|
钻瓜专利网为您找到相关结果 15个,建议您 升级VIP下载更多相关专利
- [发明专利]载台装置-CN200710110052.4无效
-
原田真;小原达也;小林雄二
-
住友重机械工业株式会社
-
2007-06-19
-
2007-12-26
-
H01L21/683
- 本发明的目的为不需要支持载放工件的吸附板的石基台,对应工件的大型化、且确保载台的位置精度。载台装置(10)具有:固定在地面上的架台(12);被支持在架台(12)上的一对导向部(14A、14B);横架在一对导向部(14A、14B)之间,两端被支持在架台(12)上的多个梁(16);Y载台(18),沿一对导向部(14A、14B)在Y方向移动;以及一对线性马达(20A、20B),沿Y方向驱动Y载台(18)的两端部。并且,在梁(16)上载放有载放平板状的工件的吸附板。在工件的面积被大型化而延长Y载台(18)的移动距离的场合,可通过延长导向部(14A、14B)来对应。
- 装置
- [发明专利]平台装置-CN200710110053.9无效
-
原田真;小原达也;小林雄二
-
住友重机械工业株式会社
-
2007-06-19
-
2007-12-26
-
H01L21/683
- 本发明提供一种平台装置,可以确保平台位置检测精度。平台装置(10)的Y平台(18)具有:在X方向横架在引导部(14A、14B)上方的横架部(30)和与横架部(30)的两端结合且沿引导部(14A、14B)移动的一对滑块(32A、32B)。滑块具有与引导部(14A、14B)的左右侧面相对的侧衬垫(34、35)和在Z方向上正对的上衬垫(36)。在引导部(14)的左右侧面上,设有一对直线检测元件(22A、22B)。第1直线检测元件(22A)测定相对于引导部(14A)的左侧面的Y平台(18)的移动位置。第2直线检测元件(22B)测定相对于引导部(14A)的右侧面的Y平台(18)的移动位置。
- 平台装置
- [发明专利]卫星定位系统-CN02801184.8无效
-
宫坂講治;森正和;坂木和幸;高须谦一;小林雄二
-
三井物产株式会社;拓普康株式会社
-
2002-04-10
-
2003-12-10
-
G01S5/14
- 一种GPS定位系统具有:至少一个通过接收来自卫星的无线电波测量位置坐标的移动台;多个具有预定位置坐标并接收来自所述卫星的无线电波的固定台;以及通过通信与至少一个移动台和多个固定台连接的运算处理装置,它根据从至少一个移动台发来的定位数据选择一个适当的固定台,并将所选的固定台的基准定位数据发送给移动台。一种用于GPS定位的数据服务器具有:一个位置坐标固定在一个已知点的第一通信接口,它从多个接收来自卫星的无线电波的固定台接收定位数据;一个从位置坐标可通过接收来自所述卫星的无线电波测量的移动台接收定位数据的第二通信接口;以及根据通过第二通信接口接收到的定位数据从多个固定台中选择一个适当的固定台的运算处理装置。
- 卫星定位系统
|