专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]太阳能电池的制造方法以及太阳能电池制造装置-CN201680060879.6有效
  • 横川政弘;川崎隆裕 - 三菱电机株式会社
  • 2016-09-20 - 2022-05-13 - H01L31/0216
  • 具备:使作为第2导电类型的半导体层的n型扩散层形成于具有第1导电类型的结晶系的半导体基板的工序;以及使背面与设置于成膜室的载置台抵接而载置由半导体基板构成的基板(1S),对成膜室(101)内进行真空排气而减压,将原料气体供给到成膜室(101)内,利用CVD法使防反射膜(3)从半导体基板的受光面侧成膜至半导体基板的侧面的工序。成膜的工序是托盘(100)具有在与半导体基板的抵接面具有开口并且贯通托盘(100)的贯通孔h,通过真空排气使贯通孔h内相对于成膜室(101)内的压力成为负压,从而使半导体基板紧贴于抵接面,使防反射膜(3)成膜于除了抵接面之外的半导体基板表面的工序。
  • 太阳能电池制造方法以及装置

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