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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]基板夹持装置及具备其的液体处理装置以及基板处理设备-CN202111541392.9在审
发明人： 康世玟;安求悅 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2021-12-16 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施例提供基板夹持装置及具备其的液体处理装置以及基板处理设备，能够减少在侧面支承基板的卡盘销的磨耗带来的更换周期。根据本发明的实施例的基板夹持装置用于在基板处理设备中夹持基板，所述基板夹持装置包括：卡盘；齿轮箱，构成为能够相对于所述卡盘移动；旋转齿轮，设置于所述齿轮箱的内部；以及卡盘销，与所述旋转齿轮结合而构成为能够旋转且形成为与所述基板的侧面部接触。根据本发明的实施例，构成为通过卡盘销的各点位在侧面支承基板，从而能够提高卡盘销的寿命且节减费用。
夹持装置具备液体处理以及设备

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