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[发明专利]晶圆收纳容器的清洗装置及晶圆收纳容器的清洗方法-CN202180094072.5在审
发明人： 岩崎史利;若杉胜郎 -专利权人：胜高股份有限公司
申请日： 2021-11-09 - 公布日： 2023-10-13 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提供一种晶圆收纳容器的清洗装置(1)，其具备：清洗槽(31)，可收容容纳具有容器主体(11)以及盖体(12)的晶圆收纳容器(2)的容纳夹具(3)；供液喷嘴(32A～32H)，将清洗液等供给到清洗槽(31)内；以及排液喷嘴(34)，将排液排出到清洗槽(31)外。容器主体(11)具有面对容器开口部(11B)的后壁(11A)。供液喷嘴(32A～32H)在将容器开口部(11B)朝向下方的容器主体(11)载置于容纳夹具(3)而收纳于清洗槽(31)的收纳状态下，将吐出清洗液等的各供液开口部(32AA～32HA)以面对后壁(11A)的内侧的方式设置，排液喷嘴(34)在所述收纳状态下以吸入排液的排出开口部(34A)面对后壁(11A)的内侧的中央的方式设置。
收纳容器清洗装置方法

[发明专利]工件的清洗处理方法及工件的清洗处理系统-CN202180058913.7在审
发明人：野田魁人;若杉胜郎;兼子优起;岩崎史利;蛇川顺博 -专利权人：胜高股份有限公司
申请日： 2021-02-02 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：在本发明的工件的清洗处理方法及系统中，上侧整流板的孔的直径比下侧整流板的孔的直径小。在本发明的工件的清洗处理方法中，根据下侧整流板的多个孔的面积的总和A(mm2)及上侧整流板的多个孔的面积的总和B(mm2)，确定清洗液的供给流量Q(L/min)，或者，根据供给流量Q(L/min)，确定面积的总和A(mm2)和/或面积的总和B(mm2)。本发明的工件的清洗处理系统还具备：计算部，根据面积的总和A(mm2)及面积的总和B(m2)，确定清洗液的供给流量Q(L/min)；及控制部，控制成以已确定的供给流量Q(L/min)供给清洗液。面积的总和A(mm2)、面积的总和B(mm2)以及已确定的供给流量Q(L/min)，或者供给流量Q(L/min)以及已确定的面积的总和A(mm2)和/或面积的总和B(mm2)满足规定关系式。
工件清洗处理方法系统