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[发明专利]激光装置和电子器件的制造方法-CN201980091041.7有效
发明人：宫本浩孝;山中琢磨;五十岚美和 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H01S3/10 文献下载
摘要：激光装置具有以下部件：A.输出耦合镜；B.光栅，其与输出耦合镜构成光谐振器；C.激光腔，其被配置于光谐振器的光路上；D.至少1个棱镜，其被配置于激光腔与光栅之间的光路上；E.旋转台，其包含使棱镜旋转以使从激光腔输出的激光入射到光栅的角度被变更的致动器；F.波长计测部，其计测从激光腔经由输出耦合镜输出的激光的中心波长；G.角度传感器，其检测棱镜的旋转角度；H.第1控制部，其根据目标波长和计测波长，以第1动作频率对致动器进行控制；以及I.第2控制部，其根据目标波长和检测角度，以第2动作频率对致动器进行控制，该第2动作频率是第1动作频率以上的值。
激光装置电子器件制造方法

[发明专利]激光装置和电子器件的制造方法-CN202080103699.8在审
发明人： 山中琢磨 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： H01S3/139 文献下载
摘要：本公开的一个观点的激光装置具有：振荡器，其输出脉冲激光；旋转台，其支承被配置于脉冲激光的光路上的光学元件；光栅，脉冲激光经由光学元件入射到光栅；第1驱动机构，其驱动旋转台而变更入射到光栅的入射角度；第2驱动机构，其以比第1驱动机构小的驱动量驱动旋转台而变更入射到光栅的入射角度；波长监视器，其计测脉冲激光的中心波长；以及处理器，其周期性地变更脉冲激光的目标波长，根据目标波长和波长监视器的计测值向第2驱动机构输出驱动指令，将中心波长控制成目标波长，处理器在成为波长指令周期的整数倍的区间内计算第2驱动机构的驱动指令值的移动平均，在移动平均值超过阈值的情况下，使第2驱动机构返回到初始位置，并且通过第1驱动机构的驱动来抵消由于该返回动作而引起的入射角度的变化。
激光装置电子器件制造方法

[发明专利]激光装置的波长控制方法和电子器件的制造方法-CN201980079753.7在审
发明人： 山中琢磨;宫本浩孝 -专利权人：极光先进雷射株式会社
申请日： 2019-01-29 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01S3/137 文献下载
摘要：激光装置的波长控制方法包含以下步骤：依次取得脉冲激光的目标波长数据；依次保存目标波长数据；依次计测脉冲激光的波长而取得计测波长；以及使用计测波长和取得了计测波长的时刻之前的时刻的目标波长数据计算波长偏差，使用波长偏差对脉冲激光的波长进行反馈控制。
激光装置波长控制方法电子器件制造