“小西辉明”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果5个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]称量装置及方法、基板液处理装置及方法和存储介质-CN201810267182.7有效
发明人： 小西辉明;佐野和成;田中幸二 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-03-28 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：提供一种称量装置及方法、基板液处理装置及方法和存储介质。本发明提供一种高精度地定量供给要用于基板液处理装置中的处理液的基板液处理装置(A1)，所述基板液处理装置(A1)具备：贮存管(61)，其贮存处理液；导入配管(62)，其向贮存管(61)导入处理液；送出配管(63)，其从贮存管(61)送出处理液；以及气体供给部(65)，其通过向贮存于贮存管(61)的处理液的表面吹扫气体来进行处理液的刮除。
称量装置方法基板液处理存储介质

[发明专利]基板处理装置、基板处理方法以及存储介质-CN201811214795.0有效
发明人：张健;稻田尊士;河野央;藤津成吾;佐藤秀明;小西辉明;盐川俊行;小仓康司;吉田博司 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-10-18 - 公布日： 2021-09-03 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种基板处理装置、基板处理方法以及存储介质，其能够缩短蚀刻处理时间。实施方式所涉及的基板处理装置具备基板处理槽、混合部以及供给线路。基板处理槽用于利用蚀刻液进行蚀刻处理。混合部将新液与含硅化合物或含有含硅化合物的液体混合。供给线路用于向基板处理槽供给通过混合部进行混合所得的混合液。
处理装置方法以及存储介质

[发明专利]基板处理装置和处理液浓缩方法-CN201911273652.1在审
发明人： 小西辉明;金川耕三;黑田修;田中幸二;鹤崎广太郎;荒竹英将;小仓康司;平瀬圭太 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2019-12-12 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供基板处理装置和处理液浓缩方法。能够高效地使成为磷酸处理液的原料的磷酸水溶液浓缩成期望的浓度。本公开的一技术方案的基板处理装置包括：处理部，其利用处理液处理基板；以及处理液生成部，其生成向处理部供给的处理液。处理液生成部具有：储存部、循环管线、加热部以及喷嘴。储存部储存处理液。循环管线使储存于储存部的处理液循环。加热部加热处理液。喷嘴设于循环管线的下游侧，具有自储存于储存部的处理液的液面上方喷出由加热部加热了的处理液的喷出口。
处理装置浓缩方法

[发明专利]液处理装置-CN201110458199.9有效
发明人： 小西辉明;手塚孝弘 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-12-27 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种易于进行装置的组装、维护的液处理装置。用于对基板(W)进行液处理的多个液处理单元(2)彼此横向排列配置，用于将液处理单元(2)内的气氛气体排出的排气管(3)配置为在该多个液处理单元(2)的下侧并沿着由该液处理单元排列而成的列延伸，供液用的流通控制设备组(4)设在上述排气管(3)的下侧。供液用主配管(5)及排液用主配管(6)设为在该流通控制设备组(4)的下侧并沿着由多个液处理单元排列而成的列延伸，多条供液用分支管自上述供液用主配管(5)分支出来，经由上述供液用的流通控制设备(402)与各液处理单元连接，多条排液用分支管自上述排液用主配管(6)分支出来并与各液处理单元连接。
处理装置

[发明专利]液处理装置-CN201110458178.7有效
发明人： 小西辉明;手塚孝弘 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2011-12-27 - 公布日： 2012-07-04 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：本发明提供一种易于进行装置的组装、维护的液处理装置。在液处理装置(1)中，液处理单元(2)用于利用处理液对基板(W)进行液处理，供液用配管(561、562)的一端侧与液处理单元连接，另一端侧被引绕到液处理单元的下侧，用于将处理液供给到该液处理单元中。壳体基体(46)中安装有介于该供液用配管之间的流通控制设备组(402)，在壳体基体内具有均以面朝位于液处理装置的侧方的维护区域的方式设置的上游侧连接部(403)和下游侧连接部(406)，该上游侧连接部相对于比流通控制设备组靠上游侧的供液用配管(561)装卸，该下游侧连接部相对于比流通控制设备组靠下游侧的供液用配管(562)装卸。
处理装置

1
共 5 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top