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[发明专利]双轴旋转泵-CN201480024781.6有效
发明人：吉田洋介;原山真吾;宫泽俊;山田文彦 -专利权人：奥利安机械股份有限公司
申请日： 2014-05-29 - 公布日： 2017-06-16 - 主分类号： F04C18/18 文献下载
摘要：本发明提供了一种双轴旋转泵，其通过尽可能地防止排出气体倒流到泵中、尽可能地防止泵的内部被过度压缩并且抑制泵中的温度升高来实现提高的可靠性和提高的操作效率。在双轴旋转泵中，设置有转子(30、30)的旋转轴(20、20)被设置为分别由轴承支撑，以致两个转子(30、30)以在它们之间保持小空隙的、非接触的方式旋转，并且两个转子(30、30)以在缸体(50)的内表面和两个转子之间有小空隙的、非接触的方式旋转，并且被吸入到缸体(50)的且被压缩的气体从缸体(50)排出，其中，能够让一部分压缩气体逸出的逸气孔被设置在组成缸体(50)的两端的至少一个端壁部(52)中，以致沿旋转轴(20、20)的轴向方向打开逸气孔。
旋转

[发明专利]半色调掩模、半色调掩模坯料及制造半色调掩模的方法-CN200880114579.7有效
发明人：影山景弘;山田文彦 -专利权人：爱发科成膜株式会社
申请日： 2008-10-29 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： G03F1/08 文献下载
摘要：一种增加蚀刻停止层通用性的半色调掩模。所述半色调掩模(10)具有使用玻璃基板(S)的透光部分(TA)；包括形成在所述玻璃基板上的第一半透光层(11)的第一半透光部分(HA)；以及包括所述第一半透光层、叠加在所述第一半透光层上方的挡光层(13)和形成在所述第一半透光层与所述挡光层之间的蚀刻停止层(12)的挡光部分(PA)。所述第一半透光层和所述挡光层各自由铬或从由铬的氧化物、氮化物、碳化物、氧氮化物、氧碳化物、碳氮化物及氧碳氮化物组成的组中选择的至少一种形成。所述蚀刻停止层包括从由铁(Fe)、镍(Ni)和钴(Co)组成的组中选择的至少一种的第一元素及从由铝(Al)、硅(Si)、钛(Ti)、铌(Nb)、钽(Ta)、铪(Hf)和锆(Zr)组成的组中选择的至少一种的第二元素。
色调坯料制造方法

[发明专利]用于制造灰色调掩模的方法-CN200880111760.2无效
发明人： 山田文彦;尾崎俊治;佐佐木贵英;石塚正彦;影山景弘;矶博幸;小林良一;林厚 -专利权人：爱发科成膜株式会社
申请日： 2008-10-09 - 公布日： 2010-09-01 - 主分类号： G03F1/08 文献下载
摘要：一种用于制造灰色调掩模的方法，其在稳定和简单的膜形成条件下减低了对于曝光波长的波长依赖性。使用在氩和一氧化氮气体中溅射纯铬靶材的反应溅射方法来形成具有单层结构的氮化铬膜。基于在具有不同一氧化氮浓度的多个膜形成条件下获得的多条不同光透射率曲线，获得一氧化氮的目标浓度(中间值)，其将半透光膜的透射率均匀性在365nm到436nm范围内设置为1.0％或以下，或者在300nm到500nm范围内设置为4.0％或以下。然后，通过使用一氧化氮目标浓度形成了半透光膜。
用于制造色调方法

[发明专利]灰阶掩模用坯料、以及采用该坯料的灰阶掩模以及该坯料的制造方法-CN200680001225.2无效
发明人： 山田文彦;尾崎俊治;平元豪 -专利权人：爱发科成膜株式会社
申请日： 2006-07-14 - 公布日： 2007-10-24 - 主分类号： G03F1/08 文献下载
摘要：本发明涉及灰阶掩模用坯料，在具有遮光部、开口部、半透光部的图案的灰阶掩模用坯料中，具有直接或间接附着在透明基板的表面上形成的遮光膜以及半透光膜，遮光膜以及半透光膜的金属成分的组成不同。另外，本发明涉及灰阶掩模的制造方法，包括使用具有相同刻蚀速度的第一刻蚀液刻蚀遮光膜以及半透光膜，进一步，使用不刻蚀半透光膜只是选择性地刻蚀遮光膜的第二刻蚀液进行半刻蚀。
灰阶掩模用坯料以及采用灰阶掩模制造方法

[发明专利]灰阶掩模用坯料、以及采用该坯料的灰阶掩模以及该坯料的制造方法-CN200680001224.8无效
发明人： 山田文彦;尾崎俊治;佐佐木贵英 -专利权人：爱发科成膜株式会社
申请日： 2006-07-14 - 公布日： 2007-10-24 - 主分类号： G03F1/08 文献下载
摘要：本发明的灰阶掩模用坯料，具有直接或者间接附着在透明基板的表面上形成的遮光膜以及半透光膜，遮光膜以及半透光膜的金属成分的组成不同，而且，半透光膜由Ni或者以Ni作为主成分、含有除去Cr、Mo的金属成分的薄膜构成。另外，本发明的灰阶掩模的制造方法，包括下述工序：按照作为第一刻蚀液的Cr刻蚀液(硝酸铈铵+高氯酸系)、然后作为第二刻蚀液的ITO刻蚀液(HCl+FeCl₃)或者FeCl₃溶液的顺序，利用两种刻蚀液刻蚀遮光膜以及半透光膜，形成掩模开口部，然后使用只能选择性地湿刻蚀遮光膜的Cr刻蚀液的一种液体，进行半刻蚀，形成半透光部。
灰阶掩模用坯料以及采用灰阶掩模制造方法

[发明专利]泵装置-CN200610135713.4无效
发明人： 山田文彦;竹井伸雄;小林哲也;吉田洋介 -专利权人：奥利安机械股份有限公司
申请日： 2006-10-17 - 公布日： 2007-08-29 - 主分类号： F04B41/00 文献下载
摘要：本发明提供一种泵装置，其能够使离心风扇型叶轮的吸气一侧的引导空气流的部分的结构合理化，能够降低制造成本。具备：通过联轴器(40)将泵(10)和驱动马达(20)的旋转轴(11、12)彼此串联连结了的串联连结部(15)；为将泵和驱动马达的本体(12、22)彼此串联配置而连结在两者之间且形成筒状以内装串联连结部的筒状连接器(30)；以及固定在串联连结部上的离心风扇型的叶轮(50)，该叶轮具备：配置在驱动马达(20)的端面(23)近旁并引导空气流的心板部(51)；设于与该心板部的驱动马达的端面一侧相反的板面上的多个叶轮(52)；以及在该多个叶轮的泵一侧且环状设于外周部以收拢空气流进行引导的环状板部(53)。
装置

[发明专利]坯料及其形成方法，使用该坯料的黑色矩阵及其形成方法-CN200510121620.1无效
发明人： 山田文彦;佐佐木贵英;尾崎俊治;平元豪;铃木彻 -专利权人：爱发科成膜株式会社
申请日： 2005-12-07 - 公布日： 2006-08-09 - 主分类号： G02F1/1335 文献下载
摘要：一种坯料和黑色矩阵，其具有高耐候性，并且在低反射率，遮光效果和可加工性方面也很好，并且不会造成严重的环境污染，从而能够符合由于显示工艺的显著进步，处理负荷能力提高的需求。该种坯料具有直接或间接附着在透明基板表面上而形成的遮光膜或遮光膜和防反射膜，遮光膜包含Ni，Mo和Ti作为主要金属成分，Ti含量为10－25原子％。
坯料及其形成方法使用黑色矩阵

[发明专利]可视电话终端-CN200410033065.2无效
发明人：松尾英明;牧野崇弘;山田文彦;西村真;羽田哲 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2004-03-19 - 公布日： 2004-09-29 - 主分类号： G06T15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种可视电话终端，能够传送用户的情绪和感受，使通话对方容易理解。当用户执行预定操作或当音频处理器在用户语音中识别到预定关键字时，虚拟人物的画面被修改，或者显示完全不同的画面。为了修改虚拟人物的画面，面部的每一部分或整个面部的尺寸被改变，或者在上面增加表达情绪的图案。然后，当释放未决模式时，伴随悦耳音调，虚拟人物被恢复并显示在屏幕上。在视频会谈结束时，根据用户的选择，在中断线路前显示表示虚拟人物从屏幕上消失的画面。
可视电话终端

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