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[发明专利]一种碳化硅高纯原料合成的方法-CN202210796753.2在审
发明人：忻隽;贺贤汉;涂小牛;孔海宽;陈建军;李有群 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-07-08 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： C01B32/984 文献下载
摘要：本发明涉及碳化硅晶体领域，特别涉及一种高纯碳化硅原料合成方法。传统原料合成方法使用Si粉C粉混合和进行固相反应生成SiC粉体。本发明将粉末状的C原料替换成高纯石墨碳毡材料，利用石墨碳毡的多孔中空结构，有效控制反应速度和反应均匀性，制备得到粒径均一的高纯SiC原料。
一种碳化硅高纯原料合成方法

[实用新型]一种用于碳化硅晶片清洗后快速烘干装置-CN202221294936.6有效
发明人：周王俊;贺贤汉;李有群;章磊;吴寒 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： F26B15/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅晶片烘干技术领域，一种用于碳化硅晶片清洗后快速烘干装置，包括烘箱、第一输送机、第二输送机、烘干机构和翻转装置，烘箱顶端固定安装有若干个沿水平方向等间距设置的加热管，第一输送机与第二输送机均安装在烘箱内，烘箱顶端垂直固定连接烘干机构，第一输送机的输送末端与第二输送机的输送端固定安装翻转装置。本实用型有益效果是，根据烘箱的特性使整个空间处于一个高温环境，烘干机构快速清理表面的水分，翻转结构将碳化硅晶片翻转清理另外一面，无需人工翻面，有利于提高工作效率。
一种用于碳化硅晶片清洗快速烘干装置

[实用新型]一种用于碳化硅晶锭外圆加工的夹持装置-CN202220410585.4有效
发明人：王升;陈辉;李有群;贺贤汉 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-02-28 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B24B41/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于碳化硅晶锭外圆加工的夹持装置，涉及半导体制造领域。该装置由真空吸盘和碳化硅晶锭对中心调节机构这两部分组成。该装置解决了现有碳化硅晶锭外圆加工过程中碳化硅晶锭易脱落，操作不方便，费时费力的弊端，提高碳化硅晶锭外圆加工的成品率和工作效率。
一种用于碳化硅晶锭外圆加工夹持装置

[实用新型]一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置-CN202220988462.9有效
发明人：蔡佳霖;贺贤汉;陈辉;卢晨;殷雪苑;吴寒 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： B08B3/12 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体是一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置。本实用新型包括壳体，所述壳体内壁设置有两个超声波发生器。该一种碳化硅晶片抛光的碎屑收集装置，储物框架可通过内部开设有多个储物槽，可用来放置多个晶片，且能够将每个晶片隔开进行后续清理，壳体内壁的两个超声波发生器可对放置在壳体内部的储物框架进行超声波震动清洗，由于储物框架外表面开设有网口，便于清洗液接触每个储物槽内的晶片进行超声波清洗，设置的两个电机可带动两根传动辊进行旋转，从而使传动辊带动与之接触的晶片进行滚动，使得晶片边滚动边进行清洗，其过程可同时对多个晶片进行高效全面清洗，在保证清洗效果的同时也提高了晶片的加工效率。
一种碳化硅晶片抛光碎屑收集装置

[实用新型]一种用于碳化硅晶片腐蚀装置-CN202220995964.4有效
发明人：姚志勇;贺贤汉;李有群;陈辉;吴寒 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及半导体设备技术领域，具体是一种用于碳化硅晶片腐蚀装置。本实用新型包括包括主体框架，所述主体框架上端固定连接有上支架，所述上支架下表面设置有气缸，且气缸的伸缩端固定连接有第一支架。该一种用于碳化硅晶片腐蚀装置晶片框架里可一次放置多个晶片，提高工作效率，夹头通过双向丝杆滑台的两个移动端，对晶片框架进行夹持，四个夹头共同配合，使夹持更加稳固，夹头通过液压杆的伸缩端，可对不同长度的晶片框架进行夹持，晶片框架通过气缸的伸缩端延伸，可将晶片框架放入腐蚀桶内，对晶片进行腐蚀作业，晶片框架通过气缸的伸缩端收缩，使腐蚀完成的晶片脱离腐蚀桶，无需人工操作，方便快捷，减少危险。
一种用于碳化硅晶片腐蚀装置

[实用新型]一种碳化硅晶片研磨工艺用的下蜡装置-CN202220989445.7有效
发明人：董志勇;贺贤汉;李有群;章磊;吴寒 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-24 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： B24B37/34 文献下载
摘要：本实用新型涉及晶片生产附属装置的技术领域，具体是一种碳化硅晶片研磨工艺用的下蜡装置。本实用新型包括主体框架，所述主体框架外壁设置有侧支架。该一种碳化硅晶片研磨工艺用的下蜡装置第二框架通过气缸伸缩端的延伸，使第二框架下表面与陶瓷盘上表面相贴合，第二框架将陶瓷盘上的碳化硅晶片罩住，喷头向第二框架内注入去蜡液，当去蜡液覆盖碳化硅晶片，通过气缸伸缩端的收缩，第二框架脱离陶瓷盘上表面，去蜡后的碳化硅晶片可脱离陶瓷盘，将去蜡后的碳化硅晶片放置在第二平台上静置风干，可消除碳化硅晶片上附着的去蜡液，第二框架通过气缸伸缩端的工作，可快速对碳化硅晶片进行去蜡工作，降低了去蜡设备的成本，提高了碳化硅晶片去蜡的效率。
一种碳化硅晶片研磨工艺装置

[实用新型]一种用于碳化硅晶片的检测装置-CN202220525374.5有效
发明人：李有群;贺贤汉;章磊;卢晨;顾雪龙 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-07-15 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型属于碳化硅晶片检测技术领域，尤其为一种用于碳化硅晶片的检测装置，包括底座和连接架，所述底座的上端设置有安装架，所述安装架的上端设置有丝杆滑台，所述连接架设置在丝杆滑台的滑块之间，所述连接架的两端固定连接有固定杆，所述固定杆的内端贯穿有与其相匹配的转轴，固定杆通过转轴铰接有连接杆，所述连接杆的端头处固定连接有扫描检测仪。该用于碳化硅晶片的检测装置，结构合理，操作便捷，便于对检测仪检测角度进行调节，使其检测范围缩减，提高检测质量，而且通过传感器传导数据实时查看，增加了使用的灵活性。
一种用于碳化硅晶片检测装置

[发明专利]一种碳化硅晶锭生长装置及方法-CN202210519335.9在审
发明人：李有群;贺贤汉;周杰;吴寒 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-07-12 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种碳化硅晶锭生长装置，涉及碳化硅晶锭技术领域，包括筒体，筒体内设有加热内胆，筒体上部设有盖体；筒体上贯穿设有多个投料管，投料管的一端穿过加热内胆延伸至加热内胆的内部，并固定有坩埚；多个坩埚在加热内胆的内部排布呈倒立的堆型结构；每个投料管上连接有储料箱，储料箱与投料管之间设有投料机构；盖体的下方设有可旋转的碳化硅晶锭生长板，碳化硅晶锭生长板的上方设有冷却槽。本发明还提出了一种碳化硅晶锭生长的方法，通过碳化硅与掺杂物质之间升华的方式生长出碳化硅晶锭。本发明可使碳化硅与掺杂剂进行同步升华立体分布混合，生成出掺杂浓度更加均匀的半绝缘碳化硅晶锭，提高了半绝缘碳化硅晶锭的质量。
一种碳化硅生长装置方法

[发明专利]一种碳化硅晶片减薄装置及方法-CN202210519304.3在审
发明人：姚智勇;贺贤汉;李有群;蔡佳琳;吴寒 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-05-13 - 公布日： 2022-07-08 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了碳化硅晶片减薄领域的，具体为一种碳化硅晶片减薄装置，操作室和安装箱，所述安装箱顶端设置有抛光机构，所述操作室内侧壁设置有间歇起伏机构，所述间歇起伏机构包括两个转动盘和两V形牵引架，所述转动盘对称转动连接在操作室内侧壁上，其中一个所述转动盘表面传动连接有第一电机，所述第一电机固定连接在操作室外侧壁上，所述V形牵引架上均开设有牵引弧槽，两个所述转动盘表面共同固定连接有推动杆。本发明通过设置间歇起伏机构，使得晶片间歇进行抛光作用，避免晶片长时间摩擦抛光，导致晶片温度升高，发生损害，同时将将牵引弧槽半径设置与推动杆运动轨迹半径相同，延长抛光时间，避免抛光时间短，导致抛光效率降低。
一种碳化硅晶片装置方法

[实用新型]一种用于碳化硅晶片退火的装置-CN202123066641.1有效
发明人：贺贤汉;高攀;李有群;周杰;章磊;孙大方 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种用于碳化硅晶片退火的装置，包括：固定底座，固定底座的顶端固定连接有反应仓；循环结构，反应仓的一端固定连接有循环结构，且循环结构包括传动电机；增压结构，反应仓内部靠近循环结构的一端固定连接有增压结构，且增压结构包括连接底板；启闭结构，反应仓远离循环结构的一端固定连接有观察窗，反应仓一端的底端设有储料仓，且储料仓和反应仓的连接处固定连接有启闭结构。本实用新型通过增压结构便于均匀稳定的退火，退火的原理是通过加热材料后降温从而达到精炼材料的效果，降温的方式有多种，传统的风冷和密封隔绝空气使其自然冷却的方式存在安全隐患。
一种用于碳化硅晶片退火装置

[实用新型]一种用于碳化硅晶体的混合搅拌装置-CN202220524897.8有效
发明人：李有群;贺贤汉;周杰;吴寒;顾雪龙 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： B01F33/83 文献下载
摘要：本实用新型涉及搅拌混合技术领域，具体是一种用于碳化硅晶体的混合搅拌装置，包括有L形块，L形块的表面固定连接有固定板，L形块的表面固定连接有气缸，气缸的顶部设置有平板，平板与固定板铰链连接，整个装置固定于L形块之上，搅拌装置固定于平板之上，搅拌完成后，启动气缸，气缸与固定板共同作用使平板倾斜，搅拌完成的材料更易取出，平板的顶部固定连接有底座，底座的内部固定连接有下一电动机，下一电动机的一侧设置有下二电动机，下二电动机固定连接于底座的内底板，底座的内底板中心处转动连接有转轴，转轴贯穿底座延伸至底座顶部，转轴的顶部固定连接有搅拌杆，两电动机的旋转方向相反，搅拌机构由电动机提供动力。
一种用于碳化硅晶体混合搅拌装置

[实用新型]一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构-CN202220525283.1有效
发明人：章磊;李有群;贺贤汉;董志勇;吴寒;顾雪龙 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2022-03-11 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C30B23/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构，包括箱体，所述箱体的顶端铰接有盖体，且箱体的一侧外壁设置有散热窗口，并且箱体的另一侧外壁安装有风扇，所述箱体的内壁固定设置有六组固定板，两个所述固定板的内侧设置有用以夹持的夹持组件，且两个所述固定板的内侧设置有限位组件，所述限位组件用以对所述夹持组件定位，所述箱体的内部设置有与其滑动配合的支撑板，该一种用于碳化硅晶体生长用的风冷箱结构，通过多组第一夹板与第二夹板在固定架内活动，方便对不同直径的坩埚进行夹持隔开，且通过双向丝杆带动压板压紧进行第一夹板和第二夹板的挤压，从而将多个坩埚竖直隔开放置，提高散热效果。
一种用于碳化硅晶体生长风冷结构

[实用新型]一种碳化硅片生产用贴膜设备-CN202123066320.1有效
发明人：李有群;陈辉;贺贤汉;周杰;章磊;孙大方 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2021-12-08 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B29C63/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体是一种碳化硅片生产用贴膜设备，包括工作台，所述工作台的顶部固定连接有侧板，所述侧板的顶部一侧固定连接有顶板，所述顶板的内底部固定连接有固定块，所述固定块的底部固定连接有气缸，所述气缸的伸缩杆贯穿顶板的底部固定连接有贴膜板，所述贴膜板靠近侧板的一侧固定连接有滑杆，所述侧板靠近贴膜版的一侧开设有滑槽，所述滑杆远离贴膜板的一端贯穿滑槽固定连接有单向齿条板，所述滑杆与滑槽呈滑动连接，所述单向齿条板远离滑杆的一侧等距离开设有转动槽，单向齿条板的内部通过转轴等距离转动连接有活动齿，本实用新型在进行贴膜工作时，能自动翻面，减少了工作量，保证翻转后位置和第一面的位置对应。
一种碳化硅片生产用贴膜设备

[实用新型]一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置-CN202123111341.0有效
发明人：李有群;陈辉;贺贤汉;卓世异;孙大方 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2021-12-13 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及碳化硅晶片技术领域，具体为一种碳化硅晶片用陶瓷盘的平面度修复装置，包括底座，还包括调节支撑机构、固定旋转机构、抛光修复机构、抛光液上料机构和检测观察机构，所述调节支撑机构固定安装在底座顶部，本实用新型通过设置有抛光修复机构和固定旋转机构，将抛光头固定安装在转轴底部，将陶瓷盘固定安装在固定架顶部，再打开转台使转台带动陶瓷盘进行旋转，使陶瓷盘顶部的放置槽与抛光头一一对应，再打开推杆使推杆带动安装板向下移动，直至抛光头与陶瓷盘顶部的放置槽相接触，再打开伺服电机使伺服电机带动转轴和抛光头进行旋转，从而使抛光头对放置槽内部进行抛光修复，可以对陶瓷盘的修复更加的精准。
一种碳化硅晶片陶瓷平面修复装置

[实用新型]一种碳化硅锭生产用自动成型设备-CN202123032938.6有效
发明人：李有群;高攀;贺贤汉;章磊;周杰;孙大方 -专利权人： 安徽微芯长江半导体材料有限公司
申请日： 2021-12-06 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： B28D5/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了自动成型设备技术领域的一种碳化硅锭生产用自动成型设备，包括料筒，所述料筒有两组、且呈左右对称设置；所述料筒包括有壳体、切割板通道和承接板通道，所述切割板通道和承接板通道均开设于所述壳体内侧、且所述切割板通道位于承接板通道上方；两个所述料筒之间设置有切割机构，所述切割机构由驱动机、转轴、承接板和切割板构成；该装置通过对承接板和切割板的巧妙设计，将承接板上的弧形板块设置于所述切割板不带有弧形板块的下方，使得整体碳化硅锭被不断切割，片状的碳化硅锭不断向下掉落，切割效率很高，且切割机构结构简单，造价低廉，在可以提高切割效率的基础上节约设备制作成本。
一种碳化硅生产自动成型设备