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[实用新型]一种新型的集中供液装置-CN202320207150.4有效
发明人： 尹文宝;王维师;王锴;菅明辉;曹锦伟;李世权;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型的集中供液装置，包括底座，所述底座的顶部一侧设置有加热管，所述加热管的顶部设置有主抛光液箱，所述主抛光液箱的顶部设置有冷却水盘管，所述主抛光液箱的一侧设置有框架，所述框架的顶部分别设置有原液箱和氢氧化钾溶液箱，所述氢氧化钾溶液箱的一侧表面设置有氢氧化钾液位系统，所述原液箱和氢氧化钾溶液箱的一侧分别设置有原液供液泵和计量泵，所述框架的底部设置有三路供液系统。该一种新型的集中供液装置，在进行日常使用的过程中，可实现由原来的7小时换液延长至168小时换液，减少产品因换液带来的质量波动，进而有效的实现抛光液集中供应，减少抛光液的更换周期，提高产品的整体质量。
一种新型集中装置

[实用新型]一种新型的不停机换液装置-CN202320164865.6有效
发明人： 尹文宝;黄盛军;王维师;白苏宁;王锴;菅明辉;曹锦伟;李仕权;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型的不停机换液装置，包括底座，所述底座的顶部一侧设置有冷水管，所述冷水管的顶部一侧设置有抛光液回收箱，所述抛光液回收箱的一侧设置有温度传感器，所述冷水管的一侧表面设置有液位传感器，所述冷水管一侧的底座顶部设置有供液泵，所述冷水管靠近底部的一侧设置有抛光液出口，所述抛光液出口与供液泵之间通过管道贯通连接。该一种新型的不停机换液装置，采用抛光机同时连接一主、一副两组供液系统实现不停机换液，减少传统的停机换液造成的工时浪费，减少停机造成大盘温度变化对产品几何参数造成的影响，有效的实现抛光机的抛光液寿命到期后，直接切换加入新抛光液的副TANK系统供液，达到不停机换液的目的。
一种新型停机装置

[发明专利]一种新型的抛光液PH值自动调节装置-CN202310104562.X在审
发明人： 尹文宝;王锴;王维师;菅明辉;曹锦伟;李仕权;王彦君;孙晨光 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-13 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： G05D21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型的抛光液PH值自动调节装置，包括抛光液储存箱，所述抛光液储存箱的顶部一侧设置有PH值检测装置，所述抛光液储存箱的一侧设置有PLC控制柜，所述PLC控制柜的内部设置有PLC控制器，所述PLC控制柜的一侧表面设置有PH调节液计量泵，所述PH调节液计量泵的下方设置有PH调节液储存桶，且PH调节液计量泵的进液端和出液端分别通过管道与PH调节液储存桶和抛光液储存箱贯通连接。该一种新型的抛光液PH值自动调节装置，通过采用PLC自动控制调节PH值，不增加操作员的工作量，通过使用高精度计量泵，通过差值进行实时控制，有效的保证了调节精度，实现抛光液PH值精确控制，大大降低了由于抛光液PH值不稳定导致的产品不良率。
一种新型抛光 ph 自动调节装置

[发明专利]一种新型的集中供液装置-CN202310110474.0在审
发明人： 尹文宝;王维师;王锴;菅明辉;曹锦伟;李世权;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-14 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型的集中供液装置，包括底座，所述底座的顶部一侧设置有加热管，所述加热管的顶部设置有主抛光液箱，所述主抛光液箱的顶部设置有冷却水盘管，所述主抛光液箱的一侧设置有框架，所述框架的顶部分别设置有原液箱和氢氧化钾溶液箱，所述氢氧化钾溶液箱的一侧表面设置有氢氧化钾液位系统，所述原液箱和氢氧化钾溶液箱的一侧分别设置有原液供液泵和计量泵，所述框架的底部设置有三路供液系统。该一种新型的集中供液装置，在进行日常使用的过程中，可实现由原来的7小时换液延长至168小时换液，减少产品因换液带来的质量波动，进而有效的实现抛光液集中供应，减少抛光液的更换周期，提高产品的整体质量。
一种新型集中装置

[发明专利]一种新型的防止硅片烧结的喷淋装置-CN202310095440.9在审
发明人： 尹文宝;王维师;王锴;菅明辉;曹锦伟;李仕权;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-10 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型的防止硅片烧结的喷淋装置，包括立柱，所述立柱的顶部设置有第一支撑件，所述第一支撑件的顶部一侧设置有第二支撑件，所述第二支撑件的底部一侧设置有喷头，所述喷头的下方设置有升降台，所述升降台的表面开设有检测槽，所述检测槽的内侧设置有红外传感器，所述升降台的底部设置有电动升降柱，所述电动升降柱和立柱的底部皆设置有定位座。该一种新型的防止硅片烧结的喷淋装置，在进行日常使用的过程中，采用硅片在运转的过程中持续的冲洗的方式，减少传统的硅片直接转导致抛光液对硅片烧结的影响，使用实心锥形喷头，保证纯水覆盖硅片全部表面，实现硅片在运转的过程中对硅片持续冲洗，有效的提高了硅片生产的整体质量。
一种新型防止硅片烧结喷淋装置

[发明专利]一种新型的不停机换液装置-CN202310087896.0在审
发明人： 尹文宝;黄盛军;王维师;白苏宁;王锴;菅明辉;曹锦伟;李仕权;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2023-02-09 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型的不停机换液装置，包括底座，所述底座的顶部一侧设置有冷水管，所述冷水管的顶部一侧设置有抛光液回收箱，所述抛光液回收箱的一侧设置有温度传感器，所述冷水管的一侧表面设置有液位传感器，所述冷水管一侧的底座顶部设置有供液泵，所述冷水管靠近底部的一侧设置有抛光液出口，所述抛光液出口与供液泵之间通过管道贯通连接。该一种新型的不停机换液装置，采用抛光机同时连接一主、一副两组供液系统实现不停机换液，减少传统的停机换液造成的工时浪费，减少停机造成大盘温度变化对产品几何参数造成的影响，有效的实现抛光机的抛光液寿命到期后，直接切换加入新抛光液的副TANK系统供液，达到不停机换液的目的。
一种新型停机装置

[实用新型]一种抛光防止陶瓷盘带起的装置-CN202122871427.7有效
发明人：黄盛军;尹文宝;菅明辉;王彦君;孙晨光;曹锦伟 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-22 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： B24B29/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抛光防止陶瓷盘带起的装置，涉及抛光装置技术领域。本实用新型包括抛光组件、两个升降组件，升降组件内装设有斜导轮，斜导轮侧部开设有多个通气槽，升降组件下端依次装设有抛头吸附垫、压力分散环，抛头吸附垫下端开设有放射状凹槽。本实用新型通过通气槽降低陶瓷盘与压力分散环形成密闭空间，导致陶瓷盘被升降组件带起的概率，通过放射状凹槽降低抛头吸附垫被陶瓷盘背面残留的水浸湿，因水的张力升降组件将陶瓷盘带起的概率，通过通气槽和放射状凹槽配合，降低因升降组件将陶瓷盘带起，而使陶瓷盘掉落砸坏抛光组件、陶瓷盘破碎、人员伤害等巨大风险发生的概率。
一种抛光防止陶瓷盘带装置

[实用新型]一种晶片抛光机边导轮拆卸装置-CN202023097063.3有效
发明人：黄盛军;菅明辉;高晟淇;尹文宝;王彦君;孙晨光 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶片抛光机边导轮拆卸装置，包括地脚，地脚的顶部固定安装有治具固定板，治具固定板的顶部四角固定安装有安装四根支柱，安装支柱的顶部固定安装有直线轴承固定板，直线轴承固定板上固定套接有直线轴承，直线轴承同轴滑动内套有导向轴，导向轴的底部固定安装有分离压板，分离压板的顶部中心处固定安装有压板连接套，分离压板的底部设有边导轮，边导轮的底部同轴摩擦连接有边导轮治具，边导轮治具的底部同轴心固定安装在治具固定板上，压板连接套的顶部同轴心固定安装有浮动接头，浮动接头的顶部同轴心固定连接有推力气缸。
一种晶片抛光机导轮拆卸装置

[实用新型]一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置-CN202022938195.8有效
发明人：黄盛军;菅明辉;高晟淇;尹文宝;王彦君;孙晨光 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2020-12-10 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： G01B11/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，包括陶瓷盘冷却台，所述陶瓷盘冷却台的一侧固定安装有支撑板，所述支撑板的顶部固定安装有提升装置安装座，所述提升装置安装座的一侧表面固定安装有直线导轨，所述直线导轨的一侧固定安装有提升气缸，所述提升气缸的输出端固定安装有活塞杆。该一种8英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置，在进行日常使用的过程中，通过采用在贴片的陶瓷盘上方加装一套装置，利用伺服电机匀速旋转带动小光点反射光路传感器的通断检测两片硅片之间通过的时间，通过计算转化为长度单位，查找出位置偏移的硅片，让其不流入抛光工序，以免影响产量和机台效率，使硅片的整体加工质量更高。
一种英寸硅片抛光前有蜡贴片位置检测装置

[发明专利]一种晶片精抛机精抛液回收装置-CN202011520349.X在审
发明人：黄盛军;菅明辉;高晟淇;尹文宝;孙晨光;王彦君 -专利权人：中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2020-12-21 - 公布日： 2021-04-06 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种晶片精抛机精抛液回收装置，包括安装底板，安装底板的上端一面固定设有排液管衬套，安装底板的中部两侧固定设有相互对称的排水盒固定块，安装底板的上端远离排液管衬套的一面固定设有排液管固定块，排液管固定块的内部贯穿设有排液管，排液管的一端依次贯穿排液管固定块和安装底板嵌入排液管衬套内，排液管嵌入排液管衬套的一端外侧固定连接有排液管旋转连杆，两个排液管固定块远离安装底板的一侧固定设有同一个排水盒。本发明通过在两个排液管固定块远离安装底板的一侧固定设有同一个排水盒，排水盒的底端固定连接排水管和回收管，使得该装置能够对抛光精抛液进行回收，避免浪费，符合资源的可循坏利用观点。
一种晶片精抛机精抛液回收装置

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