专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]卧式双蒸发光学镀工艺及设备-CN202310732260.7在审
  • 张步跃;谢博文;宋丽川;袁杰;许耀川 - 东莞市广正模具塑胶有限公司
  • 2023-06-19 - 2023-09-15 - C23C14/24
  • 本发明提供了卧式双蒸发光学镀工艺及设备,工艺步骤如下:将蒸发架拉出至镀膜室外,并将两种靶材分别放置在第一蒸发仓和第二蒸发仓内;结构件固定在蒸发架上,并推回镀膜室内;对镀膜室抽真空;两种靶材进行轮流加热蒸发,使两种靶材有序附着至结构件表面;停止加热靶材,恢复镀膜室的压强和温度;取下结构件。通过将两种靶材分别放置在并列设置的2个蒸发仓内,将两种靶材同时加热至对应的蒸发临界值温度,并根据膜层位置需求加热其一靶材进行镀膜,该靶材成功镀膜后降低靶材温度至临界值温度,然后加热另一靶材进行镀膜,成功镀膜后降低靶材温度值临界值温度。通过重复操作,可以进行快速镀膜,提高生产效率。
  • 卧式蒸发光学工艺设备

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