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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]声波谐振器及其制造方法-CN201910584478.6有效
发明人：韩源;林昶贤;金泰润;孙尙郁;尹湘基 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2019-07-01 - 公布日： 2023-09-12 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种声波谐振器及其制造方法，所述声波谐振器包括：基板；谐振部，包括在所述基板上顺序地堆叠有第一电极、压电层和第二电极的中央部和沿着所述中央部的外周设置的延伸部；以及第一金属层，设置在所述谐振部的外部，以电连接到所述第一电极。所述延伸部包括下插入层，所述下插入层设置在所述第一电极的上表面或所述第一电极的下表面上。所述压电层包括压电部和弯曲部，所述压电部设置在所述中央部中，所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述下插入层的形状而倾斜地从所述压电部延伸。所述下插入层利用导电材料形成，以使所述第一电极与所述第一金属层之间的电路径延伸。
声波谐振器及其制造方法

[发明专利]体声波谐振器-CN202211017191.3在审
发明人：韩源;李华善;柳廷勳;李文喆;金泰润;尹湘基;金龙石;金正训;李成俊;朴成埈 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2022-08-23 - 公布日： 2023-07-11 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；中央部，所述中央部包括依次层叠在所述基板上的第一电极的第一部分、压电层的第一部分和第二电极的第一部分；以及反射区域，设置在所述中央部的侧部并且包含所述第一电极的第二部分、插入层、所述压电层的第二部分和所述第二电极的第二部分。所述插入层的与中央部相邻的侧表面具有倾斜表面，所述第二电极的所述第一部分和第二电极的所述第二部分共面，并且所述第二电极的端部在所述反射区域中的与所述插入层的所述倾斜表面叠置。
声波谐振器

[发明专利]体声波谐振器-CN202210533826.9在审
发明人：韩源;李华善;李文喆;柳廷勳;金泰润;尹湘基;金龙石;金正训;李泰京;吉宰亨 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2022-05-16 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：板；谐振部，包括设置在所述板上的第一电极、压电层和第二电极；以及温度补偿层，设置在所述谐振部上，其中，所述温度补偿层包括利用电介质形成的温度补偿部和利用与所述温度补偿部的材料不同的材料形成的损耗补偿部，并且其中，所述温度补偿部和所述损耗补偿部中的每个包括多个线性图案，并且所述温度补偿部的所述线性图案和所述损耗补偿部的所述线性图案交替地设置。
声波谐振器

[发明专利]体声波谐振器-CN201810039429.X有效
发明人：韩源;金大虎;金龙石;韩昇勋;李文喆;林昶贤;李成俊;尹湘基;金泰润;孙尚郁 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2018-01-16 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器，包括：基板；膜层，与所述基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的部分并使所述压电层的侧部暴露于空气，其中，所述压电层包括台阶部，所述台阶部从所述压电层的所述侧部延伸并设置在所述下电极的所述平坦表面上。
声波谐振器

[发明专利]声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器-CN202111635908.6在审
发明人：李泰京;金泰润;尹湘基;林昶贤;金钟云;李文喆 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2017-12-12 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本公开提供一种声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器。所述声波谐振器包括：谐振部，设置在基板上并且通过腔与所述基板分开，所述谐振部包括顺序地堆叠的膜层、第一电极、压电层和第二电极。满足ΔMg为位于所述腔上方的所述膜层的最大厚度和最小厚度之差。
声波谐振器包括滤波器

[发明专利]体声波谐振器-CN202110811548.4在审
发明人：李泰京;韩相宪;朴成埈;尹湘基;李尙泫;严在君 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2021-07-19 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本公开提供一种体声波谐振器，所述体声波谐振器包括：基板；谐振部，包括顺序地堆叠在所述基板上的第一电极、压电层和第二电极；以及保护层，设置在所述谐振部的上表面上。所述保护层包括：第一保护层，利用金刚石薄膜形成；以及第二保护层，堆叠在所述第一保护层上，并且利用介电材料形成。
声波谐振器

[发明专利]声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法-CN201810676270.2有效
发明人：李泰京;金成善;尹湘基;林昶贤;孙晋淑;申兰姬;庆济弘 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2018-06-27 - 公布日： 2022-04-26 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本发明提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括基板、中央部分、延伸部分和阻挡层。在所述中央部分中，第一电极、压电层和第二电极依次堆叠在所述基板上。所述延伸部分被构造为从所述中央部分延伸并包括设置在所述压电层下方的插入层。所述阻挡层设置在所述第一电极和所述压电层之间。
声波谐振器用于制造方法

[发明专利]体声波谐振器-CN202110835700.2在审
发明人：金泰润;韩源;李尙泫;吉宰亨;尹湘基;李文喆 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2021-07-23 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本公开提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：基板；设置在所述基板上的第一电极；腔，所述腔设置在所述基板和所述第一电极之间；压电层，覆盖所述第一电极的至少一部分；第二电极，覆盖所述压电层的至少一部分；插入层，设置在所述第一电极与所述压电层之间；以及下框架，设置在所述腔中。所述下框架的至少一部分与所述插入层叠置。
声波谐振器

[发明专利]声波谐振器及制造声波谐振器的方法-CN201810018188.0有效
发明人：李泰京;韩源;金泰润;金锺云;李文喆;林昶贤;尹湘基;李华善;丁大勋 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2018-01-09 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种声波谐振器及制造声波谐振器的方法，所述声波谐振器包括：中央部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上；延伸部，从所述中央部向外延伸；及插入层，在所述延伸部中设置在所述压电层下方，其中，所述压电层包括压电部和弯曲部，所述压电部设置在所述中央部中，所述弯曲部设置在所述延伸部中并且根据所述插入层的形状从所述压电部倾斜地延伸。
声波谐振器制造方法

[发明专利]声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器-CN201711315132.3有效
发明人：李泰京;金泰润;尹湘基;林昶贤;金钟云;李文喆 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2017-12-12 - 公布日： 2022-03-15 - 主分类号： H03H9/05 文献下载
摘要：本公开提供一种声波谐振器及包括该声波谐振器的滤波器。所述声波谐振器包括：谐振部，设置在基板上并且通过腔与所述基板分开，所述谐振部包括顺序地堆叠的膜层、第一电极、压电层和第二电极。满足ΔMg为位于所述腔上方的所述膜层的最大厚度和最小厚度之差。
声波谐振器包括滤波器

[发明专利]声波谐振器和用于制造声波谐振器的方法-CN202110067710.6在审
发明人：李泰京;金龙石;尹湘基;孙晋淑;申兰姬 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2021-01-19 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本公开提供一种声波谐振器和用于制造声波谐振器的方法。所述声波谐振器包括：谐振器，具有中央部和延伸部，在所述中央部中，第一电极、压电层和第二电极顺序地堆叠在基板上，所述延伸部沿着所述中央部的外周设置，并且在所述延伸部中，插入层设置在所述压电层下方，其中，所述插入层包括注入氟(F)的SiO2薄膜。
声波谐振器用于制造方法

[发明专利]声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法-CN202110148861.4在审
发明人：李泰京;申兰姬;林昶贤;金泰润;尹湘基;李文喆;严在君 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2021-02-03 - 公布日： 2021-12-14 - 主分类号： H03H3/02 文献下载
摘要：本公开提供一种声波谐振器及用于制造声波谐振器的方法，所述声波谐振器包括：基板；以及谐振器部，第一电极、压电层和第二电极在所述谐振器部中顺序堆叠在所述基板上。所述压电层利用包含钪(SC)的氮化铝(AlN)形成。所述声波谐振器满足以下表达式：漏电流密度×钪(SC)含量20。所述漏电流密度是所述压电层的以μA/cm2为单位的漏电流密度，并且所述钪(Sc)含量是所述压电层中钪(Sc)的重量百分比(wt％)。
声波谐振器用于制造方法

[发明专利]体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器-CN202111060953.3在审
发明人：李泰京;金泰润;金大虎;林昶贤;李泰勋;尹湘基;金锺云;韩源;李文喆 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2017-08-25 - 公布日： 2021-12-03 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种体声波谐振器和包括该体声波谐振器的滤波器，所述体声波谐振器包括：基板，具有上表面，所述上表面上设置有基板保护层；及膜层，与所述基板一起形成腔，其中，所述基板保护层和所述膜层中的任意一者或两者的厚度偏差为或更小。
声波谐振器包括滤波器

[发明专利]体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法-CN202110101206.3在审
发明人：李泰京;金龙石;尹湘基;林昶贤;李泰勳;李镇佑 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2021-01-26 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H03H9/17 文献下载
摘要：本公开提供一种体声波谐振器及制造体声波谐振器的方法，所述体声波谐振器包括：谐振器，包括顺序地堆叠在基板上的第一电极、压电层和第二电极；以及插入层，设置在所述压电层下方，且被构造为以部分地升高所述压电层和所述第二电极，其中，所述插入层可利用包含硅(S)、氧(O)和氮(N)的材料形成。
声波谐振器制造方法

[发明专利]体声波谐振器-CN201711211798.4有效
发明人：韩源;林昶贤;金龙石;韩昇勋;李成俊;尹湘基;金泰润 -专利权人：三星电机株式会社
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明提供一种体声波谐振器。所述体声波谐振器包括：膜层，与基板一起形成腔；下电极，设置在所述膜层上；压电层，设置在所述下电极的平坦表面上；以及上电极，覆盖所述压电层的一部分。所述压电层的侧部的整个区域暴露于空气。所述压电层的所述侧部相对于所述下电极的顶表面具有65°到90°的倾斜度。
声波谐振器

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