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- [发明专利]溶液处理装置-CN201410073211.8有效
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铃木崇夫;竹山友洁;小田昭昌
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日本瑞环株式会社
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2014-02-28
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2014-09-10
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B01D3/14
- 本发明的溶液处理装置,能够将被处理液分离成浓缩液和馏出液,并在使浓缩液中的高沸点有机溶剂的含量充分地增多的同时,使馏出液中的高沸点有机溶剂的含量充分地减少。一种溶液处理装置(1a),其特征在于,具备:处理塔(2),将被处理液(L1)分离成浓缩液(L2)和成为馏出液(L3)的馏出蒸气(L3),使馏出蒸气(L3)从塔顶部馏出,使浓缩液(L2)从塔底部流出;第一加热单元(6a),将供给到上述处理塔(2)的塔底部的被处理液(L1)加热;第一气液接触单元(3a),设置在上述处理塔(2)的内部,并且使被处理液(L1)与被上述第一加热单元(6a)加热而成气体状的被处理蒸气(L1)接触;以及供给单元(4),从上述第一气液接触单元(3a)的上方向上述处理塔(2)的内部供给被处理液(L1)。
- 溶液处理装置
- [发明专利]由剥离液废液再生剥离液的方法和再生装置-CN200810174929.0有效
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竹山友洁;河野雅史;小田昭昌;水谷荣一;川濑泰人
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日本瑞环化工株式会社
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2008-10-24
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2009-05-06
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G03F7/42
- 本发明提供一种从剥离液废液中再生剥离液的方法和再生装置。所述再生方法,是从由液晶显示板的制造工序产生的抗蚀剂剥离液废液中分离除去其所含有的正型光致抗蚀剂从而再生剥离液的方法,其中,将相对于所述剥离液废液中所含有的光致抗蚀剂的质量为0.01~0.2倍质量的碱性化合物添加到该剥离液废液中。所述再生装置,是从由液晶显示板的制造工序产生的抗蚀剂剥离液废液中分离除去其所含有的正型光致抗蚀剂从而再生剥离液的装置,该再生装置具备从所述剥离液废液中分离除去其中的低沸点成分的低沸点物除去塔;从该剥离液废液中分离除去其中的高沸点成分的薄膜式蒸发器;以及,从残余的液体中分离回收精制剥离液的剥离液精制塔,并且,具备所述剥离液废液在该低沸点物除去塔、该薄膜式蒸发器和该剥离液精制塔之间流通,并作为精制剥离液被回收的配管系统,在所述薄膜式蒸发器和/或其上游侧的配管系统中,具备将碱性化合物添加到该剥离液废液中的碱添加装置。
- 剥离废液再生方法装置
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