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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]气相生长装置及气相生长方法-CN201410041218.1有效
  • 山田拓未;佐藤裕辅 - 纽富来科技股份有限公司
  • 2014-01-28 - 2017-04-12 - C23C16/455
  • 本发明的实施形态的气相生长装置，具备反应室；配置在反应室的上部，具有配置在第1水平面内、互相平行地延伸的多个第1横向气体流路，与第1横向气体流路连接、沿纵向延伸、在反应室一侧具有第1气体喷出孔的多个第1纵向气体流路，配置在比第1水平面靠上方的第2水平面内、沿与第31横向气体流路相同的方向互相平行延伸的多个第2横向气体流路，以及与第2横向气体流路连接、经过第1横向气体流路之间沿纵向延伸、在反应室一侧具有第2气体喷出孔的多个第2纵向流路，给反应室内提供气体的淋浴板；以及设置在反应室内的上述淋浴板下方，能够载置基板的支承部。
  • 相生装置方法
  • [发明专利]成膜装置及成膜方法-CN201210544972.8无效
  • 山田拓未;佐藤裕辅 - 纽富来科技股份有限公司
  • 2012-12-14 - 2013-06-19 - C30B25/02
  • 本发明提供成膜装置及成膜方法。在基板上成膜气相生长膜的成膜装置(1)具备反应室(2)、排气机构(3)以及将它们连接的配管(4)。在配管(4)的途中配设捕集部(5’)，该捕集部(5’)上连接有向内部供给非活性气体(15)的非活性气体供给管(11)和排出反应生成物(14)的排出管(16)。在成膜时，在反应室(2)内配置基板，并从反应气体供给管(8)供给反应气体(7)，而在基板上进行成膜。捕集部(5’)收集废气(6)中的反应生成物(14)。在成膜之后，从非活性气体供给管(11)向捕集部(5’)供给非活性气体(15)，将蓄积的反应生成物(14)从排出管(16)压送到无害化装置(20)。
  • 装置方法
  •  1 
  • 共 4 条
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