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- [发明专利]微机电装置-CN201410767464.5在审
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林炯彣;罗烱成;康育辅
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立锜科技股份有限公司
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2014-12-12
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2016-07-06
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B81B3/00
- 本发明提供一种微机电装置，其包含：一基板，具有平行于基板的一入平面方向；一质量块，具有不同的感测方向的一第一活动电极与一第二活动电极，质量块的内部通过一多维弹簧与一弹簧锚点连接于基板；以及一第一固定电极与一第二固定电极，分别通过一第一电极锚点与一第二电极锚点与基板相连，第一电极锚点与第二电极锚点与弹簧锚点相邻，第一固定电极与第一活动电极而形成一第一电容，第二固定电极与第二活动电极而形成一第二电容，第一电容与第二电容用以感测质量块的一运动状态。
- 微机装置
- [发明专利]微机电模块以及其制造方法-CN201510099835.1在审
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罗烱成;康育辅;王宁远;林炯彣
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立锜科技股份有限公司
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2015-03-06
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2015-09-16
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B81B7/02
- 本发明提供一种微机电模块，包含：一微机电元件芯片与一微电子电路芯片，该微机电元件芯片堆叠并结合于该微电子电路芯片的上方，其中，该微电子电路芯片包含一基板，该基板内具有连接基板上下表面的至少一个硅通孔、以及至少一个微电子电路，该微电子电路包含一电路区与一讯号层，彼此电性连接，且该讯号层与硅通孔直接连接；以及至少一个引线，其一端连接该微机电元件芯片中间位置而非上方顶端，另一端连接该至少一个硅通孔，其中，于微机电元件芯片和微电子电路芯片的堆叠处，微机电元件芯片与微电子电路芯片并不在此处进行讯号沟通。本发明还提供一种微机电模块的制造方法。
- 微机模块及其制造方法
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