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[发明专利]去胶机台及其使用方法-CN202310615285.9在审
发明人：韩聪聪;王创;庄佳奕 -专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-08-04 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种去胶机台，包括真空传输腔和多个腔室，每个腔室与真空传输腔连接；腔室和真空传输腔中分别设置有第一、二控压机构，控压机构分别用于调节腔室、真空传输腔中的气压值；腔室和真空传输腔中分别设置有第一、二气压传感器，第一、二气压器分别用于获取腔室、真空传输腔中的气压值；控制器，控制器用于接收第一、二气压传感器的电信号，其用于在腔室完成测试作业后启动第一控压机构使得腔室与真空传输腔中的气压差减小至设置值。本发明在腔室测试作业完成后，通过减少腔室与真空传输腔中的气压差，腔室作业环境与真空传输区域的压力平衡，降低压差将腔室累积的颗粒物吹散到低压区域的表面，降低晶圆表面形成缺陷的概率。
机台及其使用方法

[发明专利]用于消除小尺寸构件残余应力的智能高频振动时效系统-CN201911217460.9有效
发明人：顾邦平;王萍;吴浩然;胡雄;庄佳奕;王思淇;霍志鹏;王中山 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：本发明涉及振动时效技术领域，特指一种用于消除小尺寸构件残余应力的智能高频振动时效系统。系统由PC机、信号发生器、功率驱动器、电磁式激振器、高频振动能量放大装置、垫块、应变片以及动态应变仪构成；PC机控制信号发生器输出高频激振信号，经由功率驱动器放大后输入电磁式激振器，进而驱动电磁式激振器产生高频振动；小尺寸构件安装在工作台的上表面；应变片粘贴在小尺寸构件峰值残余应力处；在高频振动能量放大装置的轴向共振频率下对小尺寸构件进行高频振动时效处理。本发明具有能够改善高频振动时效消除残余应力的效果的优点。
用于消除尺寸构件残余应力智能高频振动时效系统

[发明专利]基于数据挖掘技术的电脉冲时效电脉冲波形确定系统-CN201910047329.6有效
发明人：顾邦平;王思淇;王萍;胡雄;庄佳奕;黄敏 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-01-18 - 公布日： 2023-02-10 - 主分类号： G01R29/00 文献下载
摘要：基于数据挖掘技术的电脉冲时效电脉冲波形确定系统包括残余应力测试模块、上位机系统、下位机系统、电脉冲波形采集模块和电脉冲产生电路模块；所述的上位机系统通过所述的下位机系统控制所述的电脉冲产生电路模块产生电脉冲；所述的电脉冲波形采集模块采集所述的电脉冲产生电路模块产生的电脉冲波形，并存储到上位机系统中；所述的残余应力测试模块测试材料的残余应力，并存储到上位机系统中；所述的上位机系统包括电脉冲波形存储模块、电脉冲波形特征量提取模块、电脉冲波形特征量存储模块、残余应力变化量存储模块和电脉冲波形确定方法模块。本发明具有能够得到较为理想的残余应力消除效果的优点。
基于数据挖掘技术电脉冲时效波形确定系统

[发明专利]基于数据挖掘技术的电脉冲辅助焊接电脉冲波形确定系统-CN201910047351.0有效
发明人：顾邦平;王萍;胡雄;庄佳奕;王思淇;黄敏 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-01-18 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：基于数据挖掘技术的电脉冲辅助焊接电脉冲波形确定系统包括晶粒度测试模块、上位机系统、无线传输模块、下位机系统、电脉冲产生电路模块和电脉冲波形采集模块；所述的上位机系统包括电脉冲波形数据库模块、电脉冲波形特征量获取模块、电脉冲波形特征量数据库模块、晶粒度变化量数据库模块和电脉冲波形确定方法模块。本发明具有能够确定合适的电脉冲辅助焊接电脉冲波形与得到较好的实验效果的优点。
基于数据挖掘技术电脉冲辅助焊接波形确定系统

[发明专利]基于数据挖掘技术的电脉冲辅助焊接电脉冲波形的确定方法-CN201910047355.9有效
发明人：王萍;顾邦平;胡雄;庄佳奕;王思淇;黄敏 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-01-18 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：基于数据挖掘技术的电脉冲辅助焊接电脉冲波形的确定方法，包括建立电脉冲辅助焊接电脉冲波形数据库；建立材料微观组织晶粒度；提取电脉冲波形特征量；得到各个特征量对晶粒度的影响规律，形成确定电脉冲波形的第一评价手段；得到晶粒度与特征量之间的函数模型；函数模型求解单个特征量的偏导数，形成确定电脉冲波形的第二评价手段；通过第一评价手段和第二评价手段确定合适的电脉冲波形。本发明提出的基于数据挖掘技术的电脉冲辅助焊接电脉冲波形的确定方法是以海量数据为基础，确保了得到的电脉冲波形特征量对晶粒度变化量的作用规律是可靠的，从而确保了通过本发明提出的方法确定的电脉冲波形进行实验是有效的，且能够得到较好的实验效果。
基于数据挖掘技术电脉冲辅助焊接波形确定方法

[发明专利]基于数据挖掘技术的电脉冲时效电脉冲波形确定方法-CN201910047354.4有效
发明人：顾邦平;王思淇;王萍;胡雄;庄佳奕;黄敏 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-01-18 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： G06F30/20 文献下载
摘要：基于数据挖掘技术的电脉冲时效电脉冲波形确定方法，包括建立电脉冲时效电脉冲波形数据库；建立材料的残余应力数据库；提取电脉冲时效电脉冲波形的特征量；得到确定电脉冲时效电脉冲波形的第一评价手段；确定残余应力释放量与电脉冲波形特征量之间的函数模型；得到确定电脉冲时效电脉冲波形的第二评价手段；采用第一评价手段和第二评价手段，确定合适的电脉冲波形。本发明提出的基于数据挖掘技术的电脉冲时效电脉冲波形确定方法是以海量数据为基础，确保了得到的电脉冲波形特征量对残余应力释放量的作用规律是可靠的，从而确保了通过本发明提出的方法确定的电脉冲波形进行实验是有效的，且能够得到较好的实验效果。
基于数据挖掘技术电脉冲时效波形确定方法

[发明专利]用于无损检测小尺寸构件表层微观裂纹的高频振动系统及方法-CN201911217434.6有效
发明人：王萍;顾邦平;吴浩然;胡雄;庄佳奕;王思淇;霍志鹏;王中山 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： G01N29/04 文献下载
摘要：本发明涉及微型元器件无损检测技术领域，特指一种用于无损检测小尺寸构件表层微观裂纹的高频振动系统及方法。系统由上位机系统、信号发生器、功率驱动器、电磁式激振器、高频振动能量放大装置、垫块、应变片以及动态应变仪构成；上位机系统控制信号发生器输出高频激振信号，经由功率驱动器放大后输入电磁式激振器，进而驱动电磁式激振器产生高频振动；小尺寸构件安装在工作台的上表面；应变片粘贴在小尺寸构件峰值残余应力处；小尺寸构件的表层存在微观裂纹时，动态应变仪采集回来的应变信号的峰值相比于小尺寸构件的表层无微观裂纹时的应变信号的峰值会发生突变。本发明具有能够实现采用振动模态分析技术检测小尺寸构件表层微观裂纹的优点。
用于无损检测尺寸构件表层微观裂纹高频振动系统方法

[实用新型]一种用于消除小尺寸构件残余应力的高频振动时效装置-CN201922194582.2有效
发明人：王萍;顾邦平;吴浩然;胡雄;庄佳奕;王思淇;霍志鹏;王中山 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：用于消除小尺寸构件残余应力的高频振动时效装置，包括信号发生器、功率驱动器、电磁式激振器、高频振动能量放大装置、应变片以及动态应变仪；信号发生器输出幅值和频率均能够独立且连续调节的正弦激振信号，并经功率驱动器输入电磁式激振器；高频振动能量放大装置包括工作台、支撑台以及连接工作台与支撑台的圆台形式的连杆；应变片粘贴在小尺寸构件的峰值残余应力处；第一应变片沿着小尺寸构件的第一主应力方向粘贴；第二应变片沿着小尺寸构件的第二主应力方向粘贴。本实用新型具有能够提高高频振动时效效果的优点。
一种用于消除尺寸构件残余应力高频振动时效装置

[实用新型]用于消除大型结构件焊接残余应力的高频冲击振动装置-CN201922181558.5有效
发明人：顾邦平;王萍;吴浩然;胡雄;庄佳奕;王思淇;霍志鹏;王中山 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：用于消除大型结构件焊接残余应力的高频冲击振动装置，包括信号发生器、功率驱动器、电磁式激振器、高频振动振幅放大装置、加速度传感器、电荷放大器以及示波器；高频振动振幅放大装置包括冲击振动传递杆、安装平台；小圆柱传递杆的表面与大型结构件焊接接头区域相互接触，大圆柱传递杆与安装平台连接；信号发生器输出正弦激振信号，且该信号的频率为冲击振动传递杆的轴向共振频率，并经功率驱动器输入电磁式激振器，驱动电磁式激振器产生高频振动；加速度传感器安装在大圆柱传递杆的表面，加速度传感器与电荷放大器连接，电荷放大器与示波器连接。本实用新型具有能够通过高频冲击振动的方式来消除大型结构件焊接残余应力的优点。
用于消除大型结构件焊接残余应力高频冲击振动装置

[实用新型]一种采用高频冲击振动消除残余应力的装置-CN201922181610.7有效
发明人：顾邦平;王萍;吴浩然;胡雄;庄佳奕;王思淇;霍志鹏;王中山 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：采用高频冲击振动消除残余应力的装置，包括信号发生器、功率驱动器、电磁式激振器、高频振动振幅放大装置、加速度传感器、电荷放大器以及示波器；信号发生器输出幅值和频率均能够独立且连续调节的正弦激振信号，并经功率驱动器输入电磁式激振器，驱动电磁式激振器产生高频振动；信号发生器输出的正弦激振信号的频率为高频振动振幅放大装置的共振频率；高频振动振幅放大装置包括工作平台、支撑平台、变截面形式的连杆；工作平台的上表面与构件相互紧密接触；加速度传感器安装在工作平台的下表面，加速度传感器与电荷放大器连接，电荷放大器与示波器连接。本实用新型具有能够通过高频冲击振动的方式来消除构件残余应力的优点。
一种采用高频冲击振动消除残余应力装置

[实用新型]一种高频振动时效能量放大装置-CN201922181688.9有效
发明人：王萍;顾邦平;吴浩然;胡雄;庄佳奕;王思淇;霍志鹏;王中山 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：高频振动时效能量放大装置，由安装工件的工作台、固定在电磁式激振器运动部件的激振台面上的支撑台以及连接工作台与支撑台的圆台形式的连杆组成；圆台形式的连杆的最大截面面积小于工作台的截面面积，且圆台形式的连杆的最大截面面积小于支撑台的截面面积；圆台形式的连杆的长度大于工作台的厚度，且圆台形式的连杆的长度大于支撑台的厚度；工作台的截面面积大于支撑台的截面面积，且工作台的厚度小于支撑台的厚度；圆台形式的连杆的小端与工作台通过螺纹进行连接，且圆台形式的连杆的大端与支撑台通过螺纹进行连接。本实用新型具有放大电磁式激振器输出的振动能量、改善高频振动时效效果、结构简单和操作方便的优点。
一种高频振动时效能量放大装置

[实用新型]一种圆台形式的高频振动能量放大装置-CN201922181689.3有效
发明人：王萍;顾邦平;吴浩然;胡雄;庄佳奕;王思淇;霍志鹏;王中山 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：圆台形式的高频振动能量放大装置，由安装工件的工作台、固定在电磁式激振器运动部件的激振台面上的支撑台以及连接工作台与支撑台的圆台形式的连杆组成；圆台形式的连杆的最大截面面积小于工作台的截面面积，且圆台形式的连杆的最大截面面积小于支撑台的截面面积；圆台形式的连杆的长度大于工作台的厚度，且圆台形式的连杆的长度大于支撑台的厚度；圆台形式的连杆的小端与工作台连接，且圆台形式的连杆的大端与支撑台连接。本实用新型具有放大电磁式激振器输出的振动能量、改善高频振动时效效果、结构简单和操作方便的优点。
一种圆台形式高频振动能量放大装置

[实用新型]高频冲击振动时效振幅放大装置-CN201922181608.X有效
发明人：王萍;顾邦平;吴浩然;胡雄;庄佳奕;王思淇;霍志鹏;王中山 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：高频冲击振动时效振幅放大装置包括冲击振动振幅放大杆、固定在电磁式激振器运动部件的激振台面上的安装平台；冲击振动振幅放大杆为阶梯形的圆柱放大杆，包括小圆柱振幅放大杆、大圆柱振幅放大杆；冲击振动振幅放大杆的最大截面面积小于安装平台的截面面积；冲击振动振幅放大杆的长度大于安装平台的厚度；小圆柱振幅放大杆的表面与结构件待消除残余应力的区域相互接触，大圆柱振幅放大杆与安装平台连接。本实用新型具有能够放大电磁式激振器输出的高频振动能量以及改善高频冲击振动时效效果的优点。
高频冲击振动时效振幅放大装置

[发明专利]一种用于消除小尺寸构件残余应力的高频振动时效系统及方法-CN201911217458.1在审
发明人：顾邦平;王萍;吴浩然;胡雄;庄佳奕;王思淇;霍志鹏;王中山 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：本发明涉及振动时效技术领域，特指一种用于消除小尺寸构件残余应力的高频振动时效系统及方法。系统由上位机系统、信号发生器、功率驱动器、电磁式激振器、高频振动能量放大装置、垫块、应变片以及动态应变仪构成；上位机系统控制信号发生器输出高频激振信号，经由功率驱动器放大后输入电磁式激振器，进而驱动电磁式激振器产生高频振动；小尺寸构件安装在工作台的上表面；应变片粘贴在小尺寸构件峰值残余应力处；在高频振动能量放大装置的轴向共振频率下对小尺寸构件进行高频振动时效处理。本发明具有能够提高作用在小尺寸构件上的振动能量从而改善高频振动时效效果的优点。
一种用于消除尺寸构件残余应力高频振动时效系统方法

[发明专利]用于消除大型结构件焊接残余应力的高频冲击振动装置-CN201911217432.7在审
发明人：顾邦平;王萍;吴浩然;胡雄;庄佳奕;王思淇;霍志鹏;王中山 -专利权人：上海海事大学
申请日： 2019-12-03 - 公布日： 2020-02-11 - 主分类号： C21D10/00 文献下载
摘要：用于消除大型结构件焊接残余应力的高频冲击振动装置，包括信号发生器、功率驱动器、电磁式激振器、高频振动振幅放大装置、加速度传感器、电荷放大器以及示波器；高频振动振幅放大装置包括冲击振动传递杆、安装平台；小圆柱传递杆的表面与大型结构件焊接接头区域相互接触，大圆柱传递杆与安装平台连接；信号发生器输出正弦激振信号，且该信号的频率为冲击振动传递杆的轴向共振频率，并经功率驱动器输入电磁式激振器，驱动电磁式激振器产生高频振动；加速度传感器安装在大圆柱传递杆的表面，加速度传感器与电荷放大器连接，电荷放大器与示波器连接。本发明具有能够通过高频冲击振动的方式来消除大型结构件焊接残余应力的优点。
传递杆电磁式激振器加速度传感器大型结构件电荷放大器高频振动焊接残余应力振幅放大装置功率驱动器信号发生器安装平台冲击振动高频冲击大圆柱示波器共振频率焊接接头激振信号振动装置小圆柱正弦轴向驱动输出

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