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- [发明专利]半导体装置的制造方法-CN202080093359.1在审
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薮田康平;山田隆行;春名裕明;三井贵夫
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三菱电机株式会社
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2020-08-13
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2022-08-30
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H01L21/52
- 提供一种半导体装置的制造方法,能够抑制在对接合材料接合半导体元件时该半导体元件破损。半导体装置的制造方法具备准备基板(1)的工序、供给的工序以及接合的工序。在供给的工序中,向基板(1)的表面(1a)上供给烧结性金属接合材料(22)。在接合的工序中,经由烧结性金属接合材料(22)将半导体元件接合到基板(1)。在供给的工序中,在基板(1)的表面(1a)上配置具有开口部(7)的金属掩模(6),使用涂刷器(9)对在开口部(7)的内部露出的基板(1)的表面部分(1aa)供给烧结性金属接合材料(22)。在供给的工序中,在俯视时,被供给烧结性金属接合材料(22)的基板(1)的表面部分(1aa)和在金属掩模(6)中涂刷器(9)接触的接触区域(6aa)是隔开间隔地配置的。
- 半导体装置制造方法
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