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[发明专利]集成芯片倒装焊调平方法、系统及芯片-CN202310363670.9在审
发明人：雷华伟;张传杰;刘志方;孙维国;季小好 -专利权人：浙江拓感科技有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： H01L21/68 文献下载
摘要：一种集成芯片倒装焊调平方法，系统及芯片，其方法包括如下步骤:步骤100：在芯片上的多个芯片照射点以及基板上的多个基板照射点设置曲面镜；步骤200：分别向芯片和基板输出检测光束，基于检测光束在各曲面镜上的反射率调整基板位置，使各基板照射点依次对准其对应的芯片照射点；步骤300：分别取得各芯片照射点与其对应的基板照射点的对准距离值；步骤400：将基板移动至初始位置，使得对应于最大的对准距离值的芯片照射点向与其对应的基板照射点靠近，并跳转至步骤200，直至各对准距离值同时满足预设的调平条件。本发明无需提高激光发射强度或增加反射光探测器吸收面积即可实现芯片与基板的调平，降低了设备的复杂度和制备成本。
集成芯片倒装平方系统

[实用新型]一种充填胶水的装置-CN202221903234.3有效
发明人： 季小好;张传杰;陈意桥;雷华伟;刘志方;张博文;孙维国 -专利权人：浙江拓感科技有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本实用新型针对现有技术采用点胶头作红外探测器底填胶时在胶水固化之后出现未填充的空隙与胶内气泡，导致芯片与读出电路之间的连接性差的不足，提供一种充填胶水的装置，该充填胶水的装置包括磁力发生装置，所述磁力发生装置能产生磁场，所述磁场用于作用磁性胶中的磁子使其产生运动，本填充胶水的装置磁场用于作用磁性胶中的磁子使其产生运动，因此，本填充胶水的装置与磁性胶水配合使用，对胶水中的磁子施加磁力作用使磁子产生运动，可促进胶水的流动，增加胶水的扩散性能，使胶水更充分地填充到阵列之间的缝隙中，另一方面使得胶水液体内部的流动性加强更有益于气泡的释放，减少胶水中的气泡。
一种充填胶水装置

[发明专利]一种电化学沉积装置-CN202111098380.3有效
发明人： 季小好;杨晓杰;刘志方 -专利权人：安徽光智科技有限公司
申请日： 2021-09-18 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： C25D17/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电化学沉积装置，包括：电解池，底座，内卡座，外卡座，驱动件；电解池底部设有通电孔，内壁设有内螺纹；底座设有气泡水平仪和与通电孔相匹配密封的弹性塞，弹性塞内插装有对电极；内卡座设有驱动柱；内卡座底部的下表面设有第一凸环；外卡座的外周面设有与内螺纹相匹配的外螺纹；外卡座设有导电柱，底部的上表面由内向外依次设有进液孔、弹性的导电片和第二凸环；导电片用于放置晶圆；驱动件的驱动端与驱动柱相连接。上述装置在钝化工艺中，驱动件能够通过内卡座和外卡座带动晶圆移动，进而调节晶圆与电解液的距离，相较于手动调节，可控性和稳定性更高；且底座设有气泡水平仪，能够更好的对电解池的水平进行调整。
一种电化学沉积装置

[发明专利]一种磁性胶、减少填胶气泡和孔隙的方法及填胶用的装置-CN202210867378.6在审
发明人： 季小好;张传杰;陈意桥;雷华伟;刘志方;张博文;孙维国 -专利权人：浙江拓感科技有限公司
申请日： 2022-07-22 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： C09J11/04 文献下载
摘要：本发明的目的是针对现有技术采用点胶头作红外探测器底填胶时由于填胶过程中水平层与垂直方向上的扩散存在差异，在胶水固化之后出现未填充的空隙与胶内气泡，导致芯片与读出电路之间的连接性差的不足，提供一种磁性胶、减少填胶气泡和孔隙的方法及填胶用的装置，本发明的磁性胶，在所述的胶液中混合有绝缘磁性纳米棒，所述绝缘磁性绝缘纳米棒的长度为100nm‑200nm，在胶水中的含量按质量计算为5±1%；本发明的一种底填胶用磁力发生装置，所述磁力发生装置能产生磁场，所述磁场用于作用磁性胶中的磁子使其产生运动，本发明提供的磁性胶和磁力发生装置，胶水中的磁子被磁场吸引，使其在胶水中运动，从而可促进胶水扩散。
一种磁性减少气泡孔隙方法填胶用装置

[实用新型]晶圆表面电化学处理装置及所用的晶圆定位移送装置-CN202220165437.0有效
发明人：刘志方;季小好 -专利权人：浙江拓感科技有限公司
申请日： 2022-01-21 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：本实用新型是针对现有技术电化学处理装置无法满足晶圆处理时阴极和阳极需保持稳定的电场、阳极不能浸没在电解液中的需要的技术问题，提供一种晶圆表面电化学处理装置，包括晶圆往复移动装置和晶圆固定装置，晶圆固定装置包括真空装置及导电材质的吸附盘，真空装置通过管道与吸附盘连接，由吸附盘通过真空吸附固定晶圆，晶圆往复移动装置带动吸附盘上下往复移动并精准地下降到指定位置从而带动晶圆上下往复移动并下降到指定位置，采用本实用新型提供的晶圆表面电化学处理装置，二者间的电场稳定，经处理后晶圆表面上所得到的钝化膜的厚度一致性好，工艺可控性高，能够得到所需的钝化膜厚度，实现在晶圆表面反应沉积同等厚度的薄膜的目的。
表面电化学处理装置所用定位移送

[发明专利]台面型红外探测器铟点阵的制备方法及红外探测器、焦平面阵列芯片和读出电路芯片-CN202210134859.6在审
发明人：刘志方;季小好 -专利权人：浙江拓感科技有限公司
申请日： 2022-02-14 - 公布日： 2022-05-17 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明是针对现有技术台面型红外探测器公共电极在爬坡过程中易断裂、UBM膜层组分确定性差，膜层薄可靠性差的不足，提供一种台面型红外探测器铟点阵的制备方法及红外探测器、焦平面阵列芯片和读出电路芯片，制备方法指在芯片衬底具有高度为h3的台面，其中台面的顶部为像元电极区，台面下方为公共电极区，在像元电极区和公共电极区分别制备像元电极和公共电极，台面型红外探测器指包括焦平面阵列芯片和读出电路芯片，焦平面阵列芯片和读出电路芯片上的电极通过相对应的像元电极和公共电极上的铟点阵通过压焊连接，采用本发明提供的台面型红外探测器铟点阵的制备方法及红外探测器、焦平面阵列芯片和读出电路芯片，电极不易受损折断，连接更可靠。
台面红外探测器点阵制备方法平面阵列芯片读出电路