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[发明专利]声表面波换能器、滤波器及制造方法-CN202310272919.5在审
发明人：曹亮;姚远;宋崇希;龙峥;程一民;姚艳龙 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本申请涉及一种声表面波换能器、滤波器及制造方法，其声表面波换能器包括压电层和IDT电极，压电层的第一表面上设有声波漫反射区，声波漫反射区向压电层的内部凹陷，声波漫反射区的凹陷深度为5nm～5000nm，IDT电极设置在压电层的第一表面上；其制造方法包括在压电层上生成IDT电极，在压电层上制备声波漫反射区，并使声波漫反射区向压电层的内部凹陷；本申请的声表面波换能器，通过声波漫反射区可阻断声表面波在孔径方向上的泄露路径，从而达到横模抑制的目的。
表面波换能器滤波器制造方法

[发明专利]温度补偿声表面换能器及制造方法-CN202310272917.6在审
发明人：姚远;曹亮;宋崇希;龙峥;姚艳龙 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2023-03-20 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种温度补偿声表面换能器及制造方法，其中温度补偿声表面换能器包括依序设置的基底层、电极层和温补层，温补层具有背离电极层的第一表面，第一表面上设有空腔结构，电极层具有叉指电极组，空腔结构靠近叉指电极组的端头周侧或叉指电极组的上表面；温度补偿声表面换能器的制造方法包括在基底层上生成电极层，在电极层上生成温补层，在温补层上制备空腔结构，并使空腔结构靠近电极层的叉指电极组；本申请的温度补偿声表面换能器，通过空腔结构可阻断声表面波在孔径方向上的泄露路径，对横模传播造成破坏，从而达到对横向模式进行有效抑制的目的。
温度补偿表面换能器制造方法

[发明专利]弹性波器件、滤波器和多路复用器-CN202310265485.6在审
发明人： 宋崇希;姚远;姚艳龙;丁毅;龙峥 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H03H9/15 文献下载
摘要：本申请公开了一种弹性波器件、滤波器和多路复用器，涉及集成电路技术领域，所述弹性波器件包括：衬底；在所述衬底上层的压电层以及形成在所述压电层上方的IDT电极；所述衬底的欧拉角为(‑45°±10°，‑36°±10°，‑45°±10°)，或者，(‑45°±10°，‑36°±10°，‑225°±10°)；所述压电层的欧拉角为(0°±10°，130°±5°，0°±10°)，或者，(0°±10°，140°±5°，0°±10°)。解决了现有技术中产生的寄生声学模式会对影响器件的电气性能的问题，达到了可以通过衬底和压电层的欧拉角组合设置进而可以抑制寄生声学模式提高电气性能的效果。
弹性器件滤波器多路复用

[发明专利]弹性波器件、滤波器和多路复用器-CN202310265516.8在审
发明人： 宋崇希;姚远;姚艳龙;丁毅;龙峥 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2023-03-17 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H03H9/15 文献下载
摘要：本申请公开了一种弹性波器件、滤波器和多路复用器，涉及集成电路技术领域，所述弹性波器件包括：衬底；在所述衬底上层的压电层以及形成在所述压电层上方的IDT电极；所述衬底的欧拉角为(0°±10°，±90°±10°，±45°±10°)；所述压电层的欧拉角为(0°±10°，120°±5°，0°±10°)或者，(0°±10°，130°±5°，0°±10°)，或者，(0°±10°，140°±5°，0°±10°)。解决了现有技术中产生的寄生声学模式会对影响器件的电气性能的问题，达到了可以通过衬底和压电层的欧拉角组合设置进而可以抑制寄生声学模式提高电气性能的效果。
弹性器件滤波器多路复用

[发明专利]叉指换能结构、谐振器、谐振器制作方法及滤波器-CN202210103998.2有效
发明人： 宋崇希;王放;姚艳龙 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2022-01-28 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种叉指换能结构、谐振器、谐振器制作方法及滤波器，涉及谐振器领域，该叉指换能结构包括：平行设置的第一汇流排和第二汇流排，第一汇流排上设置有多个第一电极、第二汇流排上设置有多个第二电极，多个第一电极和多个第二电极相对间隔设置在第一汇流排和第二汇流排之间的中间区域；中间区域包含叉指区和不属于所述叉指区的单极区；单极区中各第一电极之间和各第二电极之间通过多个金属条连接，并在各电极的电极端以及对应电极处设置金属加厚层。在本发明中通过将单极区中各第一电极之间和各第二电极之间通过多个金属条连接，并设置金属加厚层，利用上述结构使单极区和叉指区声速不同，从而对横向模式波纹进行有效抑制。
叉指换能结构谐振器制作方法滤波器

[发明专利]一种声表面波谐振器及滤波器-CN202111578092.8在审
发明人： 宋崇希;王放 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种声表面波谐振器及滤波器，该谐振器包括：依次层叠设置的支撑层、能量陷阱层、温度补偿层、压电层和叉指换能器层；叉指换能器层包括多个叉指换能器，压电层的材料包括X‑40Y铌酸锂，支撑层的声体波传播速度大于压电层的声表面波传播速度，能量陷阱层用于捕获支撑层表面的寄生电荷以提高声表面波谐振器的Q值。本发明实施例对谐振器压电层和支撑层进行改进，X‑40Y铌酸锂传播声波的速度较高，使得谐振器工作频率大幅提升，达到5G及5G以上频率；支撑层声体波传播速度大于压电层声表面波传播速度，能量被限制在表面，不会产生体波泄漏，从而减小器件损耗；能量陷阱层可以提高Q值来增强声表面波谐振器的稳定性。
一种表面波谐振器滤波器

[发明专利]一种声表面波谐振器及滤波器-CN202111578906.8在审
发明人： 宋崇希;王放 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2021-12-22 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种声表面波谐振器及滤波器。该谐振器包括依次层叠设置的支撑层、温度补偿层、压电层、叉指换能器层和调频层；叉指换能器层包括多个叉指换能器，压电层的材料包括X‑40Y铌酸锂，支撑层的声体波传播速度大于压电层的声表面波传播速度；调频层至少覆盖叉指换能器。本发明实施例对声表面波谐振器的压电层以及支撑层进行改进，由于X‑40Y铌酸锂传播声波的速度较高，使得谐振器的工作频率大幅提升，达到5G甚至5G以上频率；支撑层的声体波传播速度大于压电层的声表面波传播速度，能量被限制在表面，不会产生体波泄漏，从而减小器件损耗；本发明实施例增加调频层，保护叉指换能器的同时可调节谐振器的频率。
一种表面波谐振器滤波器

[实用新型]一种声表面波谐振器和射频滤波器-CN202122353351.9有效
发明人： 宋崇希 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2022-03-22 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器，该声表面波谐振器包括衬底；位于衬底上的压电层；电极层位于压电层远离衬底的一侧；电极层包括叉指式换能器，叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；第一汇流条包括至少一条第一子汇流条和至少一条第二子汇流条，第一子汇流条和第二子汇流条连接；第二汇流条包括至少一条第三子汇流条和至少一条第四子汇流条。本实用新型实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器可以有效减小横向能量的泄露，从而提高谐振器的Q值，进而减小射频滤波器的插损。
一种表面波谐振器射频滤波器

[实用新型]一种声表面波谐振器及声表面波滤波器-CN202122024578.9有效
发明人： 宋崇希;王放;姚艳龙;邱鲁岩 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本实用新型实施例公开了一种声表面波谐振器及声表面波滤波器，声表面波谐振器包括：压电层、介质层和电极层；介质层位于压电层上；电极层位于介质层远离压电层的一侧，电极层包括叉指换能器；声表面波谐振器的带宽随介质层的厚度增大而减小。本实用新型实施例的技术方案通过改进声表面波谐振器的结构实现其带宽的可调性，进而可以实现声表面波滤波器的带宽可调性，同时还可以实现声表面波滤波器的小型化，降低成本。
一种表面波谐振器滤波器

[实用新型]一种声表面波谐振器-CN202121878161.2有效
发明人： 宋崇希;姚艳龙;邱鲁岩;王放 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2021-08-11 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明提供一种声表面波谐振器，该声表面波谐振器包括：压电层；第一金属膜层，第一金属膜层位于压电层的一侧，其中，第一金属膜层包括叉指式换能器和信号传输器，信号传输器与叉指式换能器连接；第一温度补偿膜层，第一温度补偿膜层位于叉指式换能器的远离压电层的一侧，第一温度补偿膜层覆盖叉指式换能器，且第一温度补偿膜层不覆盖信号传输器；阻挡层，阻挡层位于第一温度补偿膜层远离压电层的一侧，阻挡层覆盖第一温度补偿膜层，且阻挡层不覆盖信号传输器。本发明实施例提供的声表面波谐振器能够实现声表面波滤波器的零温度系数，从而使声表面波滤波器的在全温范围下稳定工作。
一种表面波谐振器

[实用新型]一种声表面波谐振器和射频滤波器-CN202120716638.0有效
发明人： 宋崇希;姚艳龙;邱鲁岩;王放 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器，声表面波谐振器包括：衬底；位于衬底上的压电层；电极层，电极层位于压电层远离衬底的一侧；电极层包括多个叉指式换能器，叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；第一电极指和第二虚设电极指相对设置，第二电极指和第一虚设电极指相对设置。本实用新型实施例提供的声表面波谐振器和射频滤波器，无需更换衬底和压电层，也无需增加额外的结构单元，就能实现带宽选择的灵活性，进一步提高了产品的设计自由度。
一种表面波谐振器射频滤波器

[发明专利]一种声表面波谐振器和射频滤波器-CN202111137705.4在审
发明人： 宋崇希 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2021-09-27 - 公布日： 2021-12-31 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：本发明实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器，该声表面波谐振器包括衬底；位于衬底上的压电层；电极层位于压电层远离衬底的一侧；电极层包括叉指式换能器，叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；第一电极指和第二虚设电极指相对设置，第一电极指和第二虚设电极指之间具有第一间隙，第二电极指和第一虚设电极指相对设置，第二电极指和第一虚设电极指之间具有第二间隙。本发明实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器可以有效减小横向能量的泄露，从而提高谐振器的Q值，进而减小射频滤波器的插损。
一种表面波谐振器射频滤波器

[实用新型]一种声表面波谐振器和射频滤波器-CN202120721106.6有效
发明人：姚艳龙;宋崇希;邱鲁岩;王放 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器，该声表面波谐振器包括：衬底；位于衬底上的压电层；电极层位于压电层远离衬底的一侧；电极层包括叉指式换能器，叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；第一电极指和第二虚设电极指相对设置，第一电极指和第二虚设电极之间具有第一间隙，第二电极指和第一虚设电极指相对设置，第二电极指和第一虚设电极之间具有第二间隙；各第一间隙沿第一方向排布，各第二间隙沿第一方向排布。本实用新型实施例提供的声表面波谐振器和射频滤波器，可以使横向模式波纹得到有效的抑制。
一种表面波谐振器射频滤波器

[实用新型]一种声表面波谐振器和射频滤波器-CN202120721118.9有效
发明人： 宋崇希;姚艳龙;邱鲁岩;姚远 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2021-04-08 - 公布日： 2021-11-19 - 主分类号： H03H9/145 文献下载
摘要：本实用新型实施例提供一种声表面波谐振器和射频滤波器，该声表面波谐振器包括：衬底；位于衬底上的压电层；电极层，电极层位于压电层远离衬底的一侧；电极层包括叉指式换能器，叉指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二电极指和第二虚设电极指；第一电极指和第二虚设电极指相对设置，第一电极指和第二虚设电极之间具有第一间隙，第二电极指和第一虚设电极指相对设置，第二电极指和第一虚设电极之间具有第二间隙。本实用新型实施例提供的声表面波谐振器和射频滤波器，可以使横向模式波纹得到有效的抑制。
一种表面波谐振器射频滤波器

[发明专利]一种声表面波谐振器及其制备方法、声表面波滤波器-CN202110982128.2在审
发明人： 宋崇希;王放;姚艳龙;邱鲁岩 -专利权人：江苏卓胜微电子股份有限公司
申请日： 2021-08-25 - 公布日： 2021-10-22 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种声表面波谐振器及其制备方法、声表面波滤波器，声表面波谐振器包括：压电层、介质层和电极层；介质层位于压电层上；电极层位于介质层远离压电层的一侧，电极层包括叉指换能器；声表面波谐振器的带宽随介质层的厚度增大而减小。本发明实施例的技术方案通过改进声表面波谐振器的结构实现其带宽的可调性，进而可以实现声表面波滤波器的带宽可调性，同时还可以实现声表面波滤波器的小型化，降低成本。
一种表面波谐振器及其制备方法滤波器

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