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- [发明专利]一种多功能微分析系统平台-CN03107899.0无效
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赵湛;陈超;张博军
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中国科学院电子学研究所
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2003-04-01
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2004-10-06
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G01N27/30
- 本发明涉及微型分析芯片技术，是一种基于线性阵列微电极芯片的多功能微分析系统平台，系统平台由两大部分组成：线性阵列微电极芯片和芯片控制系统。线性阵列微电极芯片是在绝缘基片上制作的一组金电极构成的，电极上面覆盖着由绝缘材料构成的按需要制作的微流体通道；电极阵列用于产生分析所需的电场，微通道用于分析样品的流动分离。芯片控制系统由微控制芯片构成，包括显示、键盘、电源、继电器电路。基于线性阵列电极的多功能微分析系统平台可以作为毛细管电泳芯片进行生物样品的分离，可以实现移动电场下的低压电泳分离，还可以进行电磁场作用下的生物样品的反应分析试验。
- 一种多功能微分系统平台
- [发明专利]集成温湿度大气压力传感器芯片-CN02148067.2无效
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赵湛;张博军;武宇;方震
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中国科学院电子学研究所
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2002-10-24
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2004-04-28
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G01D21/02
- 一种集成温湿度大气压力传感器芯片，在基片制造出三个电阻和一个平板电极。其中两个电阻串连构成电桥的两个臂，用于测量绝对湿度，另一个电阻单独引线，用于测量温度。在基片上键合有一硅片，该硅片上对应一个测量湿度电阻和一个测量温度电阻的位置开有两个窗口。该硅片与另一个测量湿度电阻和平板电极之间刻蚀有微腔，该微腔是密封的，内部充有一个大气压力的干燥的空气。密封测量湿度电阻的腔体作为传感器芯片湿度的参照，各微腔顶部沉积有厚度为纳米到微米级的氮化硅薄膜作为传感器芯片压力的敏感膜。平板电极构成测量压力的电容的一个电极，密封于硅片的腔体内，该腔体顶部敏感膜下面镀有金或其它导电薄膜作为电容的另一个电极。
- 集成温湿度大气压力传感器芯片
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