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[发明专利]非接触式供电系统-CN202111330511.6在审
发明人：铃木杰之;川久保大辅;南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2022-02-15 - 主分类号： H02J50/12 文献下载
摘要：本发明提供一种非接触式供电系统，不使用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时还进行通信。供电系统(PS)具有：在一对电极(5a、5b)间机械式分离的电容器(5)；与电容器的一个电极连接的供电电路单元(6)；与电容器的另一电极连接的受电电路单元(7)。供电电路单元具有：与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器(61)；施加振幅调制的调制器(62)；以及第一控制机构(63)，上述供电电路单元将调制成相互不同的振幅的载波向电容器的一个电极供给。受电电路单元具有：整流电路(72)；将直流电压选择性地施加到供电对象电极(4a、4b)的切换电路(73)；以及第二控制机构(75)。第二控制机构基于在供给电力供给用载波的期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。
接触供电系统

[发明专利]吸附装置、真空处理装置-CN201680022120.9有效
发明人： 川久保大辅;前平谦;不破耕;铃木杰之 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-04-11 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：【课题】提供吸附力不会变弱的吸附装置。【解决方案】将吸附装置19a的受电端子24配置于受电侧凹部23内，能够利用盖部25a盖上。在对基板51~53进行吸附时，将吸附装置19a载置于供电台18a上，使供电端子64与受电端子24接触，对基板51~53与吸附电极22之间的等效电容进行充电。在使吸附装置19a移动时，一边由于等效电容的残留电荷吸附基板51~53一边利用盖部25a盖上受电侧凹部23，真空槽中的残留气体不会与受电端子24接触。没有受电端子24腐蚀或者形成薄膜的情况，不会放出等效电容的残留电荷。
吸附装置真空处理

[发明专利]带静电卡盘的运输机器人的控制系统-CN201680031508.5有效
发明人：铃木杰之;川久保大辅;南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-05-24 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明可使具有对工件实施规定处理的多个处理室的处理装置在处理室间静电吸附并运输工件的带静电卡盘的运输机器人的控制系统构成为能使静电卡盘响应性良好地作业。本发明的运输机器人的控制系统具有与统一控制处理装置作业的统一控制装置(Mc)通信自如地连接并根据来自统一控制装置的控制信号来控制运输机器人(Tr)作业的机器人控制装置(Rc)；以及控制静电卡盘对工件(W)的静电吸附或解除的静电卡盘控制装置(Cc)。静电卡盘控制装置监视统一控制装置与机器人控制装置的通信内容，并基于该监视的通信内容控制静电卡盘进行工件的静电吸附或解除。
静电卡盘运输机器人控制系统

[发明专利]非接触式供电系统-CN201680039186.9在审
发明人：铃木杰之;川久保大辅;南展史;武者和博 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2016-06-23 - 公布日： 2018-03-27 - 主分类号： H02J50/05 文献下载
摘要：本发明提供一种非接触式供电系统，不使用另外的通信设备，就能够在进行非接触供电时还进行通信。供电系统(PS)具有在一对电极(5a、5b)间机械式分离的电容器(5)；与电容器的一个电极连接的供电电路单元(6)；与电容器的另一电极连接的受电电路单元(7)。供电电路单元具有与电容器一起构成串联谐振电路的振荡器(61)；施加振幅调制的调制器(62)；以及第一控制机构(63)，上述供电电路单元将调制成相互不同的振幅的载波向电容器的一个电极供给。受电电路单元具有整流电路(72)；将直流电压选择性地施加到供电对象电极(4a、4b)的切换电路(73)；以及第二控制机构(75)。第二控制机构基于在供给电力供给用载波的期间供给的控制信号用载波来控制切换电路工作。
接触供电系统

[发明专利]驱动装置及输送装置-CN201080059894.1有效
发明人：中尾裕利;西辻宗芳;吉野孝広;栗山拓弥;千叶泰司;川久保大辅;山田清隆 -专利权人：株式会社爱发科
申请日： 2010-12-22 - 公布日： 2012-09-19 - 主分类号： B25J9/06 文献下载
摘要：本发明提供一种刚性高的驱动装置及具有所述驱动装置的输送装置，所述驱动装置及驱动装置能耐受由于在驱动臂单元时产生的反作用而施加的应力。驱动装置(50)具有框架(60)和安装于所述框架(60)的致动器(70)。所述框架(60)通过铸造一体成型地形成。所述框架(60)具有可连接至输送腔的分隔壁的连接部(61)、作为与所述连接部(61)相向配置的对置部的底板部(62)和联接所述连接部(61)和所述底板部(62)的多个联接部(63)。所述致动器(70)具有三个共轴的传动轴(75)(两个旋转传动轴(71、72)和一个回转传动轴(73))、三个电动机(74)，以及将这三个所述电动机(74)产生的旋转驱动力传递至三个所述传动轴(75)的传递机构。由于所述框架(60)一体成型地形成，从而可以实现刚性高的驱动装置(70)。
驱动装置输送