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[实用新型]晶圆盒夹持装置和晶圆盒搬运复合机器人-CN202320297346.7有效
发明人：徐冠华;尹松华;邓荣新;陈叶磊 -专利权人：苏州兰里智能科技有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-06-06 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆盒夹持装置，包括夹具本体，夹具本体包括支撑板，支撑板上设有前端开口并用于让位晶圆盒的连接块的让位槽；让位槽的两侧和后侧分别设有导向块，导向块面向让位槽的内侧面包括位于上部的导向面和位于下部的定位面；导向块的导向面之间形成用于容纳晶圆盒的装夹板的上部容纳区，导向块的定位面之间形成用于定位晶圆盒的装夹板的下部定位区；导向面用于导向装夹板从上部容纳区进入下部定位区，下部定位区内设有与设置在装夹板上的定位槽配合的定位柱。本实用新型还公开了一种晶圆盒搬运复合机器人。本实用新型的晶圆盒夹持装置和晶圆盒搬运复合机器人，不仅能够满足晶圆盒的转运要求，而且具有可靠性高和使用寿命长的优点。
晶圆盒夹持装置搬运复合机器人

[外观设计]复合机器人-CN202330069748.7有效
发明人：徐冠华;邓荣新;尹松华 -专利权人：苏州兰里智能科技有限公司
申请日： 2023-02-23 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： 12-05 文献下载
摘要：1.本外观设计产品的名称：复合机器人。2.本外观设计产品的用途：用于物料运输和转移。3.本外观设计产品的设计要点：在于形状。4.最能表明设计要点的图片或照片：立体图1。
复合机器人