“崔云承”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果3个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种晶圆干燥系统及其工作方法-CN202211378332.4在审
发明人：王磊;张康;尹影;崔云承;邢朝月 -专利权人：北京烁科精微电子装备有限公司
申请日： 2022-11-04 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆干燥系统及其工作方法。晶圆干燥系统包括：腔室；位于腔室内的旋转限位单元，旋转限位单元具有纵向旋转中心轴，旋转限位单元包括若干卡夹部，若干卡夹部围绕纵向旋转中心轴周向排布，若干卡夹部围成晶圆容置区，卡夹部适于卡夹晶圆的边缘；吹扫单元，吹扫单元包括第一喷嘴和第二喷嘴；第一喷嘴和第二喷嘴位于晶圆容置区的下方；导流液传输单元，导流液传输单元与第一喷嘴连通，导流液传输单元适于给第一喷嘴传输导流液；导气传输单元，导气传输单元与第二喷嘴连通，导气传输单元适于给第二喷嘴提供汽化的清洗物。本发明提供的晶圆干燥系统能够提高晶圆表面洁净度和干燥效率。
一种干燥系统及其工作方法

[发明专利]一种电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法-CN202210561140.0在审
发明人：李婷;张康;李坤;崔云承;尹影;张为强;白琨 -专利权人：北京烁科精微电子装备有限公司
申请日： 2022-05-20 - 公布日： 2022-09-02 - 主分类号： G01B7/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法，电涡流传感器，包括：激励模块，包括激励线圈、磁芯和第一电容，磁芯包括容纳部、束口部和缠绕部，容纳部和束口部连接以形成一放置腔，缠绕部设置在放置腔内，激励线圈绕设于缠绕部上，束口部远离容纳部的一侧的开口小于靠近容纳部的一侧的开口；接收模块，包括接收线圈和第二电容，接收线圈设置于束口部远离容纳部的一侧的开口处。该电涡流传感器、金属膜厚度监测系统及方法相较于现有技术，在晶圆边缘处衰减区域更窄、膜厚监测更精确，有效避免因边缘效应带来的厚度监测数据失真，提升加工准确性，拓展了晶圆可利用区域。
一种涡流传感器金属膜厚度监测系统方法

[发明专利]一种厚度测量系统、方法、电子设备及存储介质-CN202210330645.6在审
发明人：张康;李坤;李婷;张为强;尹影;崔云承;吴燕林 -专利权人：北京烁科精微电子装备有限公司
申请日： 2022-03-30 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明公开了一种厚度测量系统、方法、电子设备及存储介质，该系统包括：涡流传感器、驱动电路、采样反馈电路和控制单元，涡流传感器包括第一抽头和多个第二抽头；驱动电路接收外部输入的控制指令，根据控制指令生成振荡电流，驱动电路连接涡流传感器，涡流传感器根据振荡电流生成交变磁场，根据交变磁场感应待测样品生成反馈值；采样反馈电路采集涡流传感器的反馈值，将反馈值输入至控制单元，控制单元根据反馈值的变化控制涡流传感器档位的切换。本发明公开的系统，通过在涡流传感器中设置多个第二抽头，可使样品不同厚度时能够匹配到线性度与分辨率最佳的谐振频率与并联电容，从硬件上实现宽厚度范围内的阻抗匹配和频率选择。
一种厚度测量系统方法电子设备存储介质