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[实用新型]一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产设备-CN201920566140.3有效
发明人：陈增瑞;张平均;张玓瓅 -专利权人：广州市天夫美新材料科技有限公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2020-01-21 - 主分类号： C01B15/013 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产设备，包括原料储罐、动力输送泵、混合树脂塔提纯净化系统、膜分离系统和成品接收储罐，通过管道依次连接，管道上设有控制阀。其中，原料储罐和动力输送泵相连，再与混合树脂塔提纯净化系统相连、膜分离系统与成品接收储罐相连。本实用新型抛去了吸附、阴、阳、和混合的繁琐的生产设备，简单实用又能提高生产量。
本实用新型膜分离系统成品接收动力输送混合树脂净化系统生产设备原料储罐提纯储罐过氧化氢的一步法生产依次连接控制阀净高吸附微电子

[发明专利]一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺-CN201910333232.1在审
发明人：陈增瑞;张平均;张玓瓅 -专利权人：广州市天夫美新材料科技有限公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2019-06-28 - 主分类号： C01B15/013 文献下载
摘要：本发明涉及一种一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺，包括将H₂O₂原料用泵输送至树脂塔内进行物理法离子交换进行提纯净化、此工艺步骤循环进行四次步骤，得到超净高纯微电子级H₂O₂，该生产工艺在运行时运行压力控制在0.5‑1.5Mpa，温度控制在3‑42℃。与现有生产提纯净化技术相比，本发明生产工艺及设计合理简单，成本低，所生产的H₂O₂纯度高，产品净化后，质量可以达到1ppb以上的产品。
净高生产工艺微电子过氧化氢的一步法生产提纯发明生产工艺产品净化工艺步骤离子交换运行压力净化泵输送树脂塔物理法运行时生产

[发明专利]一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产设备-CN201910333224.7在审
发明人：陈增瑞;张平均;张玓瓅 -专利权人：广州市天夫美新材料科技有限公司
申请日： 2019-04-24 - 公布日： 2019-06-21 - 主分类号： C01B15/013 文献下载
摘要：本发明涉及一种一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产设备，包括原料储罐、动力输送泵、混合树脂塔提纯净化系统、膜分离系统和成品接收储罐，通过管道依次连接，管道上设有控制阀。其中，原料储罐和动力输送泵相连，再与混合树脂塔提纯净化系统相连、膜分离系统与成品接收储罐相连。本发明抛去了吸附、阴、阳、和混合的繁琐的生产设备，简单实用又能提高生产量。
生产设备过氧化氢的膜分离系统一步法生产成品接收动力输送混合树脂净化系统原料储罐提纯储罐净高微电子依次连接控制阀吸附

[实用新型]一种低碳环保型超净高纯H₂O₂的生产装置-CN201020152013.8无效
发明人：张平均;张玓瓅;李静;李朝军 -专利权人：赫格雷(大连)制药有限公司
申请日： 2010-04-02 - 公布日： 2011-03-23 - 主分类号： C01B15/013 文献下载
摘要：一种低碳环保型超净高纯H2O2的生产装置，包括以下设备：原料槽、动力泵、原料预处理系统、树脂膜分离系统、EDI提纯系统、纳滤膜过滤系统和成品接收罐。其中，原料槽和动力泵进口相连，动力泵出口和原料预处理的进口相连，原料预处理的出口于树脂膜分离系统的进口相连，树脂膜分离系统的出口于EDI系统的进口相连，EDI的出口于纳滤膜过滤进口相连，纳滤膜过滤的出口于成品罐相连。安全、简单、易操作，生产过程中不会发生H2O2与分离和提纯设备分解反应，因此安全可靠；装置很少甚至没有了废酸碱再生液的排放，避免了环境的污染，节省了大量的能源，大大降低了二氧化碳的排放量，非常适应当前国际潮流的低碳排放工艺。
一种环保净高 sub 生产装置

[发明专利]一种低碳环保型超净高纯H₂O₂的生产装置-CN201010141165.2无效
发明人：张平均;张玓瓅;李静;李朝军 -专利权人：赫格雷(大连)制药有限公司
申请日： 2010-04-02 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： C01B15/013 文献下载
摘要：一种低碳环保型超净高纯H2O2的生产装置，包括以下设备：原料槽、动力泵、原料预处理系统、树脂膜分离系统、EDI提纯系统、纳滤膜过滤系统和成品接收罐。其中，原料槽和动力泵进口相连，动力泵出口和原料预处理的进口相连，原料预处理的出口于树脂膜分离系统的进口相连，树脂膜分离系统的出口于EDI系统的进口相连，EDI的出口于纳滤膜过滤进口相连，纳滤膜过滤的出口于成品罐相连。安全、简单、易操作，生产过程中不会发生H2O2与分离和提纯设备分解反应，因此安全可靠；装置很少甚至没有了废酸碱再生液的排放，避免了环境的污染，节省了大量的能源，大大降低了二氧化碳的排放量，非常适应当前国际潮流的低碳排放工艺。
一种环保净高 sub 生产装置

[发明专利]一种低碳环保型超净高纯H₂O₂的生产方法-CN201010141163.3无效
发明人：张平均;张玓瓅;李静;李朝军 -专利权人：赫格雷(大连)制药有限公司
申请日： 2010-04-02 - 公布日： 2010-08-18 - 主分类号： C01B15/013 文献下载
摘要：一种低碳环保型超净高纯H2O2的生产方法，首先将含杂质较多的工业级H2O2水溶液经过树脂膜分离系统，以除去有机物和阴阳离子；再将H2O2水溶液泵入EDI系统，以去除微量的金属离子；最后，将H2O2水溶液泵入纳滤膜过滤，滤除0.01μm以上的颗粒状物质；从而得到超净高纯的H2O2，其质量达到国际半导体设备与材料组织制定的SEMI-C12的质量标准。
一种环保净高 sub 生产方法