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[发明专利]电磁屏蔽曲面光学窗口的制备方法、曲面光源及设备-CN202310531006.0有效
发明人：麻皓月;张振雲;尚鹏;曹波;马远飞;石红春;林泉;刘晓华;朱晨阳 -专利权人：有研国晶辉新材料有限公司;有研新材料股份有限公司
申请日： 2023-05-12 - 公布日： 2023-08-15 - 主分类号： F21K9/20 文献下载
摘要：本发明提供一种电磁屏蔽曲面光学窗口的制备方法、曲面光源及设备，其中，曲面光源包括透明窗口、至少一组蝇眼透镜、支撑架和LED灯珠；透明窗口，为具有一定弧度的凹面窗口，当采用该曲面光源制备曲面光学窗口内的金属网栅时，透明窗口与曲面光学窗口的形状相匹配；蝇眼透镜，设置在透明窗口的内侧，且蝇眼透镜的形状与透明窗口的形状相匹配；支撑架，设置在蝇眼透镜的内侧，且与蝇眼透镜的形状相匹配，在支撑架上阵列布设有LED灯珠；其中，透明窗口、蝇眼透镜和支撑架的拱高均大于光学窗口的拱高。本发明提供的曲面光源可以改善光源在曲面维度的光强均匀性，提高金属网栅的质量。
电磁屏蔽曲面光学窗口制备方法光源设备

[发明专利]一种曲面随机金属网栅的制作方法-CN202211551452.X有效
发明人： 张振雲;马远飞;薛丽青;林泉;尚鹏;麻皓月;刘晓华;石红春 -专利权人：有研新材料股份有限公司;有研国晶辉新材料有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：本发明涉及电磁屏蔽实现方法，具体公开一种曲面随机金属网栅的制作方法。所述方法包括：在曲面基底表面上镀制金属膜，其中所述金属膜自所述曲面基底依次为钛膜和铜膜；采用飞秒激光在上述镀有钛膜和铜膜的曲面基底聚焦，在所述钛膜和铜膜上按照预设的随机图案进行至少两次扫描刻蚀，其中所述飞秒激光经过光束整形系统，使激光光束能量分布由高斯形状转变成平顶形状；将上述刻蚀后的曲面基底进行清洗，得曲面随机金属网栅。通过本方法可制备曲面电磁屏蔽金属网栅，同时通过随机图案的设计，减小高级次杂散光对成像质量影响，本方法操作简单，可实现大规模工业生产。
一种曲面随机金属网制作方法

[发明专利]一种曲面窗口电磁屏蔽金属网栅的制备方法-CN202211659188.1有效
发明人：尚鹏;马远飞;麻皓月;张振雲;石红春;曹波;林泉 -专利权人：有研国晶辉新材料有限公司
申请日： 2022-12-22 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：本发明涉及电磁屏蔽实现技术领域，具体公开一种曲面窗口电磁屏蔽金属网栅的制备方法。包括以下步骤：S1，在基底表面旋涂光刻胶，烘烤；S2，通过曲面掩模窗口系统对基底进行曝光，显影，烘烤；S3，镀制金属网栅层，去除光刻胶，镀制保护层。其中曲面掩模窗口系统包括遮光板、衬底、掩模图案和增透保护层。本发明所提供的曲面窗口金属网栅制备方法，不仅加工的质量和精度好，而且可大大缩短制备时间，尤其适应于曲面电磁屏蔽窗口的大规模、高质量生产。
一种曲面窗口电磁屏蔽金属网制备方法

[发明专利]一种可调控高度比例的高深宽比微结构的制备方法-CN202211686644.1有效
发明人：麻皓月;马远飞;林泉;尚鹏;张振雲;刘晓华;石红春 -专利权人：有研国晶辉新材料有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供了一种可调控高度比例的高深宽比微结构的制备方法，属于微纳加工技术领域，利用激光直写灰度光刻技术制备多级光刻胶层，通过控制残留光刻胶层厚度和分级去胶的方式，利用Bosch工艺刻蚀实现可调控比例的多级高深宽比微结构的制备，首先对衬底低转速旋涂一层光刻胶，通过激光直写设备进行非均匀剂量的灰度曝光并进行显影；随后对多级高度的光刻胶柱进行第一次刻蚀，刻蚀时间和刻蚀深度根据多级结构的比例进行选择；然后使用氧等离子体对第一级结构的刻蚀后残留的光刻胶去除干净；然后对第二级结构进行刻蚀；随后对第二级结构上层残胶进行去除；以此类推，循环刻蚀和去胶的过程，直至最后一级结构顶层光刻胶去除完成。
一种调控高度比例高深微结构制备方法

[发明专利]光学窗口电磁屏蔽金属网栅及其制备方法-CN202210430751.1有效
发明人：尚鹏;曹波;石红春;马远方;林泉;张振雲 -专利权人：有研国晶辉新材料有限公司
申请日： 2022-04-22 - 公布日： 2023-03-28 - 主分类号： H05K9/00 文献下载
摘要：本发明适用于光学窗口电磁屏蔽技术领域，提供了一种光学窗口电磁屏蔽金属网栅及其制备方法，该方法包括：在光学窗口表面制备规则多边形金属网栅，规则多边形金属网栅中的各个多边形的大小形状均相同、且紧密相连；对于每个多边形，在其任意两条边上随机选取两点并使用金属线连接，将每个多边形随机分割为两个多边形，得到非规则多边形金属网栅；检测非规则多边形金属网栅的结构参数是否达到预设标准；若结构参数没有达到预设标准，则重复执行将非规则多边形金属网栅中的每个多边形随机分割为两个多边形的步骤，直至结构参数达到预设标准。本发明能够制备光电性能良好的随机电磁屏蔽金属网栅，提高成像质量。
光学窗口电磁屏蔽金属网及其制备方法