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- [发明专利]半导体设备自动检查装置-CN02107589.1无效
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田内司;山本勇二;宫迫雅己;木下正;吉平光宏;中村征夫
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重机公司
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2002-03-18
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2002-11-13
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G01R31/26
- 一种半导体设备自动检查装置,可以高精度、高效率地检查电缆连接的半导体设备。包括保持半导体设备18的托盘22;自动与所述连接器16连接的检查用连接器30;可以与设备主体14的端子部14A接触并输入输出信号的检测器32装卸所述托盘22中处于保持状态的所述设备主体14,并将其移送到所述检测器32上,使之与该检测器32接触或接近的检查用装卸移送装置36;控制该检查用装卸移送装置36的控制部件66从所述检查用连接器30和检测器32中的一个将输入信号输入,从另一个得到输出信号,由此检查所述半导体设备18的检查器34,从而构成半导体设备自动检查装置。
- 半导体设备自动检查装置
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