专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种纳米压印光刻机-CN200710178789.X有效
  • 姜骥;谢常青;岑专专;商立伟;刘兴华;刘明 - 中国科学院微电子研究所
  • 2007-12-05 - 2009-06-10 - G03F7/00
  • 本发明公开了一种纳米压印光刻机,包括底座、加热板、垫片、内六角螺钉、支架、传动导向压杆、十字槽沉头螺钉、螺杆和扭力计。所述加热板放置在底座上,垫片放置在加热板上,支架放置在垫片上,且所述支架、垫片和加热板通过内六角螺钉固定在底座上;所述支架的上梁中心处设有螺孔,下梁中心处设有通孔;螺杆套接在上梁螺孔内,传动导向压杆套接在下梁通孔内,螺杆和传动导向压杆相连并套接在支架的梁上;所述十字槽沉头螺钉从支架下梁前面中心处螺孔旋进,并顶住传动导向压杆中间圆柱外表面的条形凹槽;所述螺杆上端与扭力计相连。本发明提供一种结构简单、制作成本低、操作方便和使用可靠的纳米压印光刻机。
  • 一种纳米压印光刻

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