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[实用新型]一种纳米金属氧化物煅烧装置-CN202121456015.0有效
发明人：何宏谦 -专利权人： 广西立之亿新材料有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2022-01-21 - 主分类号： F27B9/26 文献下载
摘要：本实用新型公开一种纳米金属氧化物煅烧装置，其特征在于，包括：炉体、推板车和煅烧管，所述推板车可进出的设置于所述炉体内，所述煅烧管用来装载煅烧材料并转动安装在所述推板车上，在所述推板车上还连接有驱使所述煅烧管转动的传动机构，所述传动机构与位于所述炉体外部的动力装置连接。本实用新型能够使纳米金属氧化物在煅烧过程中均匀受热、且可以在煅烧结束温度降低一定程度后从炉体中开出推板车，加速降温速率。
一种纳米金属氧化物煅烧装置

[发明专利]一种10-50nm高纯度纳米氧化铈的制备方法-CN202010675867.2在审
发明人：不公告发明人 -专利权人： 广西立之亿新材料有限公司
申请日： 2020-07-14 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： C01F17/235 文献下载
摘要：本发明属于半导体材料制备技术领域，具体涉及一种10‑50nm高纯度纳米氧化铈的制备方法。一种10‑50nm高纯度纳米氧化铈的制备方法，包括以下步骤：(1)将高纯度硝酸铈、高纯度甘氨酸和高纯度PEG原料用半导体级超纯水进行溶解，将所得溶液采用密闭式高纯保护气体喷雾干燥器进行干燥，生成微米级的干粉；(2)采用高纯氧气将生成的粉末输运到高温反应炉里，粉末在高温炉里进行爆炸式反应，即可得到粒径为10‑50nm、纯度为99.9999wt％以上的纳米氧化铈。本发明10‑50nm高纯度纳米氧化铈的制备方法简单且稳定，工序少，生产效率高，产生易于吸收处理的尾气，生产成本低，生产的纳米氧化铈为类球形，粒径在10‑50nm可控、粒径分布窄、易于分散；可应用于半导体领域的化学机械抛光。
一种 10 50 nm 纯度纳米氧化制备方法

[发明专利]一种纳米氧化铈-石墨烯复合颗粒的制备方法-CN202110179594.7有效
发明人：罗荣辉;何宏谦;吴胜文;黄华翠 -专利权人： 广西立之亿新材料有限公司
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2021-10-19 - 主分类号： C09K3/14 文献下载
摘要：本发明涉及半导体材料制备技术领域，具体涉及一种纳米氧化铈‑石墨烯复合颗粒的制备方法。一种纳米氧化铈‑石墨烯复合颗粒的制备方法，包括以下步骤：(1)制备氧化铈微粉；(2)制备氧化铈悬浮液；(3)制备石墨烯悬浮液；(4)制备氧化铈‑石墨烯复合颗粒粗制品；(5)煅烧氧化铈‑石墨烯复合颗粒粗制品。本发明制备的纳米氧化铈‑石墨烯的颗粒中氧化铈很好的复合在石墨烯的表面，氧化铈粒径在10‑5000nm可控、粒径分布窄、易于分散；可应用于半导体领域的化学机械抛光以及抛光液的分散。
一种纳米氧化石墨复合颗粒制备方法

[发明专利]一种不锈钢表面加工用抛光液、制备方法及抛光工艺-CN202110730000.7在审
发明人：钱金龙 -专利权人： 广西立之亿新材料有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明公开一种不锈钢表面加工用抛光液、制备方法及抛光工艺，其特征在于，按重量百分比由以下组分组成：纳米氧化铝5‑10％，分散剂0.01‑2％，光亮剂0.05‑3％，缓蚀剂0.05‑1％，pH值调节剂0.05‑2％，余量为去离子水。本发明采用纳米球形氧化铝为主磨料，较胶体二氧化硅可大大增强不锈钢抛光过程中对不锈钢的去除速率，同时可以使钢材获得镜面，无划痕，表面光泽度高，镜面好，无橘皮。产品的可稀释比例高，稳定性强，成本较低，不易结晶易于清洗，采用有机酸不污染环境及腐蚀设备。
一种不锈钢表面工用抛光制备方法工艺

[发明专利]一种硅晶圆衬底快速绿色环保双面抛光方法-CN202110179704.X有效
发明人：钱金龙;王堃;吴胜文;黄华翠 -专利权人： 广西立之亿新材料有限公司
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及半导体的超精密加工技术领域，具体涉及一种硅晶圆衬底快速绿色环保双面抛光方法。一种硅晶圆衬底快速绿色环保双面抛光方法，包括以下步骤：(1)粗抛光：将硅晶圆衬底用粗抛光液进行化学机械抛光；所述粗抛光液由氧化铈、去离子水、分散剂和pH调配剂制备而成；(2)精抛光：将粗抛光后硅晶圆衬底用精抛光液进行化学机械抛光；所述精抛光液由氧化铈、去离子水和分散剂制备而成。本发明的抛光方法采用两步化学机械抛光方法，通过采用不同粒径的氧化铈抛光液及不同抛光垫和不同pH条件，控制抛光盘的压力大小和中心齿轮转速比，可有效提高硅晶圆衬底片抛光效率，而且抛光后的衬底片平均厚度差小，弯曲翘曲度低。
一种硅晶圆衬底快速绿色环保双面抛光方法

[发明专利]一种纳米氧化铈-石墨烯颗粒的制备方法-CN202110729993.6在审
发明人：罗荣辉 -专利权人： 广西立之亿新材料有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-09-10 - 主分类号： C09G1/02 文献下载
摘要：本发明公开一种纳米氧化铈‑石墨烯复合颗粒的制备方法，包括以下步骤：1)取氧化铈于半导体超纯水中分散，干燥分散溶液，得到氧化铈微粉；2)将所得氧化铈微粉于过氧化氢溶液中分散，加入分散剂，再次分散，得到表面处理后的氧化铈悬浮液；3)取石墨烯于有机溶剂中分散，得到石墨烯悬浮液；4)将所得石墨烯悬浮液加入氧化铈悬浮液中，混合均匀，加入有机改性试剂改性，干燥，得到氧化铈‑石墨烯复合颗粒粗制品；5)将所得氧化铈‑石墨烯复合颗粒粗制品经煅烧得到纳米氧化铈‑石墨烯复合颗粒。本发明得到纳米氧化铈‑石墨烯复合颗粒的平均粒径在50‑200nmm之间，可用于解决氧化铈抛光液的分散性问题。
一种纳米氧化石墨颗粒制备方法

[发明专利]一种具有高切削效率的纳米级氧化铈粉末及其制备方法-CN202110726937.7在审
发明人：张海涛 -专利权人： 广西立之亿新材料有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： C01F17/235 文献下载
摘要：本发明公开一种具有高切削效率的纳米级氧化铈粉末及其制备方法，其特征在于，包括以下步骤：a.将一定量的有机酸加水溶解，再将不溶解的铈盐加到有机酸与水的溶液中，经过球磨或砂磨，得到均匀分散好的浆料；b.将步骤a所得的浆料采用闪蒸的方式进行干燥，得到干燥的、均匀的、细致的粉料；c.将步骤b所得的粉料进行煅烧，即成；步骤a中所述的有机酸为柠檬酸。与现有技术相比，利用本发明制得的纳米级氧化铈粉末，其粒径在100nm左右、粒径分布窄，且外貌带棱角，切削效率更高，进而能有效提高抛光速率。
一种具有切削效率纳米氧化粉末及其制备方法