处理和沉积工艺参数来控制。这种微晶或纳米晶金刚石碳锥阵列有很好的应用前景,是一种非常理想的电子发射材料,在微机电系统(MEMS)中,如半导体金刚石探针,微型电夹,外科微型工具等,也将充分展示其巨大的优越性。
  • 金刚石沉积方法

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